【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于电子行业，具体涉及一种三甲基镓供应系统。
技术介绍
1、基于半导体光伏效应的太阳电池已经得到了广泛的应用，当前主流的太阳电池是基于硅晶体材料，特别是单晶硅晶体材料，而硅晶体必须通过掺杂才能作为太阳电池的基体材料。其中，硼掺杂较为常用，硼在硅中的分凝系数0.8，易于生长出轴向电阻率较均匀分布的硅晶体，适宜于太阳电池的应用。但是，由于硼与单晶硅中另一不可避免的杂质氧的相互作用，导致太阳电池在服役初期存在着效率衰减的现象，即光衰减现象。为解决该问题，利用镓掺杂技术是其中可行的解决途径之一。
2、然而，由于镓在硅中的分凝系数0.008，过小的分凝系数导致了掺镓单晶硅的电阻率分布范围宽，从而晶体中能适用电池的比例降低。如不解决该技术难题，掺镓单晶硅的使用成本将显著高于掺硼单晶硅，不利于它的产业化应用。为此，设计一种三甲基镓供应系统，从而克服上述问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于克服现有技术存在的不足，而提供一种结构简单合理，高精度，浓度控制范围广，低成本，系统安全可靠的三甲基镓供应系统。
2、本专利技术是通过如下的技术方案予以实现的：一种三甲基镓供应系统，它包括出液系统和清洁回收系统，所述出液系统包括储液罐和蒸发器，储液罐上分别设置有进气管道和出液管道，出液管道直插入罐体内部靠近罐底，进气管道插入至罐体内位于液面的上方位置，作为挤压气使用，通过灌入气体让液体挤出，所述储液罐与蒸发器连接，蒸发器通过多根出气管路连接外部设备，并在每个管道上开设有
3、作为优选：所述清洁回收系统包括与蒸发器连接的尾气吸收罐和吹扫系统，该吹扫系统为一根连接外部吹气设备的管道，该管道靠近蒸发器处分成两根，其中一根连接至蒸发器的前方进口的管道，另一根连接至蒸发器后方出口管道，并进口管道和出口管道上开设有回收进罐管，回收进罐管连接至尾气吸收罐中。
4、作为优选：所述尾气吸收罐内放置有吸收填料，回收进罐管直插至罐体靠近底部的位置，在罐体上还开设有一根回收出罐管，该回收出罐管连接至真空发生器，通过抽真空的方式将净化后的气体排出，并且在真空发生器上外接进氮管道。
5、作为优选：所述进气管道内通入的气体为氩气或氢气。
6、作为优选：所述吹气设备吹出的气体为氩气。
7、作为优选：所述蒸发器的前方还开设有流量计，外部加装有加热控温箱。
8、作为优选：所述尾气吸收罐内的吸收填料为氢氧化钙和高锰酸钾。
9、本专利技术的有益效果如下：
10、本专利技术所设计系统可以很好地对三甲基镓（tmga）的进行用量控制，并且整个系统使用过程中安全稳定，本专利技术具有结构简单合理，高精度，浓度控制范围广，低成本，系统安全可靠等诸多优点。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种三甲基镓供应系统，它包括出液系统和清洁回收系统，其特征在于：所述出液系统包括储液罐和蒸发器，储液罐上分别设置有进气管道和出液管道，出液管道直插入罐体内部靠近罐底，进气管道插入至罐体内位于液面的上方位置，作为挤压气使用，通过灌入气体让液体挤出，所述储液罐与蒸发器连接，蒸发器通过多根出气管路连接外部设备，并在每个管道上开设有阀门开关，所述进气管道还开设有一根直接连接至蒸发器的管道，作为载气使用，与蒸发后的气体一起进入出气管路，并在蒸发器上还安装有清洁回收系统。
2.根据权利要求1所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述清洁回收系统包括与蒸发器连接的尾气吸收罐和吹扫系统，该吹扫系统为一根连接外部吹气设备的管道，该管道靠近蒸发器处分成两根，其中一根连接至蒸发器的前方进口的管道，另一根连接至蒸发器后方出口管道，并进口管道和出口管道上开设有回收进罐管，回收进罐管连接至尾气吸收罐中。
3.根据权利要求2所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述尾气吸收罐内放置有吸收填料，回收进罐管直插至罐体靠近底部的位置，在罐体上还开设有一根回收出罐管，该回收出罐管连接至真空发生
4.根据权利要求1所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述进气管道内通入的气体为氩气或氢气。
5.根据权利要求2所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述吹气设备吹出的气体为氩气。
6.根据权利要求1所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述蒸发器的前方还开设有流量计，外部加装有加热控温箱。
7.根据权利要求3所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述尾气吸收罐内的吸收填料为氢氧化钙和高锰酸钾。
...【技术特征摘要】
1.一种三甲基镓供应系统，它包括出液系统和清洁回收系统，其特征在于：所述出液系统包括储液罐和蒸发器，储液罐上分别设置有进气管道和出液管道，出液管道直插入罐体内部靠近罐底，进气管道插入至罐体内位于液面的上方位置，作为挤压气使用，通过灌入气体让液体挤出，所述储液罐与蒸发器连接，蒸发器通过多根出气管路连接外部设备，并在每个管道上开设有阀门开关，所述进气管道还开设有一根直接连接至蒸发器的管道，作为载气使用，与蒸发后的气体一起进入出气管路，并在蒸发器上还安装有清洁回收系统。
2.根据权利要求1所述的三甲基镓供应系统，其特征在于：所述清洁回收系统包括与蒸发器连接的尾气吸收罐和吹扫系统，该吹扫系统为一根连接外部吹气设备的管道，该管道靠近蒸发器处分成两根，其中一根连接至蒸发器的前方进口的管道，另一根连接至蒸发器后方出口管道，并进口管道和出口管道上开...
【专利技术属性】
技术研发人员：张勇，冯焕鹏，关浩，何霖，
申请(专利权)人：江苏亿钶半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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