【技术实现步骤摘要】
本申请属于三氯化硼生产加热，尤其涉及一种三氯化硼生产加热保温装置。
技术介绍
1、三氯化硼是一种毒性极强的危险化学品，为无色发烟液体或气体，有刺激性酸味，易发潮，遇水分解生成氯化氢和硼酸，并放出大量热量，在湿空气中因水解而生成烟雾。在半导体大规模集成电路金属铝层刻蚀制程中起到重要作用，随着芯片和半导体行业的迅速发展，电子级三氯化硼作为集成电路制造过程的辅助原材料，其生产装置也得到非常重视和迅速发展，为了生产出纯度较高的三氯化硼，通常会采用加热蒸馏的方式来去除三氯化硼中的水汽和杂质。
2、现有三氯化硼生产用加热保温装置在使用时，通常采用电加热的方式在三氯化硼生产用加热罐外部进行加热保温，导致加热罐中心位置三氯化硼升温速度慢，影响三氯化硼生产效率，同时三氯化硼的保温也是采用电加热对其进行不断提供热量，其自身保温效果较差热量容易流失，极大的增加了三氯化硼生产加热保温电能消耗，使得三氯化硼生产时不够节能。
3、为此，我们提出来一种三氯化硼生产加热保温装置解决上述问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是为了解决现有技术中，三氯化硼加热罐从外部加热升温速度慢，且自身保温效果较差，需要持续电能加热保温，对电能造成过多浪费的问题，而提出的一种三氯化硼生产加热保温装置。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种三氯化硼生产加热保温装置，包括保温棉罩，所述保温棉罩的内壁固定连接有防护壳，所述防护壳的内部设置有加热罐，所述加热罐的外表面固
4、优选的，所述保温棉罩的内部卡接有三个支撑腿，每个所述支撑腿的内壁均与防护壳的外表面固定连接，每个所述支撑腿的底面均固定连接有安装板，每个所述安装板的上表面均开设有安装通槽。
5、优选的，所述防护壳的内壁固定连接有两个限位环，每个所述限位环的内壁均与加热罐的外表面固定连接，每个所述限位环的上表面均开设有等距离排列的连通孔。
6、优选的，所述第一电热阻丝的外表面固定连接有若干个稳固柱，每个所述稳固柱的外表面均与加热罐的外表面固定连接。
7、优选的，所述加热罐的外表面固定连通有加料管，所述加料管的顶端依次贯穿防护壳和保温棉罩并延伸至保温棉罩的外部，所述加料管的外表面固定连接有第一连接法兰。
8、优选的，所述加热罐的外表面固定连通有排气管，所述排气管的顶端依次贯穿防护壳和保温棉罩并延伸至保温棉罩的外部，所述排气管的外表面固定连接有第二连接法兰。
9、优选的，所述加热罐的外表面下方固定连通有出料管，所述出料管的底端依次贯穿防护壳和保温棉罩并延伸至保温棉罩的下方，所述出料管的底端固定连通有控制阀。
10、优选的，所述连接筒的外表面固定连接有六个固定板，每个所述固定板远离连接筒的一侧面均与加热罐的内壁固定连接。
11、综上所述，本申请的技术效果和优点：
12、1、通过设置有第一电热阻丝可以在加热罐外部对加热罐内部三氯化硼进行加热，而通过第二电热阻丝配合连接筒，可以从加热罐中间位置对三氯化硼进行加热工作，让三氯化硼升温速度更快且更均匀，起到提高三氯化硼生产加热速度和均匀度，增加三氯化硼生产效率的作用，通过设置有温度传感器可以实时监测加热罐内部三氯化硼的温度，当温度变低超过温度传感器内部设定值后，温度传感器可以通过导线向第一电热阻丝和第二电热阻丝发送电信号使二者开始工作提供三氯化硼生产所需热量，达到增加三氯化硼生产加热温度稳定性的效果；
13、2、通过设置防护壳可以在加热罐之间形成空腔，通过在此空间中添加储热盐，可以在第一电热阻丝加热加热罐时，使储热盐受热融化为液体，而当第一电热阻丝停止工作后，配合最外层保温棉罩的保温效果和储热盐由液态转换为固态时所释放的热量，可以有效增加加热罐对三氯化硼的保温效果，让加热罐内部热量流失速度更慢，进而无需持续通过电加热的方式对三氯化硼提供热量，起到提高三氯化硼生产加热装置保温性能，降低三氯化硼生产加热保温电能消耗，让三氯化硼生产时更加节能的作用。
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1.一种三氯化硼生产加热保温装置，包括保温棉罩（1），其特征在于：所述保温棉罩（1）的内壁固定连接有防护壳（2），所述防护壳（2）的内部设置有加热罐（3），所述加热罐（3）的外表面固定连接有第一电热阻丝（4），所述防护壳（2）的内壁固定连接有连接筒（5），所述连接筒（5）的顶端贯穿加热罐（3）并延伸至加热罐（3）的内部，所述连接筒（5）的内壁固定连接有第二电热阻丝（6），所述连接筒（5）的顶端固定连接有温度传感器（7），所述第一电热阻丝（4）和第二电热阻丝（6）均通过导线与温度传感器（7）电连接。
2.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述保温棉罩（1）的内部卡接有三个支撑腿（8），每个所述支撑腿（8）的内壁均与防护壳（2）的外表面固定连接，每个所述支撑腿（8）的底面均固定连接有安装板（9），每个所述安装板（9）的上表面均开设有安装通槽（10）。
3.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述防护壳（2）的内壁固定连接有两个限位环（11），每个所述限位环（11）的内壁均与加热罐（3）的外表面固定连接，每个
4.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述第一电热阻丝（4）的外表面固定连接有若干个稳固柱（13），每个所述稳固柱（13）的外表面均与加热罐（3）的外表面固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述加热罐（3）的外表面固定连通有加料管（14），所述加料管（14）的顶端依次贯穿防护壳（2）和保温棉罩（1）并延伸至保温棉罩（1）的外部，所述加料管（14）的外表面固定连接有第一连接法兰（15）。
6.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述加热罐（3）的外表面固定连通有排气管（16），所述排气管（16）的顶端依次贯穿防护壳（2）和保温棉罩（1）并延伸至保温棉罩（1）的外部，所述排气管（16）的外表面固定连接有第二连接法兰（17）。
7.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述加热罐（3）的外表面下方固定连通有出料管（18），所述出料管（18）的底端依次贯穿防护壳（2）和保温棉罩（1）并延伸至保温棉罩（1）的下方，所述出料管（18）的底端固定连通有控制阀（19）。
8.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述连接筒（5）的外表面固定连接有六个固定板（20），每个所述固定板（20）远离连接筒（5）的一侧面均与加热罐（3）的内壁固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种三氯化硼生产加热保温装置，包括保温棉罩（1），其特征在于：所述保温棉罩（1）的内壁固定连接有防护壳（2），所述防护壳（2）的内部设置有加热罐（3），所述加热罐（3）的外表面固定连接有第一电热阻丝（4），所述防护壳（2）的内壁固定连接有连接筒（5），所述连接筒（5）的顶端贯穿加热罐（3）并延伸至加热罐（3）的内部，所述连接筒（5）的内壁固定连接有第二电热阻丝（6），所述连接筒（5）的顶端固定连接有温度传感器（7），所述第一电热阻丝（4）和第二电热阻丝（6）均通过导线与温度传感器（7）电连接。
2.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述保温棉罩（1）的内部卡接有三个支撑腿（8），每个所述支撑腿（8）的内壁均与防护壳（2）的外表面固定连接，每个所述支撑腿（8）的底面均固定连接有安装板（9），每个所述安装板（9）的上表面均开设有安装通槽（10）。
3.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述防护壳（2）的内壁固定连接有两个限位环（11），每个所述限位环（11）的内壁均与加热罐（3）的外表面固定连接，每个所述限位环（11）的上表面均开设有等距离排列的连通孔（12）。
4.根据权利要求1所述的一种三氯化硼生产加热保温装置，其特征在于：所述第一电热阻丝...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷海平，张建长，肖成城，余潮州，
申请(专利权)人：欧中电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：
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