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使用电介质悬置电极结构制造技术

技术编号:42705821 阅读:14 留言:0更新日期:2024-09-13 11:59
公开了一种用于使用电介质悬置电极结构的装置。在示例方面,该装置包括具有压电层和电极结构的表面声波滤波器。该电极结构具有面向该压电层并且与该压电层分离一定距离的第一表面。该表面声波滤波器还包括电介质,该电介质设置在该电极结构的至少一个其他表面上,并且被配置为延伸经过由该电极结构的该第一表面限定的平面并朝向该压电层延伸,以限定该电极结构的该第一表面的至少一部分与该压电层之间的腔。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本公开整体涉及采用滤波器的无线收发器和其他组件,并且更具体地,涉及具有将电极结构的至少一部分悬置成与压电层隔开的电介质的表面声波(saw)滤波器。


技术介绍

1、电子设备使用射频(rf)信号来传达信息。这些射频信号使用户能够与朋友交谈、下载信息、共享图片、远程控制家用设备以及接收全球定位信息。为了发送或接收给定频带内的射频信号,电子设备可使用滤波器来使频带内的信号通过并且抑制(例如,减弱)具有频带外的频率的干扰或噪声。然而,设计为射频应用(包括利用高于2千兆赫(ghz)的频率的那些应用)提供滤波的滤波器可能是具有挑战性的。


技术实现思路

1、公开了一种实现用于使用电介质悬置电极结构的技术的装置。在示例具体实施中,表面声波滤波器包括电介质、电极结构和压电层。电介质部分地包封电极结构并且将电极结构的至少一部分悬置在压电层“上方”或与压电层隔开。由于悬置,在电极结构的指状物与压电层之间存在腔。以这种方式,指状物与压电层物理地解耦并且不在压电层上产生质量负载。这种物理解耦在确定指状物的厚度和材料方面提供了附加的设计灵活性和自由度,因为在没有减轻声波衰减、电极结构中的声损耗、非线性和/或声迁移的限制的情况下,可以容易地优化目标电导率。

2、在示例方面,公开了一种用于滤波的装置。该装置包括具有压电层和电极结构的表面声波滤波器。该电极结构具有面向该压电层并且与该压电层分离一定距离的第一表面。该表面声波滤波器还包括电介质,该电介质设置在该电极结构的至少一个其他表面上,并且被配置为延伸经过由该电极结构的该第一表面限定的平面并朝向该压电层延伸,以限定该电极结构的该第一表面的至少一部分与该压电层之间隔开该距离的腔。

3、在示例方面,公开了一种用于滤波的装置。该装置包括被配置为从射频信号生成滤波信号的表面声波滤波器。该表面声波滤波器包括用于将该射频信号转换成声波并将传播的声波转换成该滤波信号的构件。该表面声波滤波器还包括用于跨平坦表面传播该声波以产生该传播的声波的构件。该表面声波滤波器另外包括用于将用于转换的该构件的至少一部分悬置成与该平坦表面隔开的构件。

4、在示例方面,公开了一种用于制造表面声波滤波器的方法。该方法包括提供压电层。该方法还包括提供电极结构,该电极结构具有面向该压电层并且与该压电层分离一定距离的第一表面。该方法另外包括提供电介质,该电介质将该电极结构的该第一表面的至少一部分悬置成与该压电层隔开该距离。

5、在示例方面,公开了一种表面声波滤波器。该表面声波滤波器包括具有平坦表面的压电层。该表面声波滤波器还包括电极结构,该电极结构包括指状物。该指状物具有面向该压电层的该平坦表面的第一表面和至少部分地背离该压电层的第二表面。该表面声波滤波器还包括电介质,该电介质被配置为将该电极结构的该指状物与该压电层的该平坦表面分离。该电介质包括跨该指状物的该第二表面设置的帽状件。该电介质还包括通过存在于该指状物之间的间隙设置在该压电层与该帽状件之间的间隔件。

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【技术保护点】

1.一种装置,所述装置包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质被配置为使所述电极结构的至少一部分被悬置成与所述压电层隔开所述距离。

3.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质粘附到所述电极结构的所述至少一个其他表面。

4.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质的部分通过所述电极结构中的不同间隙延伸经过所述平面。

5.根据权利要求1所述的装置,其中:

6.根据权利要求1所述的装置,其中所述腔至少部分地填充有气体。

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述气体包括空气。

8.根据权利要求1所述的装置,其中:

9.根据权利要求8所述的装置,其中:

10.根据权利要求9所述的装置,其中所述帽状件和所述间隔件包含相同的电介质材料。

11.根据权利要求9所述的装置,其中所述帽状件的厚度介于约一百纳米与两千纳米之间。

12.根据权利要求8所述的装置,其中所述腔沿着所述指状物的长度延伸。

13.根据权利要求8所述的装置,其中所述腔的宽度大于所述指状物的各个宽度。

14.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质包括以下中的一者或多者:

15.根据权利要求1所述的装置,其中所述腔的高度介于约一纳米与五十纳米之间。

16.根据权利要求1所述的装置,其中所述压电层被配置为激发以下中的一者:

17.根据权利要求1所述的装置,其中所述表面声波滤波器包括以下中的至少一者:

18.根据权利要求17所述的装置,其中:

19.根据权利要求17所述的装置,其中:

20.根据权利要求1所述的装置,其中:

21.根据权利要求1所述的装置,所述装置还包括:

22.根据权利要求1所述的装置,其中所述表面声波滤波器包括薄膜表面声波滤波器。

23.一种装置,所述装置包括:

24.根据权利要求23所述的装置,其中用于悬置的所述构件包括用于反射所述声波的构件。

25.一种制造表面声波滤波器的方法,所述方法包括:

26.根据权利要求25所述的方法,所述方法还包括:

27.根据权利要求25所述的方法,其中:

28.一种表面声波滤波器,所述表面声波滤波器包括:

29.根据权利要求28所述的表面声波滤波器,其中所述电介质的所述间隔件被配置为朝向所述压电层的所述平坦表面延伸经过由所述指状物的所述第一表面限定的平面,以在所述指状物的所述第一表面与所述压电层的所述平坦表面之间限定腔。

30.根据权利要求29所述的表面声波滤波器,其中所述腔沿着所述指状物的长度延伸并且延伸超过所述指状物的宽度。

31.根据权利要求29所述的表面声波滤波器,其中所述表面声波滤波器包括电介质层,所述电介质层设置在所述电介质与所述指状物之间,设置在所述电介质与所述压电层之间,以及设置在所述电介质与所述腔之间。

32.根据权利要求29所述的表面声波滤波器,其中所述表面声波滤波器包括设置在所述指状物与所述腔之间的电介质层。

33.根据权利要求29所述的表面声波滤波器,其中所述表面声波滤波器包括设置在所述压电层与所述腔之间,以及设置在所述压电层与所述电介质之间的电介质层。

34.根据权利要求28所述的表面声波滤波器,其中所述帽状件和所述间隔件包含不同的电介质材料。

35.根据权利要求28所述的表面声波滤波器,其中:

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种装置,所述装置包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质被配置为使所述电极结构的至少一部分被悬置成与所述压电层隔开所述距离。

3.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质粘附到所述电极结构的所述至少一个其他表面。

4.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质的部分通过所述电极结构中的不同间隙延伸经过所述平面。

5.根据权利要求1所述的装置,其中:

6.根据权利要求1所述的装置,其中所述腔至少部分地填充有气体。

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述气体包括空气。

8.根据权利要求1所述的装置,其中:

9.根据权利要求8所述的装置,其中:

10.根据权利要求9所述的装置,其中所述帽状件和所述间隔件包含相同的电介质材料。

11.根据权利要求9所述的装置,其中所述帽状件的厚度介于约一百纳米与两千纳米之间。

12.根据权利要求8所述的装置,其中所述腔沿着所述指状物的长度延伸。

13.根据权利要求8所述的装置,其中所述腔的宽度大于所述指状物的各个宽度。

14.根据权利要求1所述的装置,其中所述电介质包括以下中的一者或多者:

15.根据权利要求1所述的装置,其中所述腔的高度介于约一纳米与五十纳米之间。

16.根据权利要求1所述的装置,其中所述压电层被配置为激发以下中的一者:

17.根据权利要求1所述的装置,其中所述表面声波滤波器包括以下中的至少一者:

18.根据权利要求17所述的装置,其中:

19.根据权利要求17所述的装置,其中:

20.根据权利要求1所述的装置,其中:

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【专利技术属性】
技术研发人员:B·布拉施克M·霍纳尔M·纳普W·鲁伊莱
申请(专利权)人:RF三六零新加坡私人有限公司
类型:发明
国别省市:

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