【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种光学，尤其涉及一种调节装置及光学仪器设备。
技术介绍
1、在光学仪器设备中，例如晶圆测量设备、晶圆检测设备等，均需要设置有调节装置，以保证光学仪器设备的精度性。
2、其中，调节装置包括支架、升降机构、x轴二维摆台、y轴二维摆台与安装平台，升降机构固定设置于支架，x轴二维摆台的底座固定连接于升降机构的升降部，y轴二维摆台的底座固定连接于x轴二维摆台的摆动部，安装平台固定连接于y轴二维摆台的摆动部，光学仪器设备的光学模组设置于安装平台。因此，升降机构、x轴二维摆台与y轴二维摆台相配合，从而调整安装平台的高度以及姿态，进而调整光学模组的精度。
3、由上可见，升降机构、x轴二维摆台与y轴二维摆台依次连接，即，调节装置由多个调节模组串联堆叠而成，如此设置，调节装置占用空间大，装配时灵活性较差。
技术实现思路
1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出了一种调节装置及光学仪器设备，能够降低调节装置的占用空间。
2、第一方面，本申请实施例提供了一种调节装置，包括：
3、支座；
4、安装平台；
5、第一调节机构，设置于所述支座与所述安装平台其中之一，所述第一调节机构被配置为用于沿z轴调节所述安装平台；
6、第二调节机构，设置于所述支座与所述安装平台其中之一，所述第二调节机构被配置为用于沿xy轴平面调节所述安装平台。
7、根据本技术的一些实施例，所述第一调节机构包括
8、以及，所述第二调节机构包括第二调节组件与第二弹性件，所述第二调节组件设置于所述支座与所述安装平台其中之一，并与另一者相抵持，所述第二弹性件与所述支座以及所述安装平台相连接，用于使所述第二调节组件与所述安装平台或所述支座保持相抵持，所述第二调节组件被配置为用于调节所述安装平台的位置和/或在x轴方向及y轴方向的偏移。
9、根据本技术的一些实施例，所述第一调节组件包括至少三个支撑件，各个所述支撑件被配置为沿z轴可调节设置于所述支座，并与所述安装平台的底部相抵持；其中，在xy轴平面上，至少三个所述支撑件未设置于同一直线上。
10、根据本技术的一些实施例，所述第一调节组件还包括推件，所述推件被配置为可调节设置于所述支座的侧壁，以推动所述支撑件沿z轴调节。
11、根据本技术的一些实施例，所述推件设置有导向斜面，所述导向斜面相对于xy轴平面倾斜设置，所述推件通过所述导向斜面与所述支撑件相抵持。
12、根据本技术的一些实施例，所述推件至少设置有两个，一个所述推件被配置为用于推动两个所述支撑件沿z轴调节，另一个所述推件被配置为用于推动一个所述支撑件沿z轴调节；
13、或，所述推件至少设置有三个，各个所述推件被配置为用于分别推动一个所述支撑件沿z轴调节。
14、根据本技术的一些实施例，所述第一调节组件还包括：
15、第一调节件，设置于所述支座的侧壁，所述第一调节件的驱动端部与所述推件相抵持；
16、复位弹性件，所述复位弹性件与所述支座以及所述推件相连接，用于使所述推件与所述第一调节件保持相抵持。
17、根据本技术的一些实施例，所述第一调节件为调节螺纹副或微分头。
18、根据本技术的一些实施例，所述支座开设有相连通的第一导向孔与第二导向孔，所述第一导向孔的一端在所述支座的侧壁形成安装口，所述第二导向孔在所述支座的顶部形成让位口；其中，所述推件滑动设置于所述第一导向孔，所述第一调节件设置于所述支座，并通过所述安装口与所述推件相抵持，所述复位弹性件设置于所述第一导向孔内，所述复位弹性件的一端与所述第一导向孔的端面相抵持，另一端与所述推件相抵持，以及，所述支撑件活动设置于所述第二导向孔，并通过所述让位口与所述安装平台的底部相抵持。
19、根据本技术的一些实施例，所述第一调节组件还包括导向杆，所述支座开设有与所述第一导向孔相连通的定位孔，所述推件开设有第三导向孔，所述导向杆的一端部插接于所述定位孔，另一端部滑动设置于所述第三导向孔，所述复位弹性件设置于所述第三导向孔内，并与所述导向杆以及所述支座相抵持。
20、根据本技术的一些实施例，所述安装平台的底部沿xy轴平面开设有条形导向槽，所述支撑件滑动设置于所述条形导向槽，并能够在所述条形导向槽转动，以使所述安装平台通过该支撑件转动设置于所述支座。
21、根据本技术的一些实施例，所述支撑件为活动设置于所述支座的滚珠。
22、根据本技术的一些实施例，所述第二调节组件至少包括两个平行设置的第二调节件，各个所述第二调节件设置于所述支座，并与所述安装平台的同一侧壁相抵持，所述第二调节件被配置为用于调节所述安装平台的位置和/或在x轴方向及y轴方向的偏移；其中，在xy轴平面上，各个所述第二调节件被配置于不同的位置。
23、根据本技术的一些实施例，所述第二调节件为调节螺纹副或微分头。
24、第二方面，本申请实施例提供了一种光学仪器设备，包括上述的调节装置。
25、从以上技术方案可以看出，本申请实施例具有以下优点：相比于现有技术中采用多个调节模组的叠加以实现安装平台多方向的调节；在本申请中，第一调节机构与第二调节机构均设置于支座与安装平台其中之一，第一调节机构与第二调节机构均直接调节安装平台的位置，如此设置，支座、第一调节机构、第二调节机构与安装平台在z轴方向可以紧凑地装配至一起，调节装置的占用空间得到较好的降低，调节装置在应用于光学设备时可以灵活被安装。
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1.一种调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件包括至少三个支撑件，各个所述支撑件被配置为沿Z轴可调节设置于所述支座，并与所述安装平台的底部相抵持；其中，在XY轴平面上，至少三个所述支撑件未设置于同一直线上。
3.根据权利要求2所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括推件，所述推件被配置为可调节设置于所述支座的侧壁，以推动所述支撑件沿Z轴调节。
4.根据权利要求3所述的一种调节装置，其特征在于，所述推件设置有导向斜面，所述导向斜面相对于XY轴平面倾斜设置，所述推件通过所述导向斜面与所述支撑件相抵持。
5.根据权利要求3所述的一种调节装置，其特征在于，所述推件至少设置有两个，一个所述推件被配置为用于推动两个所述支撑件沿Z轴调节，另一个所述推件被配置为用于推动一个所述支撑件沿Z轴调节；
6.根据权利要求3所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括：
7.根据权利要求6所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节件为调节螺纹副或微分头
8.根据权利要求6所述的一种调节装置，其特征在于，所述支座开设有相连通的第一导向孔与第二导向孔，所述第一导向孔的一端在所述支座的侧壁形成安装口，所述第二导向孔在所述支座的顶部形成让位口；其中，所述推件滑动设置于所述第一导向孔，所述第一调节件设置于所述支座，并通过所述安装口与所述推件相抵持，所述复位弹性件设置于所述第一导向孔内，所述复位弹性件的一端与所述第一导向孔的端面相抵持，另一端与所述推件相抵持，以及，所述支撑件活动设置于所述第二导向孔，并通过所述让位口与所述安装平台的底部相抵持。
9.根据权利要求8所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括导向杆，所述支座开设有与所述第一导向孔相连通的定位孔，所述推件开设有第三导向孔，所述导向杆的一端部插接于所述定位孔，另一端部滑动设置于所述第三导向孔，所述复位弹性件设置于所述第三导向孔内，并与所述导向杆以及所述支座相抵持。
10.根据权利要求2所述的一种调节装置，其特征在于，所述安装平台的底部沿XY轴平面开设有条形导向槽，所述支撑件滑动设置于所述条形导向槽，并能够在所述条形导向槽转动，以使所述安装平台通过该支撑件转动设置于所述支座。
11.根据权利要求10所述的一种调节装置，其特征在于，所述支撑件为活动设置于所述支座的滚珠。
12.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于，所述第二调节组件至少包括两个平行设置的第二调节件，各个所述第二调节件设置于所述支座，并与所述安装平台的同一侧壁相抵持，所述第二调节件被配置为用于调节所述安装平台的位置和/或在X轴方向及Y轴方向的偏移；其中，在XY轴平面上，各个所述第二调节件被配置于不同的位置。
13.根据权利要求12所述的一种调节装置，其特征在于，所述第二调节件为调节螺纹副或微分头。
14.一种光学仪器设备，其特征在于，包括权利要求1至13中任意一项所述的调节装置。
...【技术特征摘要】
1.一种调节装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件包括至少三个支撑件，各个所述支撑件被配置为沿z轴可调节设置于所述支座，并与所述安装平台的底部相抵持；其中，在xy轴平面上，至少三个所述支撑件未设置于同一直线上。
3.根据权利要求2所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括推件，所述推件被配置为可调节设置于所述支座的侧壁，以推动所述支撑件沿z轴调节。
4.根据权利要求3所述的一种调节装置，其特征在于，所述推件设置有导向斜面，所述导向斜面相对于xy轴平面倾斜设置，所述推件通过所述导向斜面与所述支撑件相抵持。
5.根据权利要求3所述的一种调节装置，其特征在于，所述推件至少设置有两个，一个所述推件被配置为用于推动两个所述支撑件沿z轴调节，另一个所述推件被配置为用于推动一个所述支撑件沿z轴调节；
6.根据权利要求3所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节组件还包括：
7.根据权利要求6所述的一种调节装置，其特征在于，所述第一调节件为调节螺纹副或微分头。
8.根据权利要求6所述的一种调节装置，其特征在于，所述支座开设有相连通的第一导向孔与第二导向孔，所述第一导向孔的一端在所述支座的侧壁形成安装口，所述第二导向孔在所述支座的顶部形成让位口；其中，所述推件滑动设置于所述第一导向孔，所述第一调节件设置于所述支座，并通过所述安装口与所述推件相抵持，所述复位弹性件设置于所述第一导向...
【专利技术属性】
技术研发人员：王朋辉，黄有为，陈鲁，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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