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用于执行衍射测量的方法和系统技术方案

技术编号:42688303 阅读:3 留言:0更新日期:2024-09-10 12:36
本文公开了一种用于执行衍射测量的方法。所述方法包括:向物体发送第一辐射束;利用图像传感器的多个有效区域的第一部分,拍摄第一辐射束被物体衍射所产生的衍射图样的多个图像;向多个校准图样发送第二辐射束;利用图像传感器的多个有效区域的第二部分,基于第二辐射束和多个校准图样之间的相互作用,拍摄多个校准图样的图像,其中,多个第二部分中的每个第二部分拍摄多个校准图样中的至少一个校准图样的图像;以及基于衍射图样的多个图像和多个校准图样的图像来确定物体的晶体结构。多个第一部分和多个第二部分不重叠。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】


技术介绍

0、
技术介绍

1、辐射检测器是测量辐射特性的装置。该特性的示例可以包括辐射的强度、相位和偏振的空间分布。由辐射检测器测量的辐射可以是已经透过物体的辐射。辐射检测器测量的辐射可以是电磁辐射,例如红外光、可见光、紫外光、x射线或γ射线。辐射可以是其他类型,例如α射线和β射线。成像系统可以包括一个或多个图像传感器,每个图像传感器可以具有一个或多个辐射检测器。


技术实现思路

0、
技术实现思路

1、本文公开了一种方法,所述方法包括:向物体发送第一辐射束;利用系统的图像传感器的m个有效区域的m个第一部分,拍摄由所述第一辐射束被所述物体衍射所产生的衍射图样的n个图像,其中,m和n为正整数;向p个校准图样发送第二辐射束,p为正整数;利用所述图像传感器的所述m个有效区域的m个第二部分,基于所述第二辐射束和所述p个校准图样之间的相互作用,拍摄所述p个校准图样的图像,其中,所述m个第二部分中的每个第二部分拍摄所述p个校准图样中的至少一个校准图样的图像;以及基于(a)所述衍射图样的所述n个图像和(b)所述p个校准图样的所述图像,确定所述物体的晶体结构,其中,所述m个有效区域的所有传感元件中,无传感元件同时在(a)所述m个第一部分中的一个第一部分和(b)所述m个第二部分中的一个第二部分中。

2、在一方面,所述第一辐射束和所述第二辐射束包括x射线光子。

3、在一方面,所述第一辐射束包括单色x射线光子。

4、在一方面,所述物体包括(a)单晶材料或(b)晶体材料粉末。

5、在一方面,所述系统包括准直器,所述准直器被配置为防止所述第一辐射束和由所述第一辐射束被所述物体衍射而产生的辐射粒子到达所述m个有效区域的所述m个第二部分。

6、在一方面,所述第一辐射束是笔形束。

7、在一方面,同时发送所述第一辐射束的至少一个辐射粒子和所述第二辐射束的至少一个辐射粒子。

8、在一方面,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:基于所述p个校准图样的所述图像,对所述衍射图样的所述n个图像进行修正,分别得到所述衍射图样的n个修正后的图像;拼接所述衍射图样的所述n个修正后的图像,得到所述衍射图样的拼接图像;以及基于所述衍射图样的所述拼接图像,确定所述物体的所述晶体结构。

9、在一方面,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:基于所述p个校准图样的所述图像,对所述衍射图样的所述n个图像进行修正,分别得到所述衍射图样的n个修正后的图像;以及基于所述衍射图样的所述n个修正后的图像,确定所述物体的所述晶体结构。

10、在一方面,n=2,并且,当所述图像传感器分别位于n个位置使得所述m个有效区域之间的间隙被所述m个有效区域扫描时,拍摄所述衍射图样的所述n个图像。

11、在一方面,所述m个有效区域被布置成第一行的有效区域和第二行的有效区域,并且,所述第一行的任意2个相邻的有效区域之间的间隙不与所述第二行的任意2个相邻的有效区域之间的间隙对齐。

12、在一方面,所述m个第一部分位于(a)所述m个第二部分中的位于所述第一行的多个第二部分和(b)所述m个第二部分中的位于所述第二行的多个第二部分之间。

13、在一方面,所述m个有效区域形成一行有效区域,并且对于所述m个有效区域中的每个有效区域,所述每个有效区域的所述第二部分包括将所述每个有效区域的所述第一部分夹于中间的2个区域。

14、在一方面,在所述拍摄所述p个校准图样的所述图像中,所述每个有效区域的所述第二部分的所述2个区域中的每个区域拍摄所述p个校准图样中的至少一个校准图样的图像。

15、本文公开了一种系统,所述系统包括:图像传感器,所述图像传感器包括m个有效区域,所述m个有效区域分别包括m个第一部分和m个第二部分,m为正整数;辐射源;以及p个校准图样,p是正整数,其中,所述辐射源被配置为向物体发送第一辐射束,其中,所述m个第一部分被配置为拍摄由所述第一辐射束被所述物体衍射所产生的衍射图样的n个图像,n是正整数,其中,所述辐射源被配置为向所述p个校准图样发送第二辐射束,其中,所述m个第二部分被配置为基于所述第二辐射束和所述p个校准图样之间的相互作用,拍摄所述p个校准图样的图像,其中,所述m个第二部分中的每个第二部分拍摄所述p个校准图样中的至少一个校准图样的图像,其中,所述系统被配置为基于(a)所述衍射图样的所述n个图像和(b)所述p个校准图样的所述图像,确定所述物体的晶体结构,并且,其中,所述m个有效区域的所有传感元件中,无传感元件同时在(a)所述m个第一部分中的一个第一部分和(b)所述m个第二部分中的一个第二部分中。

16、在一方面,所述系统还包括准直器,所述准直器被配置为防止所述第一辐射束和由所述第一辐射束被所述物体衍射而产生的辐射粒子到达所述m个有效区域的所述m个第二部分。

17、在一方面,所述第一辐射束的至少一个辐射粒子和所述第二辐射束的至少一个辐射粒子被同时发送。

18、在一方面,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:基于所述p个校准图样的所述图像,对所述衍射图样的所述n个图像进行修正,得到所述衍射图样的n个修正后的图像;拼接所述衍射图样的所述n个修正后的图像,得到所述衍射图样的拼接图像;以及基于所述衍射图样的所述拼接图像,确定所述物体的所述晶体结构。

19、在一方面,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:基于所述p个校准图样的所述图像,对所述衍射图样的所述n个图像进行修正,分别得到所述衍射图样的n个修正后的图像;以及基于所述衍射图样的所述n个修正后的图像,确定所述物体的所述晶体结构。

20、在一方面,n=2,并且,当所述图像传感器分别位于n个位置使得所述m个有效区域之间的间隙被所述m个有效区域扫描时,拍摄所述衍射图样的所述n个图像。

21、在一方面,所述m个有效区域被布置成第一行的有效区域和第二行的有效区域,并且,所述第一行的任意2个相邻的有效区域之间的间隙不与所述第二行的任意2个相邻的有效区域之间的间隙对齐。

22、在一方面,所述m个第一部分位于(a)所述m个第二部分中的位于所述第一行的多个第二部分和(b)所述m个第二部分中的位于所述第二行的多个第二部分之间。

23、在一方面,所述m个有效区域形成一行有效区域,并且,对于所述m个有效区域中的每个有效区域,所述每个有效区域的所述第二部分包括将所述每个有效区域的所述第一部分夹于中间的2个区域。

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【技术保护点】

1.一种方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一辐射束和所述第二辐射束包括X射线光子。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一辐射束包括单色X射线光子。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述物体包括(A)单晶材料或(B)晶体材料粉末。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,所述系统包括准直器,所述准直器被配置为防止所述第一辐射束和由所述第一辐射束被所述物体衍射而产生的辐射粒子到达所述M个有效区域的所述M个第二部分。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一辐射束是笔形束。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,同时发送所述第一辐射束的至少一个辐射粒子和所述第二辐射束的至少一个辐射粒子。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:

9.根据权利要求1所述的方法,其中,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:

10.根据权利要求1所述的方法,

11.根据权利要求1所述的方法,

12.根据权利要求11所述的方法,其中,所述M个第一部分位于(A)所述M个第二部分中的位于所述第一行的多个第二部分和(B)所述M个第二部分中的位于所述第二行的多个第二部分之间。

13.根据权利要求1所述的方法,

14.根据权利要求13所述的方法,其中,在所述拍摄所述P个校准图样的所述图像中,所述每个有效区域的所述第二部分的所述2个区域中的每个区域拍摄所述P个校准图样中的至少一个校准图样的图像。

15.一种系统,包括:

16.根据权利要求15所述的系统,还包括准直器,所述准直器被配置为防止所述第一辐射束和由所述第一辐射束被所述物体衍射而产生的辐射粒子到达所述M个有效区域的所述M个第二部分。

17.根据权利要求15所述的系统,其中,所述第一辐射束的至少一个辐射粒子和所述第二辐射束的至少一个辐射粒子被同时发送。

18.根据权利要求15所述的系统,其中,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:

19.根据权利要求15所述的系统,其中,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:

20.根据权利要求15所述的系统,

21.根据权利要求15所述的系统,

22.根据权利要求21所述的系统,其中,所述M个第一部分位于(A)所述M个第二部分中的位于所述第一行的多个第二部分和(B)所述M个第二部分中的位于所述第二行的多个第二部分之间。

23.根据权利要求15所述的系统,

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【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种方法,包括:

2.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一辐射束和所述第二辐射束包括x射线光子。

3.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一辐射束包括单色x射线光子。

4.根据权利要求1所述的方法,其中,所述物体包括(a)单晶材料或(b)晶体材料粉末。

5.根据权利要求1所述的方法,其中,所述系统包括准直器,所述准直器被配置为防止所述第一辐射束和由所述第一辐射束被所述物体衍射而产生的辐射粒子到达所述m个有效区域的所述m个第二部分。

6.根据权利要求1所述的方法,其中,所述第一辐射束是笔形束。

7.根据权利要求1所述的方法,其中,同时发送所述第一辐射束的至少一个辐射粒子和所述第二辐射束的至少一个辐射粒子。

8.根据权利要求1所述的方法,其中,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:

9.根据权利要求1所述的方法,其中,所述确定所述物体的所述晶体结构包括:

10.根据权利要求1所述的方法,

11.根据权利要求1所述的方法,

12.根据权利要求11所述的方法,其中,所述m个第一部分位于(a)所述m个第二部分中的位于所述第一行的多个第二部分和(b)所述m个第二部分中的位于所述第二行的多...

【专利技术属性】
技术研发人员:曹培炎刘雨润付献曹元杰
申请(专利权)人:深圳帧观德芯科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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