【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，尤其涉及一种阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统。
技术介绍
1、目前，随着射频电源的应用范围越来越广泛，射频电源开始为越来越多的核心工艺设备进行供电，这也对射频电源提出了更高的要求，即在一些应用场景下，需要多个射频源同时对被供电的核心工艺设备进行输出，以满足被供电的核心工艺设备的要求。但是，当前难以对多个射频源与核心工艺设备进行阻抗匹配，容易产生较大的反射功率，进而造成一个或多个射频源被产生的反射功率击毁。因此，如何根据核心工艺设备的具体需要，满足多个射频源与核心工艺设备之间的阻抗匹配要求，成为了需要考虑的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种阻抗匹配器、射频电源设备以及射频电源系统，可满足多个射频源与负载之间的阻抗匹配要求。
2、第一方面，提供一种阻抗匹配器，所述阻抗匹配器用于对多个射频源与负载进行阻抗匹配，所述多个射频源包括第一射频源和第二射频源；其中，所述阻抗匹配器包括第一节点、第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元；所述第一匹配单元连接于所述第一射频源的输出端与所述第一节点之间，所述第二匹配单元连接于所述第二射频源的输出端与所述第一节点之间，所述第三匹配单元连接于所述第一节点与所述负载之间，所述第一匹配单元、所述第二匹配单元以及所述第三匹配单元均具有可调节的电抗值；其中，在对所述第一射频源、所述第二射频源以及所述负载进行阻抗匹配的过程中，所述第三匹配单元的电抗值被调节至预设电抗值，所述第一匹配单元的电抗值根据所述第三匹配单元的预设电抗
3、在一种可能的实施方式中，所述第一射频源的输出端用于输出第一射频信号，所述第二射频源的输出端用于输出第二射频信号，所述第一射频信号的频率为所述第一射频源的输出频率，所述第二射频信号的频率为所述第二射频源的输出频率，且所述第一射频信号的频率与所述第二射频信号的频率不相同；其中，在所述第一匹配单元的电抗值以及所述第二匹配单元的电抗值调节过程中，所述第一匹配单元的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，所述第二匹配单元的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等；或者，所述第一匹配单元的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，所述第二匹配单元的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等。
4、在一种可能的实施方式中，所述第一匹配单元包括第一串联谐振模块，所述第二匹配单元包括第二串联谐振模块，所述第一串联谐振模块的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，所述第二串联谐振模块的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，以分别对所述第一射频信号和所述第二射频信号保持低阻抗，且所述第三匹配单元对所述第一射频信号和所述第二射频信号均保持低阻抗，使得所述第一射频信号和所述第二射频信号对应通过所述第一匹配单元和所述第二匹配单元之后，再通过所述第三匹配单元输出至所述负载。
5、在一种可能的实施方式中，所述第一匹配单元包括第一并联谐振模块，所述第二匹配单元包括第二并联谐振模块，所述第一并联谐振模块的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，所述第二并联谐振模块的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，以分别对所述第二射频信号和所述第一射频信号保持高阻抗，禁止所述第一射频信号通过所述第二并联谐振模块传输至所述第二射频源以及所述第二射频信号通过所述第一并联谐振模块传输至所述第一射频源，并分别对所述第一射频信号和所述第二射频信号保持低阻抗，且所述第三匹配单元对所述第一射频信号和所述第二射频信号均保持低阻抗，使得所述第一射频信号和所述第二射频信号对应通过所述第一匹配单元和所述第二匹配单元之后，再通过所述第三匹配单元输出至所述负载。
6、在一种可能的实施方式中，在所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第一目标电抗值的电抗属性为感性；在所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第一目标电抗值的电抗属性为容性；在所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第二目标电抗值的电抗属性为感性；在所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第二目标电抗值的电抗属性为容性。
7、在一种可能的实施方式中，所述阻抗匹配器还包括第一补偿单元和第二补偿单元，所述第一补偿单元与所述第一射频源的输出端可选择地连接，所述第二补偿单元与所述第二射频源的输出端可选择地连接，所述第一补偿单元和所述第二补偿单元均具有可调节的电抗值；其中，所述第一补偿单元用于在与所述第一射频源的输出端连接时，根据所述第一匹配单元和所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性将自身的电抗值调节至第一补偿电抗值，以对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性进行电抗补偿，所述第二补偿单元用于在与所述第二射频源的输出端连接时，根据所述第二匹配单元和所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性将自身的电抗值调节至第二补偿电抗值，以对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性进行电抗补偿。
8、在一种可能的实施方式中，在所述第一匹配单元和所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第一补偿电抗值的电抗属性为感性；在所述第一匹配单元和所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第一补偿电抗值的电抗属性为容性。
9、在一种可能的实施方式中，在所述第二匹配单元和所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第二补偿电抗值的电抗属性为感性；在所述第二匹配单元和所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第二补偿电抗值的电抗属性为容性。
10、第二方面，还提供一种射频电源设备，所述射频电源设备包括多个射频源以及阻抗匹配器。所述阻抗匹配器用于对多个射频源与负载进行阻抗匹配，所述多个射频源包括第一射频源和第二射频源；其中，所述阻抗匹配器包括第一节点、第一匹配单元、第二匹配单元以及第三匹配单元；所述第一匹配单元连接于所述第一射频源的输出端与所述第一节点之间，所述第二匹配单元连接于所述第二射频源的输出端与所述第一节点之间，所述第三匹配单元连接于所述第一节点与所述负载之间，所述第一匹配单元、所述第二匹配单元以及所述第三匹配单元均具有可调节的电抗值；其中，在对所述第一射频源、所述第二射频源以及所述负载进行阻抗匹配的过程中，所述第三匹配单元的电抗值被调节至预设电抗本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配器用于对多个射频源与负载进行阻抗匹配，所述多个射频源包括第一射频源和第二射频源；
2.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述第一射频源的输出端用于输出第一射频信号，所述第二射频源的输出端用于输出第二射频信号，所述第一射频信号的频率为所述第一射频源的输出频率，所述第二射频信号的频率为所述第二射频源的输出频率，且所述第一射频信号的频率与所述第二射频信号的频率不相同；其中，在所述第一匹配单元的电抗值以及所述第二匹配单元的电抗值调节过程中，所述第一匹配单元的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，所述第二匹配单元的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等；或者，所述第一匹配单元的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，所述第二匹配单元的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等。
3.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述第一匹配单元包括第一串联谐振模块，所述第二匹配单元包括第二串联谐振模块，所述第一串联谐振模块的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，所述第二串联谐振模块的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，以分
4.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述第一匹配单元包括第一并联谐振模块，所述第二匹配单元包括第二并联谐振模块，所述第一并联谐振模块的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，所述第二并联谐振模块的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，以分别对所述第二射频信号和所述第一射频信号保持高阻抗，禁止所述第一射频信号通过所述第二并联谐振模块传输至所述第二射频源以及所述第二射频信号通过所述第一并联谐振模块传输至所述第一射频源，并分别对所述第一射频信号和所述第二射频信号保持低阻抗，且所述第三匹配单元对所述第一射频信号和所述第二射频信号均保持低阻抗，使得所述第一射频信号和所述第二射频信号对应通过所述第一匹配单元和所述第二匹配单元之后，再通过所述第三匹配单元输出至所述负载。
5.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，在所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第一目标电抗值的电抗属性为感性；在所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第一目标电抗值的电抗属性为容性；在所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第二目标电抗值的电抗属性为感性；在所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第二目标电抗值的电抗属性为容性。
6.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配器还包括第一补偿单元和第二补偿单元，所述第一补偿单元与所述第一射频源的输出端可选择地连接，所述第二补偿单元与所述第二射频源的输出端可选择地连接，所述第一补偿单元和所述第二补偿单元均具有可调节的电抗值；其中，所述第一补偿单元用于在与所述第一射频源的输出端连接时，根据所述第一匹配单元和所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性将自身的电抗值调节至第一补偿电抗值，以对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性进行电抗补偿，所述第二补偿单元用于在与所述第二射频源的输出端连接时，根据所述第二匹配单元和所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性将自身的电抗值调节至第二补偿电抗值，以对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性进行电抗补偿。
7.根据权利要求6所述的阻抗匹配器，其特征在于，在所述第一匹配单元和所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第一补偿电抗值的电抗属性为感性；在所述第一匹配单元和所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第一补偿电抗值的电抗属性为容性。
8.根据权利要求6所述的阻抗匹配器，其特征在于，在所述第二匹配单元和所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为容性时，所述第二补偿电抗值的电抗属性为感性；在所述第二匹配单元和所述第三匹配单元对所述第二射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电抗属性为感性时，所述第二补偿电抗值的电抗属性为容性。
9.一种射频电源设备，其特征在于，包括多个射频源以及如权利要求1-8任...
【技术特征摘要】
1.一种阻抗匹配器，其特征在于，所述阻抗匹配器用于对多个射频源与负载进行阻抗匹配，所述多个射频源包括第一射频源和第二射频源；
2.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述第一射频源的输出端用于输出第一射频信号，所述第二射频源的输出端用于输出第二射频信号，所述第一射频信号的频率为所述第一射频源的输出频率，所述第二射频信号的频率为所述第二射频源的输出频率，且所述第一射频信号的频率与所述第二射频信号的频率不相同；其中，在所述第一匹配单元的电抗值以及所述第二匹配单元的电抗值调节过程中，所述第一匹配单元的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，所述第二匹配单元的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等；或者，所述第一匹配单元的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，所述第二匹配单元的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等。
3.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述第一匹配单元包括第一串联谐振模块，所述第二匹配单元包括第二串联谐振模块，所述第一串联谐振模块的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，所述第二串联谐振模块的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，以分别对所述第一射频信号和所述第二射频信号保持低阻抗，且所述第三匹配单元对所述第一射频信号和所述第二射频信号均保持低阻抗，使得所述第一射频信号和所述第二射频信号对应通过所述第一匹配单元和所述第二匹配单元之后，再通过所述第三匹配单元输出至所述负载。
4.根据权利要求2所述的阻抗匹配器，其特征在于，所述第一匹配单元包括第一并联谐振模块，所述第二匹配单元包括第二并联谐振模块，所述第一并联谐振模块的谐振频率与所述第二射频信号的频率相等，所述第二并联谐振模块的谐振频率与所述第一射频信号的频率相等，以分别对所述第二射频信号和所述第一射频信号保持高阻抗，禁止所述第一射频信号通过所述第二并联谐振模块传输至所述第二射频源以及所述第二射频信号通过所述第一并联谐振模块传输至所述第一射频源，并分别对所述第一射频信号和所述第二射频信号保持低阻抗，且所述第三匹配单元对所述第一射频信号和所述第二射频信号均保持低阻抗，使得所述第一射频信号和所述第二射频信号对应通过所述第一匹配单元和所述第二匹配单元之后，再通过所述第三匹配单元输出至所述负载。
5.根据权利要求1所述的阻抗匹配器，其特征在于，在所述第三匹配单元对所述第一射频源与所述负载进行阻抗匹配后呈现的电...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，林炯康，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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