【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及智能测试的，尤其涉及一种用于喷淋盘的气孔流量测试方法。
技术介绍
1、喷淋盘上加工形成多个通气孔，从而确保气体从喷淋盘能够均匀地进入反应腔室，并以此提高腔室内器件进行反应、加工的均匀度。喷淋盘上所设置的气孔的流量，通常是在设计阶段通过仿真软件确定气孔设计尺寸，并通过生产加工过程对气孔的加工精度进行精确控制。然而，通过仿真软件设计气孔尺寸以间接反馈气体流量，导致实际加工得到的气孔在加工误差范围内气体流量依然存在较大差异；并且现有技术中并没有直接对喷淋盘上的气孔流经进行准确测试，导致气孔的流量测试数据缺失。因此，现有技术方法中存在无法对喷淋盘上的气孔准确进行流量测试的问题。
技术实现思路
1、本专利技术实施例提供了一种用于喷淋盘的气孔流量测试方法，旨在解决现有技术方法中所存在的无法对喷淋盘上的气孔准确进行流量测试的问题。
2、本专利技术实施例提供了一种用于喷淋盘的气孔流量测试方法，所述测试方法应用于气孔流量测试治具以对喷淋盘的气孔进行流量测试，所述气孔流量测试治具包括进气管路、排气管路及测量管路，所述排气管路及测量管路均与所述进气管路相连通，其中，所述测试方法包括：
3、调整所述进气管路与所述排气管路均导通；
4、调节所述进气管路流通的气体气压满足测试要求；
5、断开所述排气管路并导通所述测量管路；
6、将所述测量管路的出口与喷淋盘上的喷嘴或气孔进行配合连接；
7、读取所述测量管路中流通的气体流量；<...
【技术保护点】
1.一种用于喷淋盘的气孔流量测试方法，所述测试方法应用于气孔流量测试治具以对喷淋盘的气孔进行流量测试，所述气孔流量测试治具包括进气管路、排气管路及测量管路，所述排气管路及测量管路均与所述进气管路相连通，其特征在于，所述测试方法包括：
2.根据权利要求1所述的用于喷淋盘的气孔流量测试方法，其特征在于，调节所述进气管路流通的气体气压满足测试要求之后，还包括：
3.根据权利要求1所述的用于喷淋盘的气孔流量测试方法，其特征在于，所述气孔流量测试治具还包括控制器，所述控制器与调压阀建立通信连接；所述调压阀设置于所述进气管路上；所述调节所述进气管路流通的气体气压满足测试要求，包括：
4.根据权利要求3所述的用于喷淋盘的气孔流量测试方法，其特征在于，所述控制器还与气体流量计建立通信连接，所述气体流量计设置于所述测量管路上，所述读取所述测量管路中流通的气体流量，包括：
5.根据权利要求4所述的用于喷淋盘的气孔流量测试方法，其特征在于，所述数据读取规则包括连续时长及波动范围，所述根据预置的数据读取规则从所述流量数据中读取有效读数并存储，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种用于喷淋盘的气孔流量测试方法，所述测试方法应用于气孔流量测试治具以对喷淋盘的气孔进行流量测试，所述气孔流量测试治具包括进气管路、排气管路及测量管路，所述排气管路及测量管路均与所述进气管路相连通，其特征在于，所述测试方法包括：
2.根据权利要求1所述的用于喷淋盘的气孔流量测试方法，其特征在于，调节所述进气管路流通的气体气压满足测试要求之后，还包括：
3.根据权利要求1所述的用于喷淋盘的气孔流量测试方法，其特征在于，所述气孔流量测试治具还包括控制器，所述控制器与调压阀建立通信连接；所述调压阀设置于所述进气管路上；所述调节所述进气管路流通的气体气压满足测试要求，包括：
4.根据权利要求3所述的用于喷淋盘的...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵坤，吴凤丽，杨华龙，朱晓亮，高鹏飞，王随虎，
申请(专利权)人：拓荆科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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