System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法技术_技高网

一种碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法技术

技术编号:42666930 阅读:14 留言:0更新日期:2024-09-10 12:22
本发明专利技术涉及碳化硅内衬制备技术领域,具体为一种碳化硅内衬制备用合成炉,包括:安装座,所述安装座上固定连接有固定架,所述固定架上转动连接有外炉体,所述外炉体的前端转动连接有炉门;所述炉门的前端安装有内炉体;该碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法,热量进入第一凹槽内部时可以通过侧面的出风口进入第二凹槽的内部对碳化硅内衬内底部进行加热,方便碳化硅内衬在加热时内外侧与底部受热均匀,第二定位板则会夹持,第一定位板则会远离,往复交替,既可以对碳化硅内衬的表面夹持,也不会影响碳化硅内衬表面的加热,支撑板上下移动时可以与碳化硅内衬底部间歇性的产生空隙,方便涡轮抽送的热量可以更好的对碳化硅内衬底部进行加热。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及碳化硅内衬制备,具体为一种碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法


技术介绍

1、碳化硅内衬是由碳化硅材料制成的内层或衬里,它具有多种优越的物理和化学性质。碳化硅内衬被广泛应用于石油化工、冶金制造、航空航天、核工业等领域。在这些领域中,碳化硅内衬能够有效地保护设备免受磨损、腐蚀和高温的损害,提高设备的使用寿命和运行效率,碳化硅内衬在生产时需要通过合成炉进行加热合成,因此需要一种碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法;

2、专利申请号cn 117308572 a,公开了一种碳化硅内衬专用真空烧结炉,包括炉体和设置在炉体内部的炉膛,所述炉膛的内部固定安装有滑轨,所述滑轨的顶部活动设置有活动平台,所述活动平台的顶部设置有活动支撑机构,用于支撑碳化硅内衬,所述活动支撑机构的底部设置有驱动机构,用于驱动活动支撑机构转动;所述活动支撑机构包括用于承载碳化硅内衬的支撑盘、设置在内螺套顶部外围的围挡,以及贯穿支撑盘并与支撑盘滑动连接的活动托架。该专利技术通过驱动机构带动活动托架间歇性的顶起支撑盘上的碳化硅内衬,使碳化硅内衬底部受热更加均匀,并且碳化硅内衬底部不会一直与支撑盘或者活动托架接触,有利于烧结过程中挥发物质的及时排出,但是炉体在工作时所产出的热量会向上漂浮,从而会造成炉体的顶部与底部温度不一致,进而会造成碳化硅内衬在加热时顶部与底部受热不均匀,并且该专利技术中的活动平台会随着炉膛的倾斜往复的移动,炉膛的倾斜也会造成活动平台的倾斜,进而会时活动平台上碳化硅内衬有倾倒的风险。


技术实现思路>

1、为解决上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种碳化硅内衬制备用合成炉,包括:安装座,所述安装座上固定连接有固定架,所述固定架上转动连接有外炉体,所述外炉体的前端转动连接有炉门;

2、所述炉门的前端安装有内炉体,所述内炉体与安装座上安装有加热机构;

3、所述加热机构,包括:移动组件,所述移动组件分别安装在内炉体与安装座上,所述移动组件,包括:伸缩气缸,所述伸缩气缸的两端通过连接轴分别安装在安装座上与外炉体的表面,所述内炉体的内侧底部固定连接有滑轨,所述滑轨上滑动连接有滑块,所述滑块的表面固定连接有盛放座;

4、所述移动组件上安装有进风组件,所述进风组件,包括:第一凹槽,所述第一凹槽开设在盛放座的顶部,所述盛放座内部开设有操作槽,所述第一凹槽与操作槽的内部贯穿转动连接有第四转轴,所述第四转轴的顶端固定连接有涡轮,所述涡轮的顶部固定连接有进风罩;

5、所述移动组件上安装有支撑组件,所述支撑组件,包括:第二凹槽,所述第二凹槽开设在盛放座的顶部,所述第二凹槽内部设置有支撑板;

6、所述移动组件上安装有定位组件,所述定位组件,包括:防护罩,所述防护罩固定连接在盛放座的顶部,所述盛放座的内部设置有第一定位板与第二定位板。

7、作为本专利技术的一种优选方案,所述滑轨的侧面固定连接有齿条,所述操作槽的内部贯穿转动连接有第一转轴,所述第一转轴的末端固定连接有与齿条相匹配的第一齿轮,所述第一转轴靠近操作槽的顶端固定连接有第二齿轮。

8、作为本专利技术的一种优选方案,所述操作槽的内侧顶部与底部均开设有弧形滑槽,所述弧形滑槽内部活动连接有弧形滑块,所述弧形滑块的表面贯穿转动连接有第二转轴,所述第二转轴的表面固定连接有与第二齿轮相匹配的第三齿轮。

9、作为本专利技术的一种优选方案,所述操作槽的内部转动连接有第三转轴,所述第三转轴的表面固定连接有与第三齿轮相匹配的第四齿轮,所述第四转轴的底端固定连接有与第三齿轮相匹配的第五齿轮,所述第二凹槽的内侧开设有旋转槽。

10、作为本专利技术的一种优选方案,所述旋转槽的内部转动连接有旋转环,所述旋转环固定连接在进风罩的底部,所述第二凹槽的内壁上贯穿开设有出风口。

11、作为本专利技术的一种优选方案,所述第二凹槽的内侧壁上以环形阵列的方式开设有第一限位槽,所述第二凹槽靠近第一凹槽的内侧壁上贯穿开设有第二限位槽,所述第一限位槽内部活动连接有第一限位块。

12、作为本专利技术的一种优选方案,所述第一限位块固定连接在所述支撑板的一侧,所述支撑板另一侧固定连接有第二限位块,所述第二限位块的侧面活动连接在第二限位槽,所述进风罩的侧面开设有波纹槽,所述波纹槽内部活动连接有第二限位块的端部。

13、作为本专利技术的一种优选方案,所述防护罩的侧面贯穿活动连接有伸缩杆的侧面,所述伸缩杆的一端活动连接在伸缩槽的内部,所述伸缩槽开设在连接杆的一端,所述伸缩杆与伸缩槽之间固定连接有弹簧。

14、作为本专利技术的一种优选方案,所述连接杆的端部固定连接有导向块,所述导向块分别活动连接在第一滑道与第二滑道的内部,所述第一滑道与第二滑道两两为一组对称固定连接在内炉体的内壁上;

15、所述伸缩杆靠近第一滑道的另一端固定连接有第一定位板,所述伸缩杆靠近第二滑道的另一端固定连接有第二定位板。

16、一种碳化硅内衬制备用合成炉使用方法,包括以下步骤:

17、s1:打开炉门将碳化硅内衬放置在内炉体的盛放座上,盛放座放置完成后可以将炉门进行关闭,炉门关闭后操作控制器可以使内炉体对碳化硅内衬进行加热;

18、s2:碳化硅内衬在加热时操作控制器使伸缩气缸进行工作,伸缩气缸工作时可以使外炉体通过固定架进行旋转,外炉体旋转时可以使内炉体产生角度改变,内炉体角度改变时盛放座可以通过自身重量使滑块在滑轨上往复的滑动;

19、s3:盛放座滑动时可以带动第一齿轮与齿条进行啮合转动,第一齿轮啮合转动时可以通过第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮与第五齿轮的配合使涡轮始终朝一个方向转动;

20、s4:涡轮转动时即可将内炉体顶部的热量抽动到第一凹槽的内部,热量在抽动的过程中可以对碳化硅内衬内侧进行加热,热量进入第一凹槽内部时可以通过侧面的出风口进入第二凹槽的内部对碳化硅内衬内底部进行加热;

21、s5:涡轮在转动的同时会带动进风罩进行转动,进风罩转动时可以通过波纹槽与第二限位块的配合带动支撑板上下移动,支撑板上下移动时可以与碳化硅内衬底部间歇性的产生空隙,从而使热量更好的对碳化硅内衬底部进行加热;

22、s6:盛放座往复移动时可以带动导向块沿着第一滑道与第二滑道的内侧进行滑动,导向块滑动到凸起处时会带动连接杆、伸缩杆与第一定位板向前移动,第一定位板向前移动时可以对碳化硅内衬进行夹持定位,此时第二滑道上导向块则是处于凹陷处,进而使第二定位板远离碳化硅内衬;

23、s7:当碳化硅内衬加热完成后,操控控制前时外炉体向前倾斜,使盛放座可以靠近炉门,此时打开炉门将碳化硅内衬取出。

24、与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:该碳化硅内衬制备用合成炉及其使用方法,

25、1.设置有盛放座可以通过内炉体的转动进行移动,盛放座移动时可以带动第一齿轮与齿条进行啮合转动,第一齿轮啮合转动时可以通过第二齿轮、第三齿轮、第四齿轮与第五齿轮的配合使涡轮始终朝一个方向转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种碳化硅内衬制备用合成炉,包括:安装座(1),所述安装座(1)上固定连接有固定架(2),所述固定架(2)上转动连接有外炉体(3),所述外炉体(3)的前端转动连接有炉门(4),其特征在于;

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述滑轨(6102)的侧面固定连接有齿条(6201),所述操作槽(6202)的内部贯穿转动连接有第一转轴(6203),所述第一转轴(6203)的末端固定连接有与齿条(6201)相匹配的第一齿轮(6204),所述第一转轴(6203)靠近操作槽(6202)的顶端固定连接有第二齿轮(6205)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述操作槽(6202)的内侧顶部与底部均开设有弧形滑槽(6206),所述弧形滑槽(6206)内部活动连接有弧形滑块(6207),所述弧形滑块(6207)的表面贯穿转动连接有第二转轴(6208),所述第二转轴(6208)的表面固定连接有与第二齿轮(6205)相匹配的第三齿轮(6209)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述操作槽(6202)的内部转动连接有第三转轴(6210),所述第三转轴(6210)的表面固定连接有与第三齿轮(6209)相匹配的第四齿轮(6211),所述第四转轴(6212)的底端固定连接有与第三齿轮(6209)相匹配的第五齿轮(6213),所述第二凹槽(6301)的内侧开设有旋转槽(6215)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述旋转槽(6215)的内部转动连接有旋转环(6219),所述旋转环(6219)固定连接在进风罩(6218)的底部,所述第二凹槽(6301)的内壁上贯穿开设有出风口(6216)。

6.根据权利要求1所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述第二凹槽(6301)的内侧壁上以环形阵列的方式开设有第一限位槽(6302),所述第二凹槽(6301)靠近第一凹槽(6214)的内侧壁上贯穿开设有第二限位槽(6303),所述第一限位槽(6302)内部活动连接有第一限位块(6304)。

7.根据权利要求6所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述第一限位块(6304)固定连接在所述支撑板(6305)的一侧,所述支撑板(6305)另一侧固定连接有第二限位块(6306),所述第二限位块(6306)的侧面活动连接在第二限位槽(6303),所述进风罩(6218)的侧面开设有波纹槽(6307),所述波纹槽(6307)内部活动连接有第二限位块(6306)的端部。

8.根据权利要求1所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述防护罩(6410)的侧面贯穿活动连接有伸缩杆(6407)的侧面,所述伸缩杆(6407)的一端活动连接在伸缩槽(6405)的内部,所述伸缩槽(6405)开设在连接杆(6404)的一端,所述伸缩杆(6407)与伸缩槽(6405)之间固定连接有弹簧(6406)。

9.根据权利要求8所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述连接杆(6404)的端部固定连接有导向块(6403),所述导向块(6403)分别活动连接在第一滑道(6401)与第二滑道(6402)的内部,所述第一滑道(6401)与第二滑道(6402)两两为一组对称固定连接在内炉体(5)的内壁上;

10.根据权利要求1-9所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉使用方法,其特征在于:包括以下步骤:

...

【技术特征摘要】

1.一种碳化硅内衬制备用合成炉,包括:安装座(1),所述安装座(1)上固定连接有固定架(2),所述固定架(2)上转动连接有外炉体(3),所述外炉体(3)的前端转动连接有炉门(4),其特征在于;

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述滑轨(6102)的侧面固定连接有齿条(6201),所述操作槽(6202)的内部贯穿转动连接有第一转轴(6203),所述第一转轴(6203)的末端固定连接有与齿条(6201)相匹配的第一齿轮(6204),所述第一转轴(6203)靠近操作槽(6202)的顶端固定连接有第二齿轮(6205)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述操作槽(6202)的内侧顶部与底部均开设有弧形滑槽(6206),所述弧形滑槽(6206)内部活动连接有弧形滑块(6207),所述弧形滑块(6207)的表面贯穿转动连接有第二转轴(6208),所述第二转轴(6208)的表面固定连接有与第二齿轮(6205)相匹配的第三齿轮(6209)。

4.根据权利要求3所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述操作槽(6202)的内部转动连接有第三转轴(6210),所述第三转轴(6210)的表面固定连接有与第三齿轮(6209)相匹配的第四齿轮(6211),所述第四转轴(6212)的底端固定连接有与第三齿轮(6209)相匹配的第五齿轮(6213),所述第二凹槽(6301)的内侧开设有旋转槽(6215)。

5.根据权利要求4所述的一种碳化硅内衬制备用合成炉,其特征在于:所述旋转槽(6215)的内部转动连接有旋转环(6219),所述旋转环(6219)固定连接在进风罩(6218)的底部,所述第二凹槽(6...

【专利技术属性】
技术研发人员:王基峰张一飞李龙唐东辉高少航
申请(专利权)人:河南国疆新材料科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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