【技术实现步骤摘要】
技术介绍
技术实现思路
1、可以提供一种冷场发射器和一种用于组装冷场发射器的方法。
【技术保护点】
1.一种带电粒子束源，包含：
2.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述第一电极和所述第二电极延伸穿过在所述陶瓷插座中形成的孔洞(aperture)。
3.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述丝包含第一丝元件和第二丝元件，所述第一丝元件连接到所述第一电极，所述第二丝元件连接到所述第二电极。
4.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述发射器支持物的纵轴平行于所述尖端的纵轴。
5.如权利要求1所述的带电粒子束源，进一步包含第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件和第二支撑件设置在所述发射器支持物的所述远端处并且彼此间隔开而限定在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的间隙，并且其中所述发射器支撑元件通过所述第一支撑件和所述第二支撑件耦接到所述发射器支持物。
6.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中所述发射器支撑元件跨越在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的所述间隙。
7.如权利要求6所述的带电粒子束源，其中所述发射器支撑元件是具有纵轴的梁，所述纵轴与由所述丝限定的假想平面正交。
8.如权利要求5所述
9.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中所述第一支撑件和所述第二支撑件包含一个或多个可移动球体，所述可移动球体可移动地耦接到所述发射器支持物的主体。
10.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中所述第一支撑件和所述第二支撑件包含一个或多个隔热件。
11.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中第一支撑件和第二支撑件延伸超出所述发射器支持物的中间部分，从而当所述发射器支持物支撑所述发射器支撑元件时，在所述中间部分与所述发射器支撑元件之间限定间隙。
12.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中以类金刚石碳涂覆所述发射器支元件，其中所述第一支撑件和所述第二支撑件耦接到所述发射器支撑件。
13.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述发射器支持物包含陶瓷。
14.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述发射器的共振频率超过10000赫兹。
15.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述发射器支撑元件仅连接到所述发射器支持物的一个点。
16.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述带电粒子束源是冷场发射带电粒子束源。
17.一种冷场发射带电粒子束源，包含：
18.如权利要求17所述的冷场发射带电粒子束源，其中：
19.如权利要求18所述的冷场发射带电粒子束源，进一步包含第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件和第二支撑件设置在所述发射器支持物的所述远端处并且彼此间隔开而限定在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的间隙，并且其中所述发射器支撑元件跨越所述间隙并且通过所述第一支撑件和所述第二支撑件耦接到所述发射器支持物。
20.一种冷场发射带电粒子束源，包含：
...【技术特征摘要】
1.一种带电粒子束源，包含：
2.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述第一电极和所述第二电极延伸穿过在所述陶瓷插座中形成的孔洞(aperture)。
3.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述丝包含第一丝元件和第二丝元件，所述第一丝元件连接到所述第一电极，所述第二丝元件连接到所述第二电极。
4.如权利要求1所述的带电粒子束源，其中所述发射器支持物的纵轴平行于所述尖端的纵轴。
5.如权利要求1所述的带电粒子束源，进一步包含第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件和第二支撑件设置在所述发射器支持物的所述远端处并且彼此间隔开而限定在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的间隙，并且其中所述发射器支撑元件通过所述第一支撑件和所述第二支撑件耦接到所述发射器支持物。
6.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中所述发射器支撑元件跨越在所述第一支撑件与所述第二支撑件之间的所述间隙。
7.如权利要求6所述的带电粒子束源，其中所述发射器支撑元件是具有纵轴的梁，所述纵轴与由所述丝限定的假想平面正交。
8.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中所述第一支撑件和所述第二支撑件包含一个或多个可移动元件，所述可移动元件可移动地耦接到所述发射器支持物的主体。
9.如权利要求5所述的带电粒子束源，其中所述第一支撑件和所述第二支撑件包含一个或多个可移动球体，所述可移动球体可移动地耦接到所述发射器支持物的主体。
10.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：伊泰·阿苏林，奥弗·尤利，拉维·沙维特，盖伊·伊坦，纳坦·施利莫夫，伊戈尔·克里夫茨克莱维茨，雅各布·莱文，伊斯拉埃尔·阿夫内里，约拉姆·乌兹尔，
申请(专利权)人：应用材料以色列公司，
类型：发明
国别省市：
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