【技术实现步骤摘要】
本技术属于单晶炉设备,尤其是涉及一种加热器电极脚、设有该电极脚的加热器、以及设有该加热器的单晶炉。
技术介绍
1、当前行业单晶炉加热器电极脚底部为平底式结构,如图1所示,利用螺栓将电极脚1和电极柱2连接在一起,此结构加热器在高温运行过程中,氧化物杂质易附着在电极脚1和电极柱2之间,导致电极脚和电极柱接触面拉弧打火,单晶炉热场结构造成损坏,使热场成本增加。另外,为了使电极脚和电极柱更好的接触,通常在电极脚和电极柱之间放置石墨纸5,石墨纸5在高温环境下易产生腐蚀。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题,本技术提供一种加热器电极脚、加热器及单晶炉,有效的解决了电极脚和电极柱接触面易拉弧打火以及石墨纸易腐蚀的问题,克服了现有技术的不足。
2、本技术采用的技术方案是:一种加热器电极脚,与电极柱可拆卸式连接,所述电极脚靠近所述电极柱的一侧设有凹槽,所述电极柱靠近所述电极脚的一端可嵌入所述凹槽,与所述电极脚可拆卸式连接。
3、可选的,所述电极脚远离所述电极柱的一侧设有安装孔,所述凹槽设置在所述安装孔靠近所述电极柱的一侧,所述电极柱可嵌入所述凹槽与所述安装孔可拆卸式连接。
4、可选的,所述凹槽包括连接设置的上段部和下段部,所述上段部靠近所述安装孔设置,所述下段部设置在所述上段部远离所述安装孔的一侧,所述上段部内壁与所述电极柱适配,所述下段部内壁与所述电极柱间隙配合。
5、可选的,所述下段部内壁倾斜设置,远离所述上段部的一端内径大于靠近所述上段部的一端
6、可选的,所述下段部内壁竖直设置,所述下段部的内径大于所述上段部的内径。
7、可选的,所述安装孔与所述电极柱的连接端设有石墨纸,所述石墨纸设置在所述凹槽内。
8、可选的,所述安装孔为阶梯孔。
9、可选的,所述阶梯孔包括第一通孔和第二通孔,所述第一通孔远离所述电极柱设置,所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径。
10、本技术还提供一种加热器,包括加热器本体和如上所述的加热器电极脚。
11、本技术还提供一种单晶炉,包括电极柱,还包括如上所述的加热器,所述电极柱与所述加热器可拆卸式连接。
12、本技术具有的优点和积极效果是:通过设置凹槽,电极柱嵌入凹槽内部,减少了电极脚和电极柱接触面氧化物杂质的附着,降低了电极脚和电极柱接触面拉弧打火的风险,保证了热场结构的正常使用;石墨纸设置在凹槽内部,减少了石墨纸的腐蚀;在现有技术中,为了增大电极柱与电极脚的接触面积,通常电极柱与电极脚的连接端设置冒沿,在本技术方案中,电极柱可设置为直筒状,无需设置冒沿,节约了成本。
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1.一种加热器电极脚,与电极柱可拆卸式连接,其特征在于:所述电极脚靠近所述电极柱的一侧设有凹槽,所述电极柱靠近所述电极脚的一端可嵌入所述凹槽,与所述电极脚可拆卸式连接。
2.根据权利要求1所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述电极脚远离所述电极柱的一侧设有安装孔,所述凹槽设置在所述安装孔靠近所述电极柱的一侧,所述电极柱可嵌入所述凹槽与所述安装孔可拆卸式连接。
3.根据权利要求2所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述凹槽包括连接设置的上段部和下段部,所述上段部靠近所述安装孔设置,所述下段部设置在所述上段部远离所述安装孔的一侧,所述上段部内壁与所述电极柱适配,所述下段部内壁与所述电极柱间隙配合。
4.根据权利要求3所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述下段部内壁倾斜设置,远离所述上段部的一端内径大于靠近所述上段部的一端内径。
5.根据权利要求3所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述下段部内壁竖直设置,所述下段部的内径大于所述上段部的内径。
6.根据权利要求2-5任一所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述安装孔与所述
7.根据权利要求6所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述安装孔为阶梯孔。
8.根据权利要求7所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述阶梯孔包括第一通孔和第二通孔,所述第一通孔远离所述电极柱设置,所述第一通孔的直径大于所述第二通孔的直径。
9.一种加热器,其特征在于:包括加热器本体和如权利要求1-8任一所述的加热器电极脚。
10.一种单晶炉,包括电极柱,其特征在于:还包括如权利要求9所述的加热器,所述电极柱与所述加热器可拆卸式连接。
...【技术特征摘要】
1.一种加热器电极脚,与电极柱可拆卸式连接,其特征在于:所述电极脚靠近所述电极柱的一侧设有凹槽,所述电极柱靠近所述电极脚的一端可嵌入所述凹槽,与所述电极脚可拆卸式连接。
2.根据权利要求1所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述电极脚远离所述电极柱的一侧设有安装孔,所述凹槽设置在所述安装孔靠近所述电极柱的一侧,所述电极柱可嵌入所述凹槽与所述安装孔可拆卸式连接。
3.根据权利要求2所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述凹槽包括连接设置的上段部和下段部,所述上段部靠近所述安装孔设置,所述下段部设置在所述上段部远离所述安装孔的一侧,所述上段部内壁与所述电极柱适配,所述下段部内壁与所述电极柱间隙配合。
4.根据权利要求3所述的一种加热器电极脚,其特征在于:所述下段部内壁倾斜设置,远离所述上段部的一端内径大于靠近所述上段部的一端内...
【专利技术属性】
技术研发人员:高建芳,郭强,王林,梁山,
申请(专利权)人:内蒙古中环晶体材料有限公司,
类型:新型
国别省市:
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