【技术实现步骤摘要】
【】本专利技术涉及集成电路制作，特别涉及一种气化装置、极紫外光产生方法及等离子体箍缩装置。
技术介绍
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技术介绍
1、光刻机作为集成电路工业发展的重要支柱设备之一，是整个半导体产业发展的主要技术支撑。目前13.5nm的euv(极紫外光)光源得到广泛的研究。在极紫外光刻技术的发展过程中，euv光源的输出功率备受关注，而在提高等离子体13.5nmeuv光源输出功率的研究进程中主要包括提高转换效率(转化效率)和减光源碎屑污染。
2、锡汽化后和氙混合是实现13.5nmeuv源较好的靶材。研究表明锡和氙混合后能大幅提高转换效率。现有技术通常采用激光等离子体(lpp)或放电等离子体(dpp)的方式来汽化锡，再将锡和氙进行混合后再结合箍缩装置获取euv光源。
3、现有技术对固体锡进行气化有两种方式：一方案是直接使用co2激光聚焦轰打锡靶，使之初步电离，其面临的问题是装置比较复杂且不易集成。另一方案是直接利用电力系统产生的预电脉冲产生的轴向的电子束，轰击在锡电极上使之汽化。缺点在于会产生较多的碎屑污染。上述两种方法对锡进行汽化时，都存在其气化装置复杂，控制难度高以及汽化成本高的问题。
技术实现思路
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技术实现思路
1、为了解决了现有的箍缩系统中产生极紫外光过程中对锡进行汽化所产生成本过高的问题，本专利技术提供一种气化装置、极紫外光产生方法及等离子体箍缩装。
2、本专利技术为解决上述技术问题，提供如下的技术方案：一种气化装置，用
3、所述供电模块与所述电磁感应加热模块电性连接，所述承载装置用于承载所述固体锡；所述电磁感应加热模块包括加热线圈，所述加热线圈沿所述承载装置的轴向方向环绕设置于所述承载装置，以产生涡流电对固体锡进行加热汽化形成锡气。
4、优选地，所述承载装置大致为凹圆盘形，所述固体锡先液化后形成液体锡，然后液体锡汽化后形成所述锡气。
5、优选地，所述气化装置内界定气化腔室，所述电磁感应加热模块和承载装置皆容置于所述气化腔室内，所述气化装置还包括过滤装置，所述过滤装置与所述气化腔室连通，以对所述气化腔室内的锡气进行过滤。
6、优选地，所述气化装置包括保温层，所述保温层用于覆盖所述气化腔室外表面，用于对气化腔室进行保温。
7、本专利技术为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种极紫外光产生方法，包括如下步骤：
8、提供固体锡，基于上述气化装置形成锡气；
9、基于预设电脉冲模块产生预电流脉冲和主电流脉冲；
10、提供氙气，将氙气和锡气混合并基于预电流脉冲电离产生等离子体；
11、等离子体基于主电流脉冲下箍缩以形成极紫外光。
12、优选地，所述通过气化装置产生锡气的具体过程包括：将预设电流作用至预设加热线圈上以控制固体锡于预设温度下汽化形成锡气。
13、优选地，预设温度的范围为250-600℃。
14、优选地，所述极紫外光的转化效率为2％-4％。
15、优选地，所述主电流脉冲的电流幅值为20ka-60ka，脉宽为100ns-200ns。
16、本专利技术为解决上述技术问题，提供又一技术方案如下：一种等离子体箍缩装置，所述箍缩系统装置包括电脉冲模块、反应室和如上述的气化装置。所述反应室分别连接所述气化装置和电脉冲模块。
17、与现有技术相比，本专利技术所提供的一种气化装置、极紫外光产生方法及等离子体箍缩装，具有如下的有益效果：
18、1.本专利技术实施例提供的一种气化装置，用于对等离子体箍缩系统装置中的固体锡进行汽化，气化装置包括供电模块、电磁感应加热模块和承载装置；供电模块与电磁感应加热模块电性连接，承载装置用于承载固体锡；电磁感应加热模块包括加热线圈，加热线圈沿承载装置的轴向方向环绕设置于承载装置，以产生涡流电对固体锡进行加热汽化形成锡气。本实施例中利用电磁感应，在固体锡内部产生涡流电，产生焦耳热，对它本身进行加热汽化，即通过电磁感应加热模块实现任意温度的加热汽化，比较方便控制，且极大了缩减汽化固体锡的成本。
19、2.本专利技术实施例的承载装置大致为凹圆盘形承载装置为石英坩埚，固体锡依次液化后形成液体锡，液体锡汽化后形成锡气；液体锡容置于承载装置的容纳槽内。将加热感应线圈中放置一个耐高温的石英坩埚，保证锡液在坩埚中被持续加热，伴随着锡气蒸发。
20、3.本专利技术实施例的气化装置内界定气化腔室，电磁感应加热模块和承载装置皆容置于气化腔室内，气化装置还包括过滤装置，过滤装置与气化腔室连通，以对气化腔室内的锡气进行过滤。通过气化装置将固体锡转化为锡气后，锡气通过过滤装置滤除氧化锡、液态锡等杂质后输出纯锡气。锡气纯度越高，对于后续箍缩形成的极紫外光的转化效率越高。
21、4.本专利技术实施例的气化装置包括保温层，保温层用于覆盖气化腔室外表面，用于对气化腔室进行保温。保温层用于对气化腔室进行保温，固体锡在汽化过程中会先进入液态再进入气态，其液态锡的存在严重降低极紫外光的转化效率。因此，保温层的作用为对气化腔室进行保温，使得汽化腔室内的温度能恒定在锡的汽化温度范围，避免锡气液化。
22、4.本专利技术实施例还提供一种极紫外光产生方法，具有与上述一种气化装置相同的有益效果，在此不做赘述。
23、5.本专利技术实施例通过气化装置产生锡气的具体过程包括：将预设电流作用至预设加热线圈上以控制固体锡于预设温度下汽化形成锡气。通过于预设温度下将锡气进行汽化，气化装置内的电磁感应加热模块可以精准控制在此温度区间内并对固体锡进行持续加热，有助于降低汽化固体锡的成本。
24、6.本专利技术实施例还提供一种等离子体箍缩装置，具有与上述一种气化装置相同的有益效果，在此不做赘述。
25、7.本专利技术实施例的等离子体箍缩装置还包括过滤装置，反应室开设有第一进气通道和第二进气通道，第一进气通道用于接收外接氙气；气化装置内设置有气化腔室，过滤装置用于连通气化腔室和第二进气通道，通过过滤装置滤除氧化锡、液态锡等杂质后输出纯锡气，与氙气一起按照比例输入到euv辐射腔室作为euv辐射的目标靶材。通过将锡气和氙气进行混合并通入至反应室内，在主电流脉冲的作用下，其最终形成的euv转换效率得到提升。
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1.一种气化装置，用于对等离子体箍缩系统装置中的固体锡进行汽化，其特征在于：所述气化装置包括供电模块、电磁感应加热模块和承载装置；
2.如权利要求1所述的一种气化装置，其特征在于：所述承载装置大致为凹圆盘形，所述固体锡先液化后形成液体锡，然后液体锡汽化后形成所述锡气。
3.如权利要求1所述的一种气化装置，其特征在于：所述气化装置内界定气化腔室，所述电磁感应加热模块和承载装置皆容置于所述气化腔室内，所述气化装置还包括过滤装置，所述过滤装置与所述气化腔室连通，以对所述气化腔室内的锡气进行过滤。
4.如权利要求1所述的一种气化装置，其特征在于：所述气化装置包括保温层，所述保温层用于覆盖所述气化腔室外表面，用于对气化腔室进行保温。
5.一种极紫外光产生方法，其特征在于：包括如下步骤：
6.如权利要求5所述的一种极紫外光产生方法，其特征在于：所述通过气化装置产生锡气的具体过程包括：将预设电流作用至预设加热线圈上以控制固体锡于预设温度下汽化形成锡气。
7.如权利要求6所述的一种极紫外光产生方法，其特征在于：预设温度的范围
8.如权利要求5所述的一种极紫外光产生方法，其特征在于：所述极紫外光的转化效率为2％-4％。
9.如权利要求5所述的一种极紫外光产生方法，其特征在于：所述主电流脉冲的电流幅值为20kA-60kA，脉宽为100n s-200n s。
10.一种等离子体箍缩装置，其特征在于：所述箍缩系统装置包括电脉冲模块、反应室和如权利要求1-4中任一项所述的气化装置。所述反应室分别连接所述气化装置和电脉冲模块。
...【技术特征摘要】
1.一种气化装置，用于对等离子体箍缩系统装置中的固体锡进行汽化，其特征在于：所述气化装置包括供电模块、电磁感应加热模块和承载装置；
2.如权利要求1所述的一种气化装置，其特征在于：所述承载装置大致为凹圆盘形，所述固体锡先液化后形成液体锡，然后液体锡汽化后形成所述锡气。
3.如权利要求1所述的一种气化装置，其特征在于：所述气化装置内界定气化腔室，所述电磁感应加热模块和承载装置皆容置于所述气化腔室内，所述气化装置还包括过滤装置，所述过滤装置与所述气化腔室连通，以对所述气化腔室内的锡气进行过滤。
4.如权利要求1所述的一种气化装置，其特征在于：所述气化装置包括保温层，所述保温层用于覆盖所述气化腔室外表面，用于对气化腔室进行保温。
5.一种极紫外光产生方法，其特征在于：包括如...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，请求不公布姓名，
申请(专利权)人：光科芯图北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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