探针台制造技术

本技术提供了一种探针台，设计半导体检测设备技术领域，具体包括壳体组件、探针组件、吸尘组件和进气机构；壳体组件内具有容纳空间，壳体组件包括机盖，机盖可拆卸的设于容纳空间的上方；探针组件设于容纳空间；吸尘组件设于容纳空间的底部，吸尘组件用于连接负压发生设备；进气机构包括过滤组件，过滤组件设于容纳空间的上部，进气机构用于向容纳空间中引入空气。本技术所提供的探针台通过吸尘组件将容纳空间中的带有杂质的空气排出容纳空间，并通过进气机构将空气中的杂质过滤后引入容纳空间，以去除容纳空间中的灰尘、杂质，从而保证容纳空间内的洁净度，进而提升探针台的可靠性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体测试设备，具体而言，涉及一种探针台。

技术介绍

1、探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

2、随着半导体技术的持续发展，对半导体设备的性能要求也越来越高。探针台作为半导体测试设备中的重要组成部分，其内部洁净度对于测试结果的准确性和稳定性具有重要影响。现有的探针台设计由于结构复杂、密封性不足等原因，存在内部洁净度不高的问题，易影响探针台的可靠性。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种探针台，以缓解现有技术中内部洁净度不高的问题，影响了测试设备的性能和可靠性的技术问题。

2、本技术提供了一种探针台，包括壳体组件、探针组件、吸尘组件和进气机构；所述壳体组件内具有容纳空间，所述壳体组件包括机盖，所述机盖可拆卸的设于所述容纳空间的上方；所述探针组件设于所述容纳空间；所述吸尘组件设于所述容纳空间的底部，所述吸尘组件用于连接负压发生设备；所述进气机构包括过滤组件，所述过滤组件设于所述容纳空间的上部，所述进气机构用于向所述容纳空间中引入空气。

3、进一步地，所述吸尘组件包括真空吸附阀；所述容纳空间的底部开设有吸尘孔；所述真空吸附阀设于所述吸尘孔内，所述真空吸附阀具有连接所述负压发生器的连接部。

4、进一步地，所述探针台还包括压力检测件；所述压力检测件设于所述容纳空间的下部，且所述压力检测件的检测端的位置与所述真空吸附阀的位置相对。

5、进一步地，所述吸尘孔和所述真空吸附阀均有多个；多个所述吸尘孔沿所述探针组件的周向均匀分布；多个所述真空吸附阀和多个所述吸尘孔一一对应设置。

6、进一步地，所述进气机构包括气路单向阀；所述壳体组件还包括侧壁和底壁；所述侧壁、所述底壁和所述机盖合围以形成所述容纳空间；所述探针组件设于所述底壁；所述机盖和\或所述侧壁上设有进气孔；所述气路单向阀设于进气孔中，所述过滤组件设于所述气路单向阀的进气端。

7、进一步地，所述侧壁上设有穿透所述侧壁的测试孔；所述测试孔内设有常闭阀，所述常闭阀用于接入检测探头。

8、进一步地，所述侧壁上设有安装架；所述安装架位于所述容纳空间中，所述安装架用于放置温湿度检测设备。

9、进一步地，所述机盖与所述侧壁之间设有密封圈。

10、进一步地，所述探针组件包括操作台、支撑件和探针；所述操作台通过所述支撑件设于所述底壁上；所述探针设于所述支撑件的一侧。

11、进一步地，所述容纳空间内设有离子风扇；所述离子风扇设于所述容纳空间的一侧，且出风方向朝向另一侧。

12、有益效果：

13、本技术提供的探针台包括壳体组件、探针组件、吸尘组件和进气机构；壳体组件内具有容纳空间，壳体组件包括机盖，机盖可拆卸的设于容纳空间的上方；探针组件设于容纳空间；吸尘组件设于容纳空间的底部，吸尘组件用于连接负压发生设备；进气机构包括过滤组件，过滤组件设于容纳空间的上部，进气机构用于向容纳空间中引入空气。

14、具体地，本技术中的壳体组件用于提供盛放探针组件的容纳空间，容纳空间为密闭空间，用作探针组件测试时的操作空间，容纳空间中灰尘等杂质因重力沉积在容纳空间的底部，设置在容纳空间的底部的吸尘组件与负压发生设备连接后，能够将容纳空间中的空气由容纳空间的底部吸出，在吸出过程中，容纳空间底部沉积的灰尘和杂质跟随空气一同吸出容纳空间，空气经进气机构进入容纳空间中，在空气经过进气机构时，进气机构内的过滤组件对进气进行过滤，将空气中的灰尘、杂质过滤，使排入进气机构的空气为洁净空气，本技术所提供的探针台，通过吸尘组件将容纳空间中的带有杂质的空气排出容纳空间，并通过进气机构将空气中的杂质过滤后引入容纳空间，以去除容纳空间中的灰尘、杂质，从而保证容纳空间内的洁净度，进而提升探针台的可靠性。

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【技术保护点】

1.一种探针台，其特征在于，包括：壳体组件(100)、探针组件(200)、吸尘组件(300)和进气机构(400)；

2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述吸尘组件(300)包括真空吸附阀(310)；

3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述探针台还包括压力检测件(500)；

4.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述吸尘孔和所述真空吸附阀(310)均有多个；

5.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述进气机构(400)包括所述进气机构(400)包括气路单向阀(420)；

6.根据权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述侧壁上设有穿透所述侧壁的测试孔(120)；

7.根据权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述侧壁上设有安装架(130)；

8.根据权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述机盖(110)与所述侧壁之间设有密封圈(111)。

9.根据权利要求5所述的探针台，其特征在于，所述探针组件(200)包括操作台(210)、支撑件(220)和探针(230)；

10.根据权利要求1－9中任一项所述的探针台，其特征在于，所述容纳空间内设有离子风扇(600)；

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【技术特征摘要】

1.一种探针台，其特征在于，包括：壳体组件(100)、探针组件(200)、吸尘组件(300)和进气机构(400)；

2.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述吸尘组件(300)包括真空吸附阀(310)；

3.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述探针台还包括压力检测件(500)；

4.根据权利要求2所述的探针台，其特征在于，所述吸尘孔和所述真空吸附阀(310)均有多个；

5.根据权利要求1所述的探针台，其特征在于，所述进气机构(400)包括所述进气机构(400)包括气路单向阀(420)；...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘寅，李步民，
申请(专利权)人：芯云纵横半导体上海有限公司，
类型：新型
国别省市：