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【技术实现步骤摘要】
本公开属于真空泵,具体涉及一种罗茨真空泵转子、罗茨真空泵及其工作方法。
技术介绍
1、罗茨真空泵具有构造简洁、安装方式灵活,以及无需内部润滑、高容积效率等优势,已在石油化工、半导体制造、能源开发、轻工食品等众多国民经济关键领域得到广泛应用。
2、在罗茨真空泵的内部运作中,转子与转子之间、转子与泵壳以及转子与前后盖板之间的空隙,是真空泵的重要组成部分。在泵的工作过程中,随着罗茨转子的连续转动,出口区域的压力逐渐升高,形成高压区。这一压力积累导致部分泄漏气体通过上述间隙回流至低压区。由于这些泄漏的气体处于高温状态,它们会加热随后流入的气体,引起进口气体体积的增大,从而降低泵的体积效率,进而减少泵的质量流量。此外,在转子旋转过程中,随着出口压力的不断累积,出口处会产生较大的回流冲击和气流脉动,影响泵的运行稳定性,限制了其应用范围及发展潜力。泄漏流及其引起的出口回流冲击对真空泵的运行效率具有较大影响。
3、因此,提高真空泵的密封性能和降低出口回流冲击对于罗茨真空泵的进步至关重要。
技术实现思路
1、本公开旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种罗茨真空泵转子、罗茨真空泵及其工作方法。
2、本公开的一方面,提出一种罗茨真空泵转子,所述罗茨真空泵转子包括旋转轴以及沿所述旋转轴轴向设置的至少一级转子部件;其中,
3、所述旋转轴沿其轴向开设有进气通道,所述进气通道的进气口位于靠近罗茨真空泵前盖板的一端;
4、任一级所述转子部件沿
5、外接气源沿所述进气通道流入至所述射流通道,经所述喷射出口产生射流喷出,该喷射出口的射流运动方向与所述罗茨真空泵转子的旋转方向一致。
6、可选地,所述射流通道自所述喷射入口向所述喷射出口弯曲延伸,弯曲延伸方向与所述罗茨真空泵转子旋转方向相同。
7、可选地,所述进气通道包括沿所述旋转轴轴向设置的轴向通道,以及沿所述轴向通道轴向分布的至少一组连接通道;其中,
8、每组所述射流通道的喷射入口通过每组所述连接通道与所述轴向通道相连通。
9、可选地,任一级所述转子部件沿其轴向上间隔设置有多组射流通道,所述旋转轴沿其轴向间隔设置有多组连接通道;
10、多组射流通道与多组连接通道一一对应。
11、可选地,任一组所述连接通道包括多个连接子通道,所述多个连接子通道沿所述旋转轴的周向间隔分布;
12、任一级所述转子部件的多个叶片上均设置有射流子通道,多个所述射流子通道与多个所述连接子通道一一对应,形成多个弧形通道。
13、可选地,所述弧形通道的圆弧半径为20~120mm;和/或,
14、所述弧形通道的通道内径为0.05~2mm;和/或,
15、所述轴向通道的长度为所述旋转轴长度的10%~80%。
16、可选地,所述进气通道的进气口距第一级转子部件中第一组射流通道的距离为所述旋转轴长度的40%~60%;和/或,
17、所述喷射出口距所述旋转轴的距离为4~20mm。
18、可选地,在所述旋转轴轴向设置有一级转子部件;其中,
19、在该级所述转子部件沿其轴向等间隔设置有多组射流通道。
20、可选地,在所述旋转轴轴向间隔设置有多级转子部件;其中,
21、在每级所述转子部件沿其轴向设置有至少一组射流通道。
22、本公开的一方面,提出一种罗茨真空泵,所述罗茨真空泵包括:泵壳以及设置在所述泵壳中的左转子和右转子;其中,
23、所述左转子和所述右转子采用前文记载的所述罗茨真空泵转子。
24、本公开的一方面,提出一种前文记载的罗茨真空泵的工作方法,所述工作方法包括:
25、s1、左转子、右转子在各自的旋转轴的带动下沿相反方向旋转,外接气源与旋转轴的进气通道接通,气体由所述进气通道的进气口流入;
26、s2、气体沿左转子和右转子的进气通道流动到至少一组射流通道,经喷射出口处产生射流;
27、s3、射流由所述喷射出口排出,并与泵壳内主气流发生作用。
28、本公开提出一种罗茨真空泵转子、罗茨真空泵及其工作方法,所述罗茨真空泵转子包括旋转轴以及沿所述旋转轴轴向设置的至少一级转子部件;其中,所述旋转轴沿其轴向开设有进气通道;任一级所述转子部件沿其轴向设置有至少一组射流通道,所述射流通道的喷射入口与所述进气通道相连通,所述射流通道的喷射出口位于所述转子部件的叶顶;外接气源沿所述进气通道流入至所述射流通道,经所述喷射出口产生射流喷出,该喷射出口的射流运动方向与所述罗茨真空泵转子的旋转方向一致。本公开通过进气通道将外部气源引入,引入的外部气源经转子上设置的射流通道结构在叶顶位置处喷射出,以形成射流,能够减少转子与泵壳内壁面间因泄漏产生的损失,还能够有效阻断从高压区向低压区的反流路径,有效降低泵出口处的回流冲击影响,改善真空泵内流态,并且能够带走真空泵运行过程中产生的热量,达到制冷效果。
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1.一种罗茨真空泵转子,其特征在于,所述罗茨真空泵转子包括旋转轴以及沿所述旋转轴轴向设置的至少一级转子部件;其中,
2.根据权利要求1所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述射流通道自所述喷射入口向所述喷射出口弯曲延伸,弯曲延伸方向与所述罗茨真空泵转子旋转方向相同。
3.根据权利要求1所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述进气通道包括沿所述旋转轴轴向设置的轴向通道,以及沿所述轴向通道轴向分布的至少一组连接通道;其中,
4.根据权利要求3所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,任一级所述转子部件沿其轴向间隔设置有多组射流通道,所述旋转轴沿其轴向间隔设置有多组连接通道;
5.根据权利要求4所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,任一组所述连接通道包括多个连接子通道,所述多个连接子通道沿所述旋转轴的周向间隔分布;
6.根据权利要求5所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述弧形通道的圆弧半径为20~120mm;和/或,
7.根据权利要求1所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述进气通道的进气口距第一级转子部件中第一组射流通道的距离为所
8.根据权利要求1所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述喷射出口距所述旋转轴的距离为4~20mm。
9.一种罗茨真空泵,其特征在于,所述罗茨真空泵包括:泵壳以及设置在所述泵壳中的左转子和右转子;其中,
10.一种如权利要求9所述的罗茨真空泵的工作方法,其特征在于,所述工作方法包括:
...【技术特征摘要】
1.一种罗茨真空泵转子,其特征在于,所述罗茨真空泵转子包括旋转轴以及沿所述旋转轴轴向设置的至少一级转子部件;其中,
2.根据权利要求1所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述射流通道自所述喷射入口向所述喷射出口弯曲延伸,弯曲延伸方向与所述罗茨真空泵转子旋转方向相同。
3.根据权利要求1所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,所述进气通道包括沿所述旋转轴轴向设置的轴向通道,以及沿所述轴向通道轴向分布的至少一组连接通道;其中,
4.根据权利要求3所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,任一级所述转子部件沿其轴向间隔设置有多组射流通道,所述旋转轴沿其轴向间隔设置有多组连接通道;
5.根据权利要求4所述的罗茨真空泵转子,其特征在于,任一组...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷晓宏,雷晓波,彭冲,王鑫,冯伟,
申请(专利权)人:陕西通嘉宏盛科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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