【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种电极引入装置和半导体加工设备。
技术介绍
1、太阳能电池发电是解决能源问题和环境问题的一个重要途径。现在大多数的太阳能电池是由晶体硅材料做成的，而镀膜是制造高效硅电池片的重要步骤之一，通常采用的方法是采用板式或管式等离子体增强化学气相沉积(plasma enhanced chemical vapordeposition，简称pecvd)设备镀氮化硅。
2、相关技术中，pecvd设备包括工艺腔体和设置在工艺腔体中的承载装置，该承载装置用于承载至少一个载片舟(即石墨舟)，载片舟包括依次排列的多个舟片，且各相邻两个舟片之间具有一定的间隔，各相邻两个舟片在该间隔两侧承载有晶片(例如硅片)。载片舟的底部具有四个舟脚，载片舟的两侧均具有电连接结构，多个舟片划分为两组舟片组，且各相邻两个舟片位于不同的舟片组，该电连接结构用于将各组舟片组中的舟片电导通。四个舟脚与上述电连接结构电导通，并且在载片舟被放置于承载装置上时，四个舟脚会与工艺腔体中的电极引入结构电接触，该电极引入结构用于将射频电源的正极和负极，依次通过四个舟脚和电连接结构分别与两组舟片组电导通，以实现各相邻的两个舟片的极性相反。在进行工艺时，射频电源向载片舟的各相邻舟片之间加载射频电场，使反应气体(例如包括sih4和nh3)发生辉光放电，分解形成si和n的离子，并相结合形成sinx分子，沉积在硅片表面，形成薄膜。
3、现有技术中，上述电极引入结构是采用从工艺腔体的炉门处引入两个传输杆至工艺腔体中，每个传输杆通过电极块
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种电极引入装置和半导体加工设备，其可以解决现有技术中因电极块产生角度偏转而引起的在电极块与舟脚的接触位置存在间隙的问题。
2、为实现本专利技术的目的而提供一种电极引入装置，应用于半导体加工设备，包括第一电极组件和第二电极组件；所述第一电极组件和第二电极组件均包括导电支撑件和电极连接件，其中，所述导电支撑件用于可相对转动的套设于所述半导体加工设备的工艺腔体内的用于承载载片舟的支撑柱上，且具有用于支撑并电接触所述载片舟对应的舟脚的支撑面；在所述载片舟对应的所述舟脚置于所述支撑面时，所述导电支撑件能够自适应性地转动，以使所述支撑面与所述舟脚相贴合；
3、所述电极连接件设置于所述工艺腔体中，且所述电极连接件的一端用于与射频电源的正极或负极电连接，所述电极连接件的另一端与所述导电支撑件电导通，且接触配合，用以将所述导电支撑件限制在预设角度范围内。
4、在一些实施例中，所述导电支撑件包括环形支撑件和第一绝缘支撑套，其中，所述环形支撑件套设于所述第一绝缘支撑套上；所述第一绝缘支撑套套设于所述支撑柱上；
5、所述环形支撑件、所述第一绝缘支撑套和所述支撑柱中的至少两者能够相对转动。
6、在一些实施例中，所述环形支撑件与所述第一绝缘支撑套相对固定，且所述第一绝缘支撑套与所述支撑柱相对转动。
7、在一些实施例中，所述导电支撑件还包括轴向限位件，所述轴向限位件设置于所述第一绝缘支撑套和/或所述支撑柱，用于限制所述第一绝缘支撑套沿所述支撑柱的轴向的位置。
8、在一些实施例中，所述轴向限位件包括设置于所述支撑柱的外周壁，且位于所述第一绝缘支撑套沿所述支撑柱的轴向的两侧的多个定位凸起。
9、在一些实施例中，所述电极连接件包括电极绝缘套和导电线缆，其中，所述电极绝缘套的一端固定于所述工艺腔体，所述电极绝缘套的另一端与所述导电支撑件接触配合；
10、所述导电线缆穿设于所述电极绝缘套中，且所述导电线缆的一端用于与所述射频电源的正极或负极电连接，另一端与所述导电支撑件电连接。
11、在一些实施例中，所述电极绝缘套包括多段绝缘套段，多段所述绝缘套段依次插接。
12、在一些实施例中，每个所述绝缘套段均包括第一子柱状套段和设置于所述第一子柱状套段一端的第二子柱状套段；
13、各相邻的两段所述绝缘套段中，其中一段绝缘套段的所述第一子柱状套段插设于另一段绝缘套段的所述第二子柱状套段中。
14、在一些实施例中，所述导电支撑件包括上导电分体和下导电分体，所述上导电分体和下导电分体对接构成环体；
15、所述上导电分体具有所述支撑面；所述上导电分体和下导电分体可拆卸地连接。
16、在一些实施例中，所述上导电分体或者下导电分体设置有第一连接部，所述第一连接部上设置有通孔；所述导电线缆的另一端设置有具有外螺纹的第二连接部，所述第二连接部穿过所述通孔，并与一螺母螺纹配合；所述螺母与所述第一连接部电接触。
17、作为另一个技术方案，本专利技术还提供一种半导体加工设备，包括工艺腔体，在所述工艺腔体中设置有在水平方向上相对设置的两个支撑柱，用于共同承载至少一个载片舟，还包括本专利技术提供的上述电极引入装置，所述第一电极组件和所述第二电极组件中的所述导电支撑件分别可相对转动的套设于两个所述支撑柱上。
18、在一些实施例中，所述电极连接件至少部分由所述工艺腔体支撑。
19、在一些实施例中，所述载片舟具有导电的第一前舟脚、导电的第一后舟脚、绝缘的第二前舟脚和绝缘的第二后舟脚；
20、两个所述支撑柱分别为第一支撑柱和第二支撑柱，其中，所述第一电极组件中的所述导电支撑件可相对转动的套设于所述第一支撑柱，用于支撑并电接触所述第一前舟脚；所述第二电极组件中的所述导电支撑件可相对转动的套设于所述第二支撑柱，用于支撑并电接触所述第一后舟脚；
21、所述第一支撑柱和所述第二支撑柱上均还套设有第二绝缘支撑套，所述第一支撑柱上的所述第二绝缘支撑套用于支撑所述第二后舟脚；所述第二支撑柱上的所述第二绝缘支撑套用于支撑所述第二前舟脚。
22、在一些实施例中，所述第一绝缘支撑套的厚度小于所述第二绝缘支撑套的厚度，以使所述导电支撑件与舟脚的接触位置的高度平齐于所述第二绝缘支撑套与舟脚的接触位置的高度。
23、本专利技术具有以下有益效果：
24、本专利技术提供的电极引入装置，其第一电极组件和第二电极组件均包括导电支撑件和电极连接件，其中，通过使导电支撑件可相对转动的套设于工艺腔体内的用于承载载片舟的支撑柱上，在载片舟对应的舟脚置于导电支撑件的支撑面时，导电支撑件能够在载片舟的重力作用下自适应性地转动，以使支撑面与舟脚相贴合。在此基础上，结合使用用于实现射频引入的电极本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种电极引入装置，应用于半导体加工设备，其特征在于，包括第一电极组件和第二电极组件；所述第一电极组件和第二电极组件均包括导电支撑件和电极连接件，其中，所述导电支撑件用于可相对转动的套设于所述半导体加工设备的工艺腔体内的用于承载载片舟的支撑柱上，且具有用于支撑并电接触所述载片舟对应的舟脚的支撑面；在所述载片舟对应的所述舟脚置于所述支撑面时，所述导电支撑件能够自适应性地转动，以使所述支撑面与所述舟脚相贴合；
2.根据权利要求1所述的电极引入装置，其特征在于，所述导电支撑件包括环形支撑件和第一绝缘支撑套，其中，所述环形支撑件套设于所述第一绝缘支撑套上；所述第一绝缘支撑套套设于所述支撑柱上；
3.根据权利要求2所述的电极引入装置，其特征在于，所述环形支撑件与所述第一绝缘支撑套相对固定，且所述第一绝缘支撑套与所述支撑柱相对转动。
4.根据权利要求2所述的电极引入装置，其特征在于，所述导电支撑件还包括轴向限位件，所述轴向限位件设置于所述第一绝缘支撑套和/或所述支撑柱，用于限制所述第一绝缘支撑套沿所述支撑柱的轴向的位置。
5.根据权利要求4所
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的电极引入装置，其特征在于，所述电极连接件包括电极绝缘套和导电线缆，其中，所述电极绝缘套的一端固定于所述工艺腔体，所述电极绝缘套的另一端与所述导电支撑件接触配合；
7.根据权利要求6所述的电极引入装置，其特征在于，所述电极绝缘套包括多段绝缘套段，多段所述绝缘套段依次插接。
8.根据权利要求7所述的电极引入装置，其特征在于，每个所述绝缘套段均包括第一子柱状套段和设置于所述第一子柱状套段一端的第二子柱状套段；
9.根据权利要求6所述的电极引入装置，其特征在于，所述导电支撑件包括上导电分体和下导电分体，所述上导电分体和下导电分体对接构成环体；
10.根据权利要求9所述的电极引入装置，其特征在于，所述上导电分体或者下导电分体设置有第一连接部，所述第一连接部上设置有通孔；所述导电线缆的另一端设置有具有外螺纹的第二连接部，所述第二连接部穿过所述通孔，并与一螺母螺纹配合；所述螺母与所述第一连接部电接触。
11.一种半导体加工设备，包括工艺腔体，在所述工艺腔体中设置有在水平方向上相对设置的两个支撑柱，用于共同承载至少一个载片舟，其特征在于，还包括如权利要求1-10中任意一项所述的电极引入装置，所述第一电极组件和所述第二电极组件中的所述导电支撑件分别可相对转动的套设于两个所述支撑柱上。
12.根据权利要求11所述的半导体加工设备，其特征在于，所述电极连接件至少部分由所述工艺腔体支撑。
13.根据权利要求11所述的半导体加工设备，其特征在于，所述载片舟具有导电的第一前舟脚、导电的第一后舟脚、绝缘的第二前舟脚和绝缘的第二后舟脚；
14.根据权利要求13所述的半导体加工设备，其特征在于，所述第一绝缘支撑套的厚度小于所述第二绝缘支撑套的厚度，以使所述导电支撑件与舟脚的接触位置的高度平齐于所述第二绝缘支撑套与舟脚的接触位置的高度。
...【技术特征摘要】
1.一种电极引入装置，应用于半导体加工设备，其特征在于，包括第一电极组件和第二电极组件；所述第一电极组件和第二电极组件均包括导电支撑件和电极连接件，其中，所述导电支撑件用于可相对转动的套设于所述半导体加工设备的工艺腔体内的用于承载载片舟的支撑柱上，且具有用于支撑并电接触所述载片舟对应的舟脚的支撑面；在所述载片舟对应的所述舟脚置于所述支撑面时，所述导电支撑件能够自适应性地转动，以使所述支撑面与所述舟脚相贴合；
2.根据权利要求1所述的电极引入装置，其特征在于，所述导电支撑件包括环形支撑件和第一绝缘支撑套，其中，所述环形支撑件套设于所述第一绝缘支撑套上；所述第一绝缘支撑套套设于所述支撑柱上；
3.根据权利要求2所述的电极引入装置，其特征在于，所述环形支撑件与所述第一绝缘支撑套相对固定，且所述第一绝缘支撑套与所述支撑柱相对转动。
4.根据权利要求2所述的电极引入装置，其特征在于，所述导电支撑件还包括轴向限位件，所述轴向限位件设置于所述第一绝缘支撑套和/或所述支撑柱，用于限制所述第一绝缘支撑套沿所述支撑柱的轴向的位置。
5.根据权利要求4所述的电极引入装置，其特征在于，所述轴向限位件包括设置于所述支撑柱的外周壁，且位于所述第一绝缘支撑套沿所述支撑柱的轴向的两侧的多个定位凸起。
6.根据权利要求1-5中任意一项所述的电极引入装置，其特征在于，所述电极连接件包括电极绝缘套和导电线缆，其中，所述电极绝缘套的一端固定于所述工艺腔体，所述电极绝缘套的另一端与所述导电支撑件接触配合；
7.根据权利要求6所述的电极引入装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘耀军，周振溪，侯鹏飞，申震，郑建宇，李补忠，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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