【技术实现步骤摘要】
本申请涉及清洁，尤其涉及一种匀胶机台装置及匀胶设备。
技术介绍
1、在晶圆片在匀胶过程中，匀胶作业时会产生大量的废胶，废胶大部分会通过内部的排废液管路排出，少部分废胶会粘附在收胶容器的内壁上，未及时清洁会凝固在内壁上，久而久之会导致收胶容器内壁粘附过多废胶，导致匀胶工艺不稳定。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供了一种匀胶机台装置及匀胶设备。
2、本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种匀胶机台装置，包括：
4、清洁组件，所述清洁组件包括清洁管路，所述清洁管路内输送有清洗液；
5、收胶容器，所述收胶容器包括围合设置的第一侧壁和第二侧壁，所述第一侧壁和所述第二侧壁之间形成环形的收胶腔，所述清洗液经所述清洁管路输送至所述收胶腔；
6、超声装置，所述超声装置设置于所述收胶容器远离所述清洁管路的一侧。
7、在第一方面的其中一个实施例中，所述匀胶机台装置还包括清洁源容器和输送泵，所述清洁源容器内盛装有所述清洗液，所述清洁管路的一端与所述清洁源容器连通，所述输送泵与所述清洁管路连接。
8、在第一方面的其中一个实施例中，所述匀胶机台装置还包括机械臂，所述清洁管路远离所述清洁源容器的一端固定于所述机械臂。
9、在第一方面的其中一个实施例中，所述清洁管靠近所述收胶容器的一端设有至少一个伸缩管，所述伸缩管远离所述清洁管路的一端穿设所述收胶腔。
10、在第一方面的其中一
11、在第一方面的其中一个实施例中，所述超声装置为超声波发射器，所述超声波发射器向所述收胶容器发射超声因子。
12、在第一方面的其中一个实施例中，所述收胶容器开设有排液口，所述排液口与所述收胶腔连通。
13、在第一方面的其中一个实施例中，所述排液口设置于所述收胶容器的底侧，以将清洗后的废液排出所述收胶腔。
14、第二方面，本申请实施例还提供了一种匀胶设备，包括上述任一实施例中所述的匀胶机台装置。
15、在第二方面的其中一个实施例中，所述匀胶设备还包括匀胶机，所述匀胶机包括机台，所述机台与所述机械臂连接。
16、在第二方面的其中一个实施例中，所述匀胶设备还包括匀胶平台和驱动件，所述收胶容器远离所述清洁管路的一侧设有通孔，所述匀胶平台设置于所述通孔处，所述匀胶平台的一侧中部设置有转轴，所述转轴远离所述匀胶平台的一端与所述驱动件连接。
17、本申请提出了一种匀胶机台装置及匀胶设备。相对于相关技术，本申请通过输送有清洗液的清洁管路对收胶容器的收胶腔进行喷洒清洗，完成对收胶腔内部废胶的初次清理。然后，通过清洁管路向收胶腔继续输送清洗液，通过清洗液对收胶腔进行浸泡，同时配合超声装置，超声振动因子，进一步将收胶腔内的废胶从壁面剥离，并最终排出，提升收胶容器的废胶清洗效果。
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1.一种匀胶机台装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述匀胶机台装置还包括清洁源容器，所述清洁源容器内盛装有所述清洗液，所述清洁管路的一端与所述清洁源容器连通。
3.根据权利要求2所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述匀胶机台装置还包括机械臂，所述清洁管路远离所述清洁源容器的一端固定于所述机械臂。
4.根据权利要求1所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述清洁管路靠近所述收胶容器的一端设有至少一个伸缩管，所述伸缩管远离所述清洁管路的一端穿设所述收胶腔。
5.根据权利要求4所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述伸缩管设有多个，多个所述伸缩管周向穿设所述收胶腔。
6.根据权利要求4所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述伸缩管的周侧开设有多个喷淋孔。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述超声装置包括超声波发射器，所述超声波发射器向所述收胶容器发射超声波，以对收胶容器进行超声清洗。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的匀胶机台装置，其特征在于，所
9.根据权利要求8所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述排液口设置于所述收胶容器的底侧，以将清洗后的废液排出所述收胶腔。
10.一种匀胶设备，其特征在于，包括权利要求1至9中任一项所述的匀胶机台装置。
...【技术特征摘要】
1.一种匀胶机台装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述匀胶机台装置还包括清洁源容器，所述清洁源容器内盛装有所述清洗液，所述清洁管路的一端与所述清洁源容器连通。
3.根据权利要求2所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述匀胶机台装置还包括机械臂，所述清洁管路远离所述清洁源容器的一端固定于所述机械臂。
4.根据权利要求1所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述清洁管路靠近所述收胶容器的一端设有至少一个伸缩管，所述伸缩管远离所述清洁管路的一端穿设所述收胶腔。
5.根据权利要求4所述的匀胶机台装置，其特征在于，所述伸缩管设有多个，多个所述伸缩管周向穿设所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱成峰，刘进坤，
申请(专利权)人：深圳市思坦科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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