【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于磁性检测，涉及铁磁共振检测，具体涉及一种铁磁共振检测探头。
技术介绍
1、铁磁共振检测（ferromagnetic resonance, fmr）是一种分析和研究铁磁材料磁性属性的技术。该技术利用磁矩在外部磁场和交变电磁场共同作用下的共振现象来探测和量化材料的磁性特征。
2、在铁磁共振检测当中，样品通常置于恒定磁场当中，并进一步地向被测物提供交变磁场，当交变磁场的频率与样品内部磁矩的自然振荡频率相匹配时，便发生共振。为了提供相应的磁场环境，一般需要在靠近被测物的待测位置设置励磁组件，因而极大地减少了在被测物的待测位置附近的操作空间。例如，一般需要通过电磁铁提供恒定磁场，并使被测物的待测位置贴近电磁铁的极头，以确保磁场具有检测所需的方向、强度等特性。狭小的操作空间极大地影响了铁磁共振探头的移动，容易造成探头与被测物或其他组件碰撞，容易引起设备或被测物的损坏。
3、在
技术介绍
部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本专利技术背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。
技术实现思路
1、为了避免铁磁共振探头与被测物或其他组件碰撞，，本专利技术提供了一种铁磁共振检测探头位置控制方法，移动组件设置有移动端、耦合至所述移动端的转动端，使用角度绝对值编码器监测所述转动端的角度；铁磁共振检测探头固定于所述移动端，以靠近或远离被测物的方向为第一方向，所述移动端带动所述铁磁共振检测探头在所述第一方向上移动；根据所述角度绝对值编码器的角度读数，
2、根据本申请的一个实施方式的记载，所述移动端还固定有距离传感器，使用所述距离传感器检测所述距离传感器与被测物的距离作为第一距离。
3、根据本申请的一个实施方式的记载，所述距离传感器靠近所述铁磁共振检测探头。
4、根据本申请的一个实施方式的记载，所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置调整包括第一调整过程、第二调整过程：
5、所述第一调整过程：根据所述角度绝对值编码器的角度读数，调整所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置；
6、所述第二调整过程：根据所述第一距离，调整所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置。
7、根据本申请的一个实施方式的记载，在对被测物进行检测前，依次进行所述第一调整过程、第二调整过程，使所述第一距离逐渐减小至第一预设阈值，使所述铁磁共振检测探头与被测物的距离满足检测需求。
8、根据本申请的一个实施方式的记载，在对被测物进行检测时，监测所述第一距离，当所述第一距离不等于所述第一预设阈值时，调整所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置，使所述第一距离达到所述第一预设阈值。
9、根据本申请的一个实施方式的记载，断电并重新通电后，通过所述角度绝对值编码器的角度读数获取所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置。
10、根据本申请的一个实施方式的记载，在所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置的调整过程中，使所述角度绝对值编码器的获取到的角度值始终保持在第一预设范围内。
11、根据本申请的一个实施方式的记载，所述移动端设置有伸缩部，所述铁磁共振检测探头固定于所述伸缩部，所述角度绝对值编码器获取到的角度值处于第二预设范围内时，以平行于被测物表面的方向为第二方向，所述铁磁共振检测探头在所述伸缩部的带动下沿所述第二方向移动。
12、根据本申请的一个实施方式的记载，根据所述铁磁共振检测探头在检测时所在空间在第一方向上的范围，设置所述第二预设范围。
13、本专利技术至少具有以下有益效果：本专利技术通过读取角度绝对值编码器来精确监测铁磁共振检测探头的位置，根据铁磁共振检测探头所在设备的结构特征设定安全范围，利用角度绝对值编码器的信号来限制铁磁共振检测探头的位移，避免铁磁共振监测设备的组件之间的碰撞，避免设备损坏或被测物损坏；即使在断电后重新启动，也无需校准，提高了检测效率，也完全消除了重新校准带来的碰撞风险，能够实现晶圆的无损铁磁共振测量。
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1.一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：移动组件设置有移动端、耦合至所述移动端的转动端，使用角度绝对值编码器监测所述转动端的角度；铁磁共振检测探头固定于所述移动端，以靠近或远离被测物的方向为第一方向，所述移动端带动所述铁磁共振检测探头在所述第一方向上移动；根据所述角度绝对值编码器的角度读数，计算所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置。
2.如权利要求1所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述移动端还固定有距离传感器，使用所述距离传感器检测所述距离传感器与被测物的距离作为第一距离。
3.如权利要求2所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述距离传感器靠近所述铁磁共振检测探头。
4.如权利要求2所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置调整包括第一调整过程、第二调整过程：
5.如权利要求4所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：
6.如权利要求5所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：在对被测物进行检测时，监测所述
7.如权利要求1所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：断电并重新通电后，通过所述角度绝对值编码器的角度读数获取所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置。
8.如权利要求1所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：在所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置的调整过程中，使所述角度绝对值编码器的获取到的角度值始终保持在第一预设范围内。
9.如权利要求1所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述移动端设置有伸缩部，所述铁磁共振检测探头固定于所述伸缩部，所述角度绝对值编码器获取到的角度值处于第二预设范围内时，以平行于被测物表面的方向为第二方向，所述铁磁共振检测探头在所述伸缩部的带动下沿所述第二方向移动。
10.如权利要求9所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：根据所述铁磁共振检测探头在检测时所在空间在第一方向上的范围，设置所述第二预设范围。
...【技术特征摘要】
1.一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：移动组件设置有移动端、耦合至所述移动端的转动端，使用角度绝对值编码器监测所述转动端的角度；铁磁共振检测探头固定于所述移动端，以靠近或远离被测物的方向为第一方向，所述移动端带动所述铁磁共振检测探头在所述第一方向上移动；根据所述角度绝对值编码器的角度读数，计算所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置。
2.如权利要求1所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述移动端还固定有距离传感器，使用所述距离传感器检测所述距离传感器与被测物的距离作为第一距离。
3.如权利要求2所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述距离传感器靠近所述铁磁共振检测探头。
4.如权利要求2所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：所述铁磁共振检测探头在第一方向上的位置调整包括第一调整过程、第二调整过程：
5.如权利要求4所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：
6.如权利要求5所述的一种铁磁共振检测探头位置控制方法，其特征在于：在对被测物进行检测...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜洪磊，徐福鸿，张学莹，王麟，
申请(专利权)人：致真精仪北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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