【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及加热炉，尤其涉及一种用于靶材绑定的加热炉及靶材绑定工艺。
技术介绍
1、靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，靶材可以是平面型或圆筒型，圆筒型的靶材通常称为旋转靶材，旋转靶材是由背管和靶材本体组成，旋转靶材主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ito靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。
2、申请公布号为cn117535638a的专利申请文件公开了一种旋转靶材绑定方法，该一种旋转靶材绑定方法公开了背管及靶材设置在上座体及下座体之间，并通过固定螺杆固定，背管与靶材之间形成用于填充铟的填充腔，但是在填充腔内填充铟液后填充腔内仍存在空气，影响绑定质量。
3、旋转靶材加热炉是用于对连接在一起的背管和靶材进行加热，加热后注入铟液从而使两者焊接在一起。现有的旋转靶材加热炉是根据每款靶材的长度来定制，由于靶材的规格多化，每次有新规格的靶材都要定制新的加热炉，使得加热炉的使用受限，提高了生产成本。
4、授权公告号为cn211204898u的中国专利文件公开了一种用于旋转靶材绑定的加热炉，该用于旋转靶材绑定的加热炉公开了两个一级炉体和设于两个一级炉体之间的多个二级炉体，一级炉体和二级炉体上均铰接有炉门，位于底部的一级炉体上设置有用于固定靶材的治具。
5、但是上述专利中的治具在使用时，需要先使用吊具将靶材和背管吊起并设于治具上，而靶材和背管难以与治具对齐，操作麻烦，且吊具成本较高。
6、现有技术中也有通过螺栓的方式将靶材和背管整体固定在加热炉
技术实现思路
1、本专利技术提供一种用于靶材绑定的加热炉，以解决现有技术中靶材和背管难以固定在加热炉中的技术问题；本专利技术提供一种靶材绑定工艺，以解决现有技术中填充腔内注入铟液后存在空气的技术问题。
2、为解决现有技术中靶材和背管难以固定在加热炉中的技术问题，本专利技术提供的一种用于靶材绑定的加热炉采用如下技术方案：
3、一种用于靶材绑定的加热炉，包括上炉体、下炉体、设于上炉体和下炉体之间的至少一个中间炉体，所述下炉体内开设有与靶材外侧的固定螺杆适配的圆槽和与圆槽连通且沿下炉体后侧贯穿的滑入槽，滑入槽与固定螺杆适配以使固定螺杆沿滑入槽滑入圆槽内；下炉体的下方设有底座，底座上转动装配有支撑块，支撑块上开设有与滑入槽一一对应的支撑槽，至少一个支撑槽的侧壁上开设有滑动槽，滑动槽内滑动装配有用于对固定螺杆挡止限位的滑动件；所述支撑块在其翻转行程中具有竖直位置和水平位置，支撑块处于竖直位置时，支撑槽开口朝上，且滑动件将固定螺杆挡止配合在滑动件下方；支撑块处于水平位置时，支撑槽开口朝前，固定螺杆能够将滑动件顶入滑动槽内，以使各个固定螺杆能沿支撑槽滑入滑入槽并滑至圆槽内。
4、有益效果是：本专利技术的一种用于靶材绑定的加热炉在使用时，首先将支撑块放置在竖直位置处，组装后的靶材和背管水平放置在支撑块上，并使固定螺杆设于支撑槽内，然后翻转支撑块使得支撑块从竖直位置翻转至水平位置，此时再通过推动使得固定螺杆沿支撑槽滑入滑入槽并滑至圆槽内，从而将靶材和背管推入加热炉内，最后转动靶材和背管以使固定螺杆与滑入槽错开，进而将靶材和背管固定在加热炉内。本专利技术的一种用于靶材绑定的加热炉在使用时，结构简单，操作方便，只需通过翻转、推动即可将背管和靶材推入加热炉内，并且方便对准，方便安装固定。
5、进一步的，滑动槽包括依次连接的第一槽段、第二槽段和第三槽段，第一槽段为与支撑槽连通的z字型槽段，第二槽段沿左右方向的长度自支撑槽的槽底朝向支撑槽的槽口逐渐增大，第三槽段设于第二槽段远离对应第一槽段的一侧，第三槽段为z字型槽段，第三槽段自支撑槽的槽底朝支撑槽的槽口且朝向远离对应支撑槽的方向倾斜布置；滑动件包括滑动块、滑动套筒和滚动块，滚动块沿第三槽段的z字型方向滑动装配在第三槽段内，滑动套筒连接在滚动块上且与第二槽段适配且滑动套筒远离滚动块的一端始终延伸至第一槽段内，滑动套筒内设有缓冲弹簧且缓冲弹簧与滚动块连接，滑动块连接在缓冲弹簧远离滚动块的一端，滑动块具有进斜面、出斜面和挡止面，出斜面和挡止面朝向支撑槽槽底设置，进斜面朝向支撑槽槽口设置。
6、有益效果：支撑块处于竖直位置时，固定螺杆能够将滑动块推入第一槽段内并自上至下滑至支撑槽槽底，同时固定螺杆滑入后通过固定螺杆与挡止面挡止配合以防固定螺杆脱离支撑槽，此时转动支撑块至水平位置即可带动靶材和背管从水平状态转动至竖直状态；支撑块转动至水平位置后，滚动块在重力作用下沿第三槽段滑动至第三槽段另一端，从而带动滑动块向第一槽段内收回一部分，进而使得出斜面与固定螺杆对应，此时固定螺杆即可通过推动出斜面以将滑动块推入第一槽段内，然后固定螺杆即可滑出支撑槽并滑入加热炉内，结构简单，操作方便，同时不需要在加热炉附近设置电子元件，避免电子元件损坏。
7、进一步的，所述滑动块朝向缓冲弹簧的一侧还设有滑动杆，滑动杆滑动装配在滑动套筒内，滑动杆背向滑动块的一端与所述缓冲弹簧连接。
8、有益效果：保证缓冲弹簧始终处于滑动套筒内，从而避免缓冲弹簧弯折损坏。
9、进一步的，底座上还设有导向块和转动电机，转动电机的输出轴上同轴连接有沿左右方向延伸且贯穿导向块的传动杆，导向块上开设有导向槽，导向槽内转动装配有与所述传动杆连接的转动杆，转动杆远离传动杆的一端与所述支撑块连接，所述转动杆转动时能够带动支撑块在水平位置和竖直位置之间切换。
10、有益效果：减少人力操作，节省人力资源。
11、进一步的，导向块具有一个为四分之一圆弧的导向弧面，支撑块处于水平位置时，支撑块支撑在导向弧面上端。
12、有益效果：提高支撑块处于水平位置时靶材和背管的稳定性。
13、进一步的，底座上还设有辅助板，辅助板上开设有与支撑槽一一对应的辅助槽且辅助板设于支撑块后侧，辅助槽用于支撑固定螺杆。
14、有益效果：使用时固定螺杆处于支撑槽和辅助槽内，从而提高靶材和背管水平放置在底座上时的稳定性。
15、进一步的，上炉体、下炉体和中间炉体上均铰接有炉门，上炉体的上端设有端盖，端盖铰接在上炉体上。
16、有益效果：结构简单，方便开关。
17、进一步的，上炉体、下炉体和中间炉体前侧壁上均设有通风管，通风管两端均与上炉体、下炉体和中间炉体内腔连通，通风管上设有风机。
18、有益效果：促进加热炉内热量流通，保证均匀加热。
19、为解决现有技术中填充腔内注入铟液后存在空气的技术问题，本专利技术提供的一种靶材绑定工艺采用如下技术方案：使用上述的一种用于靶材绑定的加热炉，包括如下步骤：
20、s1、靶材内壁表面和背管表面金属化；
21、s2、多节旋转靶材在背管外部拼装，中间拼缝用耐高温胶片连接密封，通过工装使用一定的力度获得一整根靶材，预防拼缝泄漏并通过固定螺杆固定；
22、s3本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于靶材绑定的加热炉，包括上炉体、下炉体、设于上炉体和下炉体之间的至少一个中间炉体，其特征在于，所述下炉体内开设有与靶材外侧的固定螺杆适配的圆槽和与圆槽连通且沿下炉体后侧贯穿的滑入槽，滑入槽与固定螺杆适配以使固定螺杆沿滑入槽滑入圆槽内；下炉体的下方设有底座，底座上转动装配有支撑块，支撑块上开设有与滑入槽一一对应的支撑槽，至少一个支撑槽的侧壁上开设有滑动槽，滑动槽内滑动装配有用于对固定螺杆挡止限位的滑动件；
2.根据权利要求1所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，滑动槽包括依次连接且均为Z字型槽段的第一槽段、第二槽段和第三槽段，第二槽段沿左右方向的长度自支撑槽的槽底朝向支撑槽的槽口逐渐增大，第三槽段设于第二槽段远离对应第一槽段的一侧，第三槽段自支撑槽的槽底朝支撑槽的槽口且朝向远离对应支撑槽的方向倾斜布置；滑动件包括滑动块、滑动套筒和滚动块，滚动块滑动装配在第三槽段内，滑动套筒连接在滚动块上且与第二槽段适配且滑动套筒远离滚动块的一端始终延伸至第一槽段内，滑动套筒内设有缓冲弹簧且缓冲弹簧与滚动块连接，滑动块连接在缓冲弹簧远离滚动块的一端，滑动块具有进斜面、出斜
3.根据权利要求2所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，所述滑动块朝向缓冲弹簧的一侧还设有滑动杆，滑动杆滑动装配在滑动套筒内，滑动杆背向滑动块的一端与所述缓冲弹簧连接。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，底座上还设有导向块和转动电机，转动电机的输出轴上同轴连接有沿左右方向延伸且贯穿导向块的传动杆，导向块上开设有导向槽，导向槽内转动装配有与所述传动杆连接的转动杆，转动杆远离传动杆的一端与所述支撑块连接，所述转动杆转动时能够带动支撑块在水平位置和竖直位置之间切换。
5.根据权利要求4所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，导向块具有一个为四分之一圆弧的导向弧面，支撑块处于水平位置时，支撑块支撑在导向弧面上端。
6.根据权利要求4所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，底座上还设有辅助板，辅助板上开设有与支撑槽一一对应的辅助槽且辅助板设于支撑块后侧，辅助槽用于支撑固定螺杆。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，上炉体、下炉体和中间炉体上均铰接有炉门，上炉体的上端设有端盖，端盖铰接在上炉体上。
8.根据权利要求1-3任意一项所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，上炉体、下炉体和中间炉体前侧壁上均设有通风管，通风管两端均与上炉体、下炉体和中间炉体内腔连通，通风管上设有风机。
9.一种靶材绑定工艺，使用如权利要求1-8任意一项所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，包括如下步骤：
10.根据权利要求9所述的一种靶材绑定工艺，其特征在于，靶材内壁表面和背管表面金属化采用异丙醇或者丙酮来清洁靶材和背管内外壁；靶材内壁表面和背管表面金属化后将靶材均匀升温到200~220℃后保温30~40min，开启圆筒超声机进行涂布操作；靶材升温绑定开启外加热、内加热，以2~3℃/min的升温速率升温至180-200℃，保温30min后打开端盖，并将融化的铟倒入铟管里面。
...【技术特征摘要】
1.一种用于靶材绑定的加热炉，包括上炉体、下炉体、设于上炉体和下炉体之间的至少一个中间炉体，其特征在于，所述下炉体内开设有与靶材外侧的固定螺杆适配的圆槽和与圆槽连通且沿下炉体后侧贯穿的滑入槽，滑入槽与固定螺杆适配以使固定螺杆沿滑入槽滑入圆槽内；下炉体的下方设有底座，底座上转动装配有支撑块，支撑块上开设有与滑入槽一一对应的支撑槽，至少一个支撑槽的侧壁上开设有滑动槽，滑动槽内滑动装配有用于对固定螺杆挡止限位的滑动件；
2.根据权利要求1所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，滑动槽包括依次连接且均为z字型槽段的第一槽段、第二槽段和第三槽段，第二槽段沿左右方向的长度自支撑槽的槽底朝向支撑槽的槽口逐渐增大，第三槽段设于第二槽段远离对应第一槽段的一侧，第三槽段自支撑槽的槽底朝支撑槽的槽口且朝向远离对应支撑槽的方向倾斜布置；滑动件包括滑动块、滑动套筒和滚动块，滚动块滑动装配在第三槽段内，滑动套筒连接在滚动块上且与第二槽段适配且滑动套筒远离滚动块的一端始终延伸至第一槽段内，滑动套筒内设有缓冲弹簧且缓冲弹簧与滚动块连接，滑动块连接在缓冲弹簧远离滚动块的一端，滑动块具有进斜面、出斜面和挡止面，出斜面和挡止面朝向支撑槽槽底设置，进斜面朝向支撑槽槽口设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，所述滑动块朝向缓冲弹簧的一侧还设有滑动杆，滑动杆滑动装配在滑动套筒内，滑动杆背向滑动块的一端与所述缓冲弹簧连接。
4.根据权利要求1-3任意一项所述的一种用于靶材绑定的加热炉，其特征在于，底座上还设有导向块和转动电机，转动电机的输出轴上同轴连接有沿左右方向延伸且...
【专利技术属性】
技术研发人员：孟红波，刘所心，马超宁，姚远，
申请(专利权)人：洛阳晶联光电材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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