【技术实现步骤摘要】
本申请涉及划片机，尤其涉及一种真空滤水罐及划片机。
技术介绍
1、划片机对晶圆工件的切割过程是在切割工作台上完成的，切割工作台上有用于固定晶圆工件的工作盘。工作盘对工件真空的保持要求很高，需要在加工过程中保持工件真空达到-90kpa。
2、有些客户根据特殊需求，采用金属吸盘作为工作盘对产品进行吸附，金属吸盘可能导致工件在吸附时水进入真空管路，导致真空值不达标，更严重可能导致真空值太低，产品掉落。
3、目前，如申请号为202310770591.x的中国专利公开的一种划片机真空气路过滤装置及过滤方法，采用真空发生器从出水口向外抽水。但是，真空达到-90kpa，对出水口大气压力较大，存在排水慢甚至排不出去的情况，也会导致掉真空；而且真空发生器消耗压缩空气量很大，浪费资源。
技术实现思路
1、本申请旨在至少解决现有技术或相关技术中存在采用真空发生器从出水口向外抽水，存在排水慢甚至排不出去的情况，也会导致掉真空；而且真空发生器消耗压缩空气量很大，浪费资源的技术问题之一。
2、为此，本申请提供一种真空滤水罐，通过滤水罐将进入真空管路中的水收集，采用浮漂开关控制水泵，能够快速排出滤水罐中的水，保证真空管路的真空度；能够替代真空发生器排水，节约压缩空气，排水效率高。
3、本申请还提供一种包括上述真空滤水罐的划片机。
4、根据本申请第一方面实施例提供的一种真空滤水罐，包括：滤水罐，滤水罐顶部设有入口接头和出口接头；入口接头通过管道与工作盘连
5、可选的，浮漂开关包括：第一开关球、第二开关球和连接杆，第一开关球位于第二开关球下方；连接杆一端与第一开关球连接，另一端与第二开关球连接；第二开关球用于当滤水罐内液位高于预设上限时，控制水泵开启；第一开关球用于当滤水罐内液位低于预设下限时，控制水泵关闭。
6、可选的，连接杆上设有调节机构，调节机构用于调整第一开关球与第二开关球之间的距离。
7、可选的，入口接头处设有螺纹滤芯。
8、可选的，滤水罐内设有挡水板，挡水板位于入口接头和出口接头之间。
9、可选的，滤水罐上设有液位显示管，液位显示管用于显示滤水罐内的液位高度。
10、可选的，液位显示管上设有液位传感器。
11、可选的，滤水罐内设有液位隔板，液位隔板竖直设置，位于靠近液位显示管一侧的内壁与入口接头之间；液位隔板底部设有连通缺口。
12、可选的，滤水罐底部排水孔与水泵入水口之间的管道上设有电磁阀，电磁阀用于打开或者关闭滤水罐底部的排水孔。
13、本申请第二方面实施例提供的一种划片机，设有上述的真空滤水罐，由于真空滤水罐具有上述技术效果，则设有该真空滤水罐的划片机也应具有相应的技术效果。
14、上述技术方案中的一个技术方案至少具有如下优点或有益效果：
15、对于本申请实施例提供的一种真空滤水罐及划片机，该真空滤水罐包括：滤水罐，滤水罐顶部设有入口接头和出口接头；入口接头通过管道与工作盘连接；出口接头通过管道与真空发生器连接；真空发生器用于抽真空；滤水罐底部设有排水孔，排水孔通过管道与水泵的入水口连接，水泵的出水口通过管道与下水管路连接；滤水罐内设有浮漂开关，浮漂开关用于根据滤水罐内的液位高度，控制水泵开启或者关闭。通过滤水罐将进入真空管路中的水收集，采用浮漂开关控制水泵，能够快速排出滤水罐中的水，保证真空管路的真空度；能够替代真空发生器排水，节约压缩空气，排水效率高。
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1.一种真空滤水罐，其特征在于，包括：滤水罐（1），所述滤水罐（1）顶部设有入口接头（11）和出口接头（12）；
2.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述浮漂开关（2）包括：第一开关球（21）、第二开关球（22）和连接杆（23），所述第一开关球（21）位于所述第二开关球（22）下方；所述连接杆（23）一端与所述第一开关球（21）连接，另一端与所述第二开关球（22）连接；
3.如权利要求2所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述连接杆（23）上设有调节机构，所述调节机构用于调整所述第一开关球（21）与所述第二开关球（22）之间的距离。
4.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述入口接头（11）处设有螺纹滤芯（13）。
5.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述滤水罐（1）内设有挡水板（17），所述挡水板（17）位于所述入口接头（11）和所述出口接头（12）之间。
6.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述滤水罐（1）上设有液位显示管（14），所述液位显示管（14）用于显示所述
7.如权利要求6所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述液位显示管（14）上设有液位传感器（16）。
8.如权利要求6所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述滤水罐（1）内设有液位隔板（15），所述液位隔板（15）竖直设置，位于靠近所述液位显示管（14）一侧的内壁与所述入口接头（11）之间；
9.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述滤水罐（1）底部排水孔与所述水泵（4）入水口之间的管道上设有电磁阀（3），所述电磁阀（3）用于打开或者关闭所述滤水罐（1）底部的排水孔。
10.一种划片机，其特征在于，包括：如权利要求1-9任一项所述的一种真空滤水罐。
...【技术特征摘要】
1.一种真空滤水罐，其特征在于，包括：滤水罐（1），所述滤水罐（1）顶部设有入口接头（11）和出口接头（12）；
2.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述浮漂开关（2）包括：第一开关球（21）、第二开关球（22）和连接杆（23），所述第一开关球（21）位于所述第二开关球（22）下方；所述连接杆（23）一端与所述第一开关球（21）连接，另一端与所述第二开关球（22）连接；
3.如权利要求2所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述连接杆（23）上设有调节机构，所述调节机构用于调整所述第一开关球（21）与所述第二开关球（22）之间的距离。
4.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述入口接头（11）处设有螺纹滤芯（13）。
5.如权利要求1所述的一种真空滤水罐，其特征在于，所述滤水罐（1）内设有挡水板（17），所述挡水板（17）位于所述入口接...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐双双，张春航，董鑫，于强，林兴鹏，曾祥冠，郭大桐，
申请(专利权)人：沈阳和研科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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