System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind()
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜设备,具体为一种双端多室真空镀膜装置。
技术介绍
1、镀膜设备是指用于镀膜的设备和系统,用于将材料的表面镀上一种或多种膜,以提高材料的性能、防护性和美观性,其中真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
2、现有的真空镀膜装置在对工件进行镀膜时,通常会在镀膜设备中设置两个或者两个以上的镀膜腔,并且会在镀膜腔内设置转动机构,来实现对工件的位置转动,使镀膜的效率提高,但是转动的工件只能轴向转动,轴向转动只能完成工件的一个面镀膜,在需要对工件的另一面进行镀膜时,需要人员进行调整,才可以实现另一个面镀膜,这样镀膜的效率不高,而且为了实现工件在每个镀膜腔内独自转动,需要设置单独的转动机构,但是多个转动机构在驱动是需要对应的动力装置,多个动力装置虽然能够单独的驱动单个镀膜腔内的工件转动,但是这样会增加成本,并且在维护多个动力装置,维护难度增加,因此,本专利技术提出一种双端多室真空镀膜装置,以解决上述提到的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足,本专利技术提供了一种双端多室真空镀膜装置,解决了现有的镀膜设备在对工件进行镀膜时,无法对工件的两个面同时镀膜的问题。
2、为实现以上目的,本专利技术通过以下技术方案予以实现:
3、一种双端多室真空镀膜装置,包括支撑板,所述支撑板上固定安装有至少两个镀膜室,所述支撑板的下
4、所述转动柱的顶端固定安装有圆形板,所述圆形板上设置有旋转组件,所述旋转组件上设置有u型板,所述u型板上设置有调节组件,所述调节组件上设置有夹持组件,通过夹持组件对工件进行位置固定。
5、优选的,所述驱动组件包括驱动电机和第二轴承,所述驱动电机固定安装在支架板上,所述驱动电机的输出端固定连接有输出轴,所述输出轴上固定安装有主动齿轮;
6、所述第二轴承固定安装在支架板上,且处于驱动电机的外侧,所述第二轴承上固定安装有第一电动推杆,所述第一电动推杆的输出杆固定连接有升降杆,所述升降杆上固定安装有从动齿轮,所述主动齿轮与从动齿轮啮合。
7、优选的,所述升降杆的侧端面固定安装有定位块,所述转动柱的内底部开设有与升降杆相适配的升降槽,所述升降槽的内侧面开设有与定位块相适配的定位槽。
8、优选的,所述旋转组件包括定位轴和内齿环,所述定位轴的底端转动安装在圆形板上,所述内齿环的外侧面固定安装有连接板,所述内齿环通过连接板固定安装在镀膜室的内部,所述定位轴上固定安装有辅助齿轮,所述u型板固定安装在定位轴的顶端,所述辅助齿轮与内齿环啮合。
9、优选的,所述调节组件包括支撑杆和第三轴承,所述支撑杆的顶端固定安装在镀膜室的内顶部,所述支撑杆的底端固定安装有端面齿轮,所述第三轴承固定安装在u型板上,所述第三轴承上固定安装有转动轴,所述转动轴上固定安装有转动齿轮,所述端面齿轮的位置处于转动齿轮的内侧,所述转动齿轮与端面齿轮啮合。
10、优选的,所述夹持组件包括安装架板,所述安装架板固定安装在转动轴的端头,所述安装架板上固定安装有对称布置的第二电动推杆,所述第二电动推杆的输出杆固定连接有夹持板,通过两个所述夹持板对工件进行位置固定。
11、优选的,所述安装架板的侧端面固定安装有辅助轴,所述辅助轴远离安装架板的一端转动安装在u型板上。
12、优选的,所述镀膜室的上端面固定安装有真空泵,所述镀膜室的内部设置有镀膜源。
13、优选的,所述镀膜室的前表面设置有箱门,所述箱门上设置有把手。
14、优选的,所述支撑座的下端面固定安装有防滑垫,所述防滑垫所使用的材料为橡胶。
15、有益效果:本专利技术提供了一种双端多室真空镀膜装置。与现有技术相比具备以下有益效果:
16、1、本专利技术,通过夹持组件将工件固定在u型板上,然后通过驱动组件中驱动电机带动主动齿轮转动,利用主动齿轮与从动齿轮啮合,从动齿轮会通过转动柱带动圆形板转动,处于圆形板上的u型板会带动工件在镀膜室内进行转动,并且利用第一电动推杆带动从动齿轮进行位置移动,使从动齿轮脱离主动齿轮,通过从动齿轮的位置调整,便于使主动齿轮能够带动单个或多个镀膜室内的工件进行转动,在提高镀膜的效率和质量的同时,减少生产时间和成本;
17、2、本专利技术,当从动齿轮带动镀膜室内的圆形板进行转动时,处于圆形板上的定位轴会带动辅助齿轮进行转动,当辅助齿轮跟随圆形板转动时,利用辅助齿轮与内齿环啮合,处于定位轴上的u型板会发生转动,便于使圆形板上的多个工件进行单独转动,通过u型板的转动,使夹持组件中工件在受到镀膜时,镀膜的效果更佳;
18、3、本专利技术,当u型板发生轴承转动时,处于u型板上的转动轴会通过转动齿轮与端面齿轮的啮合,u型板会发生径向转动时,处于u型板上的工件会同步发生径向转动,当工件发生径向转动时,便于对不同的两个面进行镀膜,提高镀膜的效率和灵活性。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种双端多室真空镀膜装置,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)上固定安装有至少两个镀膜室(2),所述支撑板(1)的下端面固定安装有支撑座(3),所述支撑座(3)上固定安装有支架板(4),所述支架板(4)上设置有驱动组件,所述驱动组件上设置有第一轴承(5),所述第一轴承(5)固定安装在支撑板(1)上,所述第一轴承(5)的内部固定安装有转动柱(6);
2.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述驱动组件包括驱动电机(9)和第二轴承(10),所述驱动电机(9)固定安装在支架板(4)上,所述驱动电机(9)的输出端固定连接有输出轴(11),所述输出轴(11)上固定安装有主动齿轮(12);
3.根据权利要求2所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述升降杆(14)的侧端面固定安装有定位块(16),所述转动柱(6)的内底部开设有与升降杆(14)相适配的升降槽(17),所述升降槽(17)的内侧面开设有与定位块(16)相适配的定位槽(18)。
4.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述旋转组件包括
5.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述调节组件包括支撑杆(23)和第三轴承(24),所述支撑杆(23)的顶端固定安装在镀膜室(2)的内顶部,所述支撑杆(23)的底端固定安装有端面齿轮(25),所述第三轴承(24)固定安装在U型板(8)上,所述第三轴承(24)上固定安装有转动轴(26),所述转动轴(26)上固定安装有转动齿轮(27),所述端面齿轮(25)的位置处于转动齿轮(27)的内侧,所述转动齿轮(27)与端面齿轮(25)啮合。
6.根据权利要求5所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述夹持组件包括安装架板(28),所述安装架板(28)固定安装在转动轴(26)的端头,所述安装架板(28)上固定安装有对称布置的第二电动推杆(29),所述第二电动推杆(29)的输出杆固定连接有夹持板(30),通过两个所述夹持板(30)对工件进行位置固定。
7.根据权利要求6所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述安装架板(28)的侧端面固定安装有辅助轴(31),所述辅助轴(31)远离安装架板(28)的一端转动安装在U型板(8)上。
8.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述镀膜室(2)的上端面固定安装有真空泵(32),所述镀膜室(2)的内部设置有镀膜源。
9.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述镀膜室(2)的前表面设置有箱门(33),所述箱门(33)上设置有把手(34)。
10.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述支撑座(3)的下端面固定安装有防滑垫(35),所述防滑垫(35)所使用的材料为橡胶。
...【技术特征摘要】
1.一种双端多室真空镀膜装置,包括支撑板(1),其特征在于:所述支撑板(1)上固定安装有至少两个镀膜室(2),所述支撑板(1)的下端面固定安装有支撑座(3),所述支撑座(3)上固定安装有支架板(4),所述支架板(4)上设置有驱动组件,所述驱动组件上设置有第一轴承(5),所述第一轴承(5)固定安装在支撑板(1)上,所述第一轴承(5)的内部固定安装有转动柱(6);
2.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述驱动组件包括驱动电机(9)和第二轴承(10),所述驱动电机(9)固定安装在支架板(4)上,所述驱动电机(9)的输出端固定连接有输出轴(11),所述输出轴(11)上固定安装有主动齿轮(12);
3.根据权利要求2所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述升降杆(14)的侧端面固定安装有定位块(16),所述转动柱(6)的内底部开设有与升降杆(14)相适配的升降槽(17),所述升降槽(17)的内侧面开设有与定位块(16)相适配的定位槽(18)。
4.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述旋转组件包括定位轴(19)和内齿环(20),所述定位轴(19)的底端转动安装在圆形板(7)上,所述内齿环(20)的外侧面固定安装有连接板(21),所述内齿环(20)通过连接板(21)固定安装在镀膜室(2)的内部,所述定位轴(19)上固定安装有辅助齿轮(22),所述u型板(8)固定安装在定位轴(19)的顶端,所述辅助齿轮(22)与内齿环(20)啮合。
5.根据权利要求1所述的一种双端多室真空镀膜装置,其特征在于:所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:李剑飞,郝文涛,王超,刘华林,黄小卫,
申请(专利权)人:蒙城繁枫真空科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。