【技术实现步骤摘要】
本技术涉及软抛机，具体地涉及一种用于软抛机的垫片去除工装。
技术介绍
1、随着国内led和半导体的切磨抛加工技术日益成熟，led和半导体不仅对于材料要求，对于所有阶段的加工技术要求都出现了不同阶段的提升瓶颈，由传统的模仿和学习开始慢慢转变为自主研发提升，晶片铜抛温度的控住主要是针对晶片抛光各制程产品在总厚度偏差(ttv)、弯曲度(bow)、翘曲度(warp)、ltv等参数控制上，再次提升和突破的另一项参数需求。单面硬抛的方式，一方面为了降低晶片的翘曲度，另一方面为了去除晶片表面的损伤层，保障晶片的翘曲度，则需要修复时间长，磨削量多，才能达到保证晶片平坦的目的。蓝宝石晶片因具有优良的介电性能、化学稳定性、热传导性和高表面平滑度等特点而被广泛应用于军事、航天、信息、光学、超导等
，成为制备高温超导薄膜、红外光学材料、微电子器件等的最优质基片和衬底材料。由于蓝宝石硬度高、脆性大给材料加工尤其是表面纳米级抛光带来很多困难。为应对光电技术的发展对蓝宝石衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细抛光。
2、软抛机的盘面和pp头上分别粘贴有抛光垫和背垫，当抛光垫和背垫使用到达寿命后，需要更换新的抛光垫和背垫才可继续进行抛光作业。目前软抛机上所使用的垫片都要操作人员手动去除，但人工手动去除花费时间长、效率较低，且会在盘面和pp头表面残留较多胶状物，影响二次粘贴。
3、cn215357904u公开了一种可以重复使用的化学机械抛光研磨垫组件，通过在抛光盘的外周套设可拆卸的固定圈，并在固定圈上设置承
技术实现思路
1、本技术要解决的一个技术问题是：现有的人工手动去除软抛机垫片的方式花费时间长、效率较低。
2、为了实现上述目的，本技术提供一种软抛机垫片去除工装，所述去除工装包括主体杆件，所述主体杆件的侧壁上设置有固定口；和施力把手，所述施力把手连接于所述主体杆件且径向延伸；其中，所述固定口能够在所述主体杆件的径向方向上接收并固定待去除垫片的一部分，所述施力把手能够带动所述主体杆件绕其轴向方向转动以使待去除垫片卷绕于所述主体杆件。
3、在一些实施例中，所述固定口沿所述主体杆件的轴向方向延伸。
4、在一些实施例中，所述固定口设置在所述主体杆件的第二端处。
5、在一些实施例中，所述固定口在第一方向上的长度设置为所述主体杆件长度的1/4～1/3，所述固定口在第二方向上的长度设置为待去除垫片的厚度。
6、在一些实施例中，所述施力把手与所述主体杆件的长度比值设置为1/4。
7、在一些实施例中，所述主体杆件和所述施力把手为中空管件，所述固定口贯通主体杆件的管壁。
8、在一些实施例中，所述施力把手的两端套设有握把。
9、在一些实施例中，所述主体杆件和所述施力把手为不锈钢杆件。
10、在一些实施例中，所述主体杆件和所述施力把手可拆卸连接。
11、在一些实施例中，所述主体杆件和所述施力把手一体成型。
12、通过上述技术方案，将待去除垫片的一部分人工揭起并伸入主体杆件的固定口中进行固定，再握住施力把手两端转动施力把手，使得施力把手带动主体杆件绕第一方向转动并同时沿第二方向移动，待去除垫片卷绕在主体杆件上实现去除。该工装结构简单，操作方便，提高了软抛机垫片的去除效率。
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1.一种软抛机垫片去除工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述固定口(11)沿所述主体杆件(1)的轴向方向延伸。
3.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述固定口(11)设置在所述主体杆件(1)的第二端处。
4.根据权利要求3所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述固定口(11)在第一方向上的长度设置为所述主体杆件(1)长度的1/4～1/3，所述固定口(11)在第二方向上的长度设置为待去除垫片的厚度。
5.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述施力把手(2)与所述主体杆件(1)的长度比值设置为1/4。
6.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述主体杆件(1)和所述施力把手(2)为中空管件，所述固定口(11)贯通主体杆件(1)的管壁。
7.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述施力把手(2)的两端套设有握把(3)。
8.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述主体杆
9.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述主体杆件(1)和所述施力把手(2)可拆卸连接。
10.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述主体杆件(1)和所述施力把手(2)一体成型。
...【技术特征摘要】
1.一种软抛机垫片去除工装，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述固定口(11)沿所述主体杆件(1)的轴向方向延伸。
3.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述固定口(11)设置在所述主体杆件(1)的第二端处。
4.根据权利要求3所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述固定口(11)在第一方向上的长度设置为所述主体杆件(1)长度的1/4～1/3，所述固定口(11)在第二方向上的长度设置为待去除垫片的厚度。
5.根据权利要求1所述的软抛机垫片去除工装，其特征在于，所述施力把手(2)与所述主体杆件(1)的长度比值设置为1/4。...
【专利技术属性】
技术研发人员：王建凯，翟虎，李晓东，洪飞，刘彬，钱大伟，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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