【技术实现步骤摘要】
本技术涉及二次离子质谱实验室辅助治具，尤其涉及一种适用于二次质谱仪的样品载台套件。
技术介绍
1、二次质谱仪通过高能量的离子束轰击样品表面，使得样品表面分子吸收能量二从表面发生溅射产生二次离子，通过收集并分析这些二次离子以得到样品表面信息的图谱。
2、在进行上述处理时需要将样品固定起来，相关的技术中的载台多采用顶部面作为分析面，并采用弹性部件抵紧的方式紧固样品。这种方式，由于是通过顶面作为分析面，这使得顶面具有较大的分析窗口，从而使得容易被掉落的颗粒物污染，造成样品测量准确度降低。
技术实现思路
1、本技术提供一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，用以解决现有技术中样品容易受污染，样品固定的稳定性差的缺陷。
2、本技术提供一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，包括：壳体和固定组件；
3、所述壳体内限定有一容置空间，所述容置空间的底面上具有多个窗口；
4、所述固定组件设于所述壳体上，所述固定组件用于将样品固定于所述容置空间的底部，以使得样品的待处理面能够由所述窗口露出。
5、根据本技术提供的样品载台套件，所述壳体的底部具有边沿结构，所述边沿结构沿所述壳体周向方向环绕于所述壳体的外周，所述边沿结构凸出于所述壳体底面。
6、根据本技术提供的样品载台套件，所述固定组件包括多个固定单元，每一所述固定单元包括固定杆、固定柱和锁紧件，所述固定杆与所述壳体可拆卸连接，所述固定柱的一端与所述固定杆连接，所述固定柱的另一端伸入到所述容
7、根据本技术提供的样品载台套件，所述锁紧件包括锁紧螺母以及锁紧块，所述锁紧螺母与所述固定杆的一端螺纹连接，所述锁紧块套设于所述固定杆上，所述锁紧螺母用于使所述锁紧块与所述壳体的外壁面抵接以实现所述固定杆的锁紧。
8、根据本技术提供的样品载台套件，所述锁紧块具有两个端面，所述锁紧块的一个端面与所述螺母贴合，所述锁紧块的另一个端面与所述壳体的外壁面贴合。
9、根据本技术提供的样品载台套件，所述壳体上具有固定槽，所述固定杆穿设于所述固定槽中。
10、根据本技术提供的样品载台套件，所述固定柱伸入到容置空间内的一端上连接有接触垫片。
11、根据本技术提供的样品载台套件，所述接触垫片为柔性材质的垫片结构。
12、根据本技术提供的样品载台套件，多个所述固定单元之间通过连接杆固定连接，以使得多个所述固定单元形成一个整体。
13、根据本技术提供的样品载台套件，所述壳体构造为方锥形的斗状结构。
14、根据上述任一实施例，本技术至少具有以下有益效果：
15、本技术提供的一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，通过在底部开设窗口使得样品固定于容置空间的底部，使得待作用面在壳体底面上，避免了掉落颗粒物的污染，提升了采集的准确性。
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1.一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，其特征在于，包括：壳体(10)和固定组件(20)；
2.根据权利要求1所述的样品载台套件，其特征在于，所述壳体(10)的底部具有边沿结构(12)，所述边沿结构(12)沿所述壳体周向方向环绕于所述壳体(10)的外周，所述边沿结构(12)凸出于所述壳体(10)底面。
3.根据权利要求1或2所述的样品载台套件，其特征在于，所述固定组件(20)包括多个固定单元，每一所述固定单元包括固定杆(21)、固定柱(22)和锁紧件(23)，所述固定杆(21)与所述壳体(10)可拆卸连接，所述固定柱(22)的一端与所述固定杆(21)连接，所述固定柱(22)的另一端伸入到所述容置空间(11)的底部，所述锁紧件(23)与所述固定杆(21)连接，所述锁紧件(23)用于将所述固定杆(21)固定于所述壳体(10)上。
4.根据权利要求3所述的样品载台套件，其特征在于，所述锁紧件(23)包括锁紧螺母(231)以及锁紧块(232)，所述锁紧螺母(231)与所述固定杆(21)的一端螺纹连接，所述锁紧块(232)套设于所述固定杆(21)上，所述
5.根据权利要求4所述的样品载台套件，其特征在于，所述锁紧块(232)具有两个端面，所述锁紧块(232)的一个端面与所述螺母贴合，所述锁紧块(232)的另一个端面与所述壳体(10)的外壁面贴合。
6.根据权利要求4所述的样品载台套件，其特征在于，所述壳体(10)上具有固定槽(14)，所述固定杆(21)穿设于所述固定槽(14)中。
7.根据权利要求3所述的样品载台套件，其特征在于，所述固定柱(22)伸入到容置空间(11)内的一端上连接有接触垫片(24)。
8.根据权利要求7所述的样品载台套件，其特征在于，所述接触垫片(24)为柔性材质的垫片结构。
9.根据权利要求3所述的样品载台套件，其特征在于，多个所述固定单元之间通过连接杆(25)固定连接，以使得多个所述固定单元形成一个整体。
10.根据权利要求1所述的样品载台套件，其特征在于，所述壳体(10)构造为方锥形的斗状结构。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于二次质谱仪的样品载台套件，其特征在于，包括：壳体(10)和固定组件(20)；
2.根据权利要求1所述的样品载台套件，其特征在于，所述壳体(10)的底部具有边沿结构(12)，所述边沿结构(12)沿所述壳体周向方向环绕于所述壳体(10)的外周，所述边沿结构(12)凸出于所述壳体(10)底面。
3.根据权利要求1或2所述的样品载台套件，其特征在于，所述固定组件(20)包括多个固定单元，每一所述固定单元包括固定杆(21)、固定柱(22)和锁紧件(23)，所述固定杆(21)与所述壳体(10)可拆卸连接，所述固定柱(22)的一端与所述固定杆(21)连接，所述固定柱(22)的另一端伸入到所述容置空间(11)的底部，所述锁紧件(23)与所述固定杆(21)连接，所述锁紧件(23)用于将所述固定杆(21)固定于所述壳体(10)上。
4.根据权利要求3所述的样品载台套件，其特征在于，所述锁紧件(23)包括锁紧螺母(231)以及锁紧块(232)，所述锁紧螺母(231)与所述固定杆(21)的一端螺纹连接，所述锁紧块(232)套设于所述固定杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙佳豪，刘睿，
申请(专利权)人：英诺赛科苏州半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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