【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及气体传输的对接技术，尤其涉及半导体制造工艺中，使用在类似装载埠（load port）中的气体吹扫设备上的气路喷嘴单元。
技术介绍
1、在半导体的制造工艺中，为了保证良品率及品质，晶圆的处理必须处于无尘环境下进行。随着技术的革新，近年来行业中逐步开始采用foup(front-opening unified pod)来作为晶圆转运过程中的高清洁存储容器，以此保持比外部大气更高的清洁度。
2、而对应foup进行晶圆的存取，现有技术还提供了一种装载埠（load port）以配套将半导体晶圆装载到foup中，或从foup中卸载晶圆，并在此过程中，保持清洁环境的同时，将储存在foup中的半导体晶圆运送到下一个工序。
3、此外装载埠还被作为对foup进行清洁的重要的装置来使用，由于半导体制造装置内，虽维持在适合晶圆的处理或者加工的预定的气体气氛， 但foup向半导体制造装置送出晶圆时，两者内部空间还是会相互连通。因此当foup内环境的清洁度较低时，将会对半导体制造装置内的气体气氛产生不良影响。
4、为此现有装载埠中，通常会配备气体吹扫装置，并通过其气路喷嘴，从foup底部的气路接口，向其内部注入预定的惰性气体，从而将foup内置换为预定的气体气氛，此外该过程还能防止晶圆在工艺过程中的氧化，使foup内维持较低的氧浓度。
5、然而现有气体吹扫装置的气路喷嘴，或多或少存在一些设计缺点，如专利公开号tw201350220a公开了一种净化喷嘴单元的结构方案，其结构使用外部气源驱动喷嘴升降，
技术实现思路
1、为此，本专利技术的主要目的在于提供一种气路喷嘴单元及其制成的气体吹扫装置、装载埠，以在实现结构薄型化设计的同时，具备容差调节及主动压紧功能。
2、为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供了一种气路喷嘴单元，其包括：喷嘴件、支架组件，所述喷嘴件上部设有轴肩、轴颈、底部设有承接部，所述支架组件成对设置于喷嘴件两侧，并与喷嘴件承接部弹性连接，其中各所述支架组件包括：支架、转轴、扭簧，所述扭簧一端延伸有固定臂，另一端延伸有施力臂，所述支架呈肩甲状设置于喷嘴件两侧，并与其轴肩间隔，以在两者之间相隔出第一容差调节空间，所述扭簧经转轴与支架连接，以使其固定臂与支架内肩面弹性相抵、施力臂分别弹性承托喷嘴件的承接部，迫使喷嘴件弹性悬浮于支架之间。
3、在可能的优选实施方式中，所述气路喷嘴单元，其中至少一侧支架组件扭簧的施力臂自扭簧的簧圈两侧分别延伸而出，形成一对非接触式施力臂，同侧非接触式施力臂分别从两侧承托喷嘴件的承接部，以形成对承接部的至少三点位弹性承托。
4、在可能的优选实施方式中，所述承接部呈条槽状分设于喷嘴件底部两侧。
5、在可能的优选实施方式中，所述扭簧的簧圈由固定臂两端分别延伸而出，相互分立，所述施力臂自各簧圈一端延伸而出，同侧施力臂间相互间隔，分别从两侧承托喷嘴件承接部，其中同侧簧圈采用共用同一转轴、或分别独立配备转轴中的任一方式与支架连接，使同侧簧圈同轴布置。
6、在可能的优选实施方式中，所述喷嘴件底部延伸有阻隔壁，以分隔两侧承接部，阻挡施力臂侵入对侧。
7、在可能的优选实施方式中，所述喷嘴件内设有l形气路，所述气路的入气口设在喷嘴件侧面位于阻隔壁上、出气口设在喷嘴件顶部。
8、在可能的优选实施方式中，所述气路喷嘴单元还包括：密封圈，其中所述喷嘴件顶部出气口处设有环形壁，所述密封圈套在环形壁外，且所述密封圈高于环形壁。
9、在可能的优选实施方式中，所述气路喷嘴单元还包括：开口挡圈，其中所述转轴两端设有环形槽，以供与开口挡圈配接，使转轴与支架呈快卸式连接。
10、为了实现上述目的，根据本专利技术的另一方面，还提供了一种气体吹扫装置，包括：平台基座，供气单元，其中还包括：如上示例中任一所述的气路喷嘴单元，其中所述平台基座上，对应晶圆装载容器的内部给气口位置处，分别设有喷嘴孔，各气路喷嘴单元的支架组件连接在平台基座背面，以承托喷嘴件使其轴肩与喷嘴孔处的平台基座面相抵限位，令其轴颈于喷嘴孔处受压弹性伸缩，其中所述喷嘴孔尺寸大于轴颈，以在两者之间相隔出第二容差调节空间，所述供气单元与喷嘴件连通。
11、为了实现上述目的，根据本专利技术的另一方面，还提供了一种装载埠，用于接收被输送的吹扫对象晶圆装载容器，并与晶圆装载容器交互进行晶圆装卸，其包括：如上所述的气体吹扫装置，以从晶圆装载容器底部的气路接口，向其内部注入预定的惰性气体，将晶圆装载容器内置换为预定的气体气氛。
12、通过本专利技术提供的该气路喷嘴单元及其制成的气体吹扫装置、装载埠，巧妙的设计了支架组件与喷嘴件之间的弹性悬挂结构，从而无需过多依赖平台基座的竖向空间便能具备主动压紧能力及多自由度容差调节功能，因此使得喷嘴件能够支持扁平化设计，以减少竖向空间的占用要求，此外，由于支架组件采用类似肩甲结构的设计，以在保持与喷嘴件两侧具备一定容差调节空间的同时，对其弹性承接，从而使得喷嘴件能具有一定弹性下沉空间，同时配合平台基座喷嘴孔处的容差调节空间，从而使得该喷嘴件在具备主动压紧能力，以维持密封性的同时，可实现多自由度、可自动回正的容差调节功能，使得喷嘴件能够与foup气路接口在各方向上更好的贴合，从而提升气密性。
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1.一种气路喷嘴单元，其特征在于包括：喷嘴件、支架组件，所述喷嘴件上部设有轴肩、轴颈、底部设有承接部，所述支架组件成对设置于喷嘴件两侧，并与喷嘴件承接部弹性连接，其中各所述支架组件包括：支架、转轴、扭簧，所述扭簧一端延伸有固定臂，另一端延伸有施力臂，所述支架呈肩甲状设置于喷嘴件两侧，并与其轴肩间隔，以在两者之间相隔出第一容差调节空间，所述扭簧经转轴与支架连接，以使其固定臂与支架内肩面弹性相抵、施力臂分别弹性承托喷嘴件的承接部，迫使喷嘴件弹性悬浮于支架之间。
2.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，其中至少一侧支架组件扭簧的施力臂自扭簧的簧圈两侧分别延伸而出，形成一对非接触式施力臂，同侧非接触式施力臂分别从两侧承托喷嘴件的承接部，以形成对承接部的至少三点位弹性承托。
3.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述承接部呈条槽状分设于喷嘴件底部两侧。
4.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述扭簧的簧圈由固定臂两端分别延伸而出，相互分立，所述施力臂自各簧圈一端延伸而出，同侧施力臂间相互间隔，分别从两侧承托喷嘴件承接部，
5.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述喷嘴件底部延伸有阻隔壁，以分隔两侧承接部，阻挡施力臂侵入对侧。
6.根据权利要求5所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述喷嘴件内设有L形气路，所述气路的入气口设在喷嘴件侧面位于阻隔壁上、出气口设在喷嘴件顶部。
7.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，还包括：密封圈，其中所述喷嘴件顶部出气口处设有环形壁，所述密封圈套在环形壁外，且所述密封圈高于环形壁。
8.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，还包括：开口挡圈，其中所述转轴两端设有环形槽，以供与开口挡圈配接，使转轴与支架呈快卸式连接。
9.一种气体吹扫装置，包括：平台基座，供气单元，其特征在于，还包括：如权利要求1至8中任一所述的气路喷嘴单元，其中所述平台基座上，对应晶圆装载容器的内部给气口位置处，分别设有喷嘴孔，各气路喷嘴单元的支架组件连接在平台基座背面，以承托喷嘴件使其轴肩与喷嘴孔处的平台基座面相抵限位，令其轴颈于喷嘴孔处受压弹性伸缩，其中所述喷嘴孔尺寸大于轴颈，以在两者之间相隔出第二容差调节空间，所述供气单元与喷嘴件连通。
10.一种装载埠，用于接收被输送的吹扫对象晶圆装载容器，并与晶圆装载容器交互进行晶圆装卸，其特征在于包括：如权利要求9所述的气体吹扫装置，以从晶圆装载容器底部的气路接口，向其内部注入预定的惰性气体，将晶圆装载容器内置换为预定的气体气氛。
...【技术特征摘要】
1.一种气路喷嘴单元，其特征在于包括：喷嘴件、支架组件，所述喷嘴件上部设有轴肩、轴颈、底部设有承接部，所述支架组件成对设置于喷嘴件两侧，并与喷嘴件承接部弹性连接，其中各所述支架组件包括：支架、转轴、扭簧，所述扭簧一端延伸有固定臂，另一端延伸有施力臂，所述支架呈肩甲状设置于喷嘴件两侧，并与其轴肩间隔，以在两者之间相隔出第一容差调节空间，所述扭簧经转轴与支架连接，以使其固定臂与支架内肩面弹性相抵、施力臂分别弹性承托喷嘴件的承接部，迫使喷嘴件弹性悬浮于支架之间。
2.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，其中至少一侧支架组件扭簧的施力臂自扭簧的簧圈两侧分别延伸而出，形成一对非接触式施力臂，同侧非接触式施力臂分别从两侧承托喷嘴件的承接部，以形成对承接部的至少三点位弹性承托。
3.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述承接部呈条槽状分设于喷嘴件底部两侧。
4.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述扭簧的簧圈由固定臂两端分别延伸而出，相互分立，所述施力臂自各簧圈一端延伸而出，同侧施力臂间相互间隔，分别从两侧承托喷嘴件承接部，其中同侧簧圈采用共用同一转轴、或分别独立配备转轴中的任一方式与支架连接，使同侧簧圈同轴布置。
5.根据权利要求1所述的气路喷嘴单元，其特征在于，所述喷嘴件底部延伸有阻隔壁，以...
【专利技术属性】
技术研发人员：仰爽，马刚，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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