【技术实现步骤摘要】
本公开涉及液相成膜，尤其涉及一种自动化旋涂设备。
技术介绍
1、作为一种重要的液相成膜技术，旋涂工艺在微电子制造、光电子、生物传感、材料科学等领域有着广泛的应用。
2、目前，旋涂工艺主要包括人工旋涂和自动化旋涂，其中，人工旋涂的生产效率通常较低，而且对于出液量的控制会存在偏差，甚至有引入污染、对薄膜造成损伤等问题，而自动化旋涂虽然改善了以上问题，但是现有自动化旋涂设备储存的液体易受到所处环境的影响，如：液体在静置时，液体中的溶质会发生团聚，从而降低了液体的稳定性，导致旋涂质量较低。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题或者至少部分地解决上述技术问题，本公开提供了一种自动化旋涂设备。
2、本公开提供了一种自动化旋涂设备，包括：多个液体暂存腔、振动模块和控制模块；
3、至少部分数量的所述液体暂存腔与所述振动模块接触；所述振动模块与所述控制模块电连接；
4、所述液体暂存腔用于存放待滴落液体；所述控制模块用于控制所述振动模块带动所述液体暂存腔振动。
5、可选地，所述振动模块包括金属围绕部，所述金属围绕部设置在所述液体暂存腔的外壁。
6、可选地，所述金属围绕部中设置有压电陶瓷结构；所述控制模块用于产生超声波信号。
7、可选地，所述控制模块还用于控制所述金属围绕部的温度。
8、可选地，该自动化旋涂设备还包括：空压机和储液部；所述储液部的容量大于所述液体暂存腔的容量；
9、所述储液部和所
10、所述空压机用于向所述储液部和所述液体暂存腔通气，以驱动所述储液部中的液体输送至所述液体暂存腔，以及驱动所述液体暂存腔中的液体滴落。
11、可选地，该自动化旋涂设备还包括基底固定组件；所述基底固定组件包括底座和载物台；
12、所述载物台可拆卸连接于所述底座；所述底座设有空腔；所述载物台设有多个通孔；所述空压机通过穿过所述空腔与所述通孔连通。
13、可选地，该自动化旋涂设备还包括：位移组件；
14、所述液体暂存腔和所述基底固定组件中的至少一者固定于所述位移组件；
15、所述位移组件用于带动所述液体暂存腔和所述基底固定组件中的至少一者沿预设轨迹移动。
16、可选地，所述位移组件包括：悬挂固定件和承托固定件；
17、所述液体暂存腔固定于所述悬挂固定件；所述基底固定组件固定于所述承托固定件；
18、所述悬挂固定件用于带动所述液体暂存腔沿第一方向和/或第二方向移动；所述承托固定件用于带动所述基底固定组件沿第三方向移动；
19、其中，所述第一方向、所述第二方向以及所述第三方向两两相互垂直。
20、可选地，该自动化旋涂设备还包括：至少一个蠕动泵；部分数量的所述液体暂存腔与所述蠕动泵一一对应相接。
21、可选地，所述液体暂存腔通过滴液头滴落液体；
22、其中，至少部分数量的所述液体暂存腔对应的所述滴液头包括过滤结构。
23、可选地，所述液体暂存腔通过滴液头滴落液体；至少部分数量的所述液体暂存腔对应的所述滴液头的出液量不同。
24、本公开实施例提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：
25、本公开实施例提供的自动化旋涂设备，包括：多个液体暂存腔、振动模块和控制模块；至少部分数量的液体暂存腔与振动模块接触；振动模块与控制模块电连接；液体暂存腔用于存放待滴落液体；控制模块用于控制振动模块带动液体暂存腔振动。如此，通过控制模块控制振动模块带动液体暂存腔振动，使液体暂存腔中液体的溶质分散，保证了液体的稳定性，进而利于提升旋涂质量。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种自动化旋涂设备，其特征在于，包括：多个液体暂存腔、振动模块和控制模块；
2.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述振动模块包括金属围绕部，所述金属围绕部设置在所述液体暂存腔的外壁。
3.根据权利要求2所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述金属围绕部中设置有压电陶瓷结构；所述控制模块用于产生超声波信号。
4.根据权利要求2所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述控制模块还用于控制所述金属围绕部的温度。
5.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，还包括：空压机和储液部；所述储液部的容量大于所述液体暂存腔的容量；
6.根据权利要求5所述的自动化旋涂设备，其特征在于，还包括基底固定组件；所述基底固定组件包括底座和载物台；
7.根据权利要求6所述的自动化旋涂设备，其特征在于，还包括：位移组件；
8.根据权利要求7所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述位移组件包括：悬挂固定件和承托固定件；
9.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，还包括：至少一个蠕动泵；部
10.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述液体暂存腔通过滴液头滴落液体；
11.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述液体暂存腔通过滴液头滴落液体；至少部分数量的所述液体暂存腔对应的所述滴液头的出液量不同。
...【技术特征摘要】
1.一种自动化旋涂设备，其特征在于，包括：多个液体暂存腔、振动模块和控制模块；
2.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述振动模块包括金属围绕部，所述金属围绕部设置在所述液体暂存腔的外壁。
3.根据权利要求2所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述金属围绕部中设置有压电陶瓷结构；所述控制模块用于产生超声波信号。
4.根据权利要求2所述的自动化旋涂设备，其特征在于，所述控制模块还用于控制所述金属围绕部的温度。
5.根据权利要求1所述的自动化旋涂设备，其特征在于，还包括：空压机和储液部；所述储液部的容量大于所述液体暂存腔的容量；
6.根据权利要求5所述的自动化旋涂设备，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘雁飞，罗宇宁，
申请(专利权)人：中芯热成科技北京有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。