【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及清洗装置，具体为用于蓝宝石衬底表面清洗装置及其清洗方法。
技术介绍
1、蓝宝石衬底是一种用于制作led芯片的衬底材料，蓝宝石衬底生产完成后需要借助清洗装置对其表面进行清洁处理。
2、例如公告号为：cn210349791u（名为一种蓝宝石衬底清洗用快速旋干喷淋装置），包括旋转载台、旋转载台外侧的旋干机外壁，所述旋转载台上设有旋干腔体，所述旋干腔体以旋转载台的圆心为中心布置，旋干腔体内设有晶舟盒，晶舟盒内由前至后设有若干晶圆，所述旋干腔体内还设有限位晶圆的固定杆；所述旋转载台上设有个喷淋柱，喷淋柱对称设置在固定杆两侧，喷淋柱上的除静电头和喷头二朝向晶舟盒内的蓝宝石衬底。喷淋柱的底端接有连通管路，连通管路的一端与气源、溶液源和除静电设备连接，喷淋柱的表面设有除静电头和若干喷头二，除静电头位于喷淋柱中间，喷头二等间距排列在表面，喷淋柱的安装高度应高于固定杆的高度，旋干使用的清洗溶液和热氮气由喷淋柱喷向喷头所对的晶圆方向，可与蓝宝石晶圆充分接触，利于晶圆的充分清洁，且因喷淋柱对准晶舟盒与晶圆接触面，可直接吹扫热氮气将间隙内液滴烘干，烘干晶圆更快，节省工作时间，提高工作效率与产品良率。
3、上述清洗装置仅仅只能清洗少量的蓝宝石衬底，且清洗过程中的取放料较为不便，造成蓝宝石衬底清洗效率较低的问题，为此，我们提供用于蓝宝石衬底表面清洗装置及其清洗方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供用于蓝宝石衬底表面清洗装置及其清洗方法，以解决上述
技术介绍
中提出的
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：用于蓝宝石衬底表面清洗装置，包括装置架台，装置架台的内部一体成型设置有集水筒，装置架台的上端设置有清洗框架，清洗框架一侧外壁上设置有超声频电源，清洗框架的内部设置有清洗仓，集水筒的一侧设置有回流抽泵；
3、还包括：
4、活动载座，其设置在所述清洗仓的上方位置上，且活动载座的内部设置有内圆槽，内圆槽的内部设置有四个限位滑槽和透水孔，透水孔和限位滑槽均与内圆槽为一体结构，四个限位滑槽的上方均设置有卡夹棒；
5、导向穿孔，其设置在所述集水筒的顶部位置上，且导向穿孔的内部穿接设置有升降立杆，升降立杆的底部一体成型设置有浮球，升降立杆的顶部外壁上设置有传动连杆，传动连杆的两端分别与升降立杆和活动载座焊接连接；
6、延长棒，其安装在所述卡夹棒的上端位置上，且延长棒和卡夹棒的内壁上均一体成型设置有衬底卡槽，卡夹棒的底部一体成型设置有防脱滑块，卡夹棒通过防脱滑块与限位滑槽导向活动连接；
7、底插槽，其一体成型设置在所述活动载座的底部位置上，且底插槽的内部插装设置有内接插板，内接插板的内部设置有嵌入式内槽，嵌入式内槽的内部通过免钉胶固定设置有电热板，电热板的接电端上设置有接电线。
8、优选的，所述回流抽泵的进水端和出水端上均设置有回流水管，两个回流水管分别与集水筒和清洗仓的内部连通设置。
9、优选的，所述卡夹棒和延长棒的顶部均一体成型设置有螺纹顶槽，延长棒的底部一体成型设置有连接螺头，延长棒通过连接螺头与螺纹顶槽组装固定连接。
10、优选的，所述限位滑槽的内部设置有内接弹簧，内接弹簧的两端通过免钉胶分别与防脱滑块和限位滑槽的一端内壁固定连接。
11、优选的，所述导向穿孔的内壁上通过螺钉固定设置有直线轴承，升降立杆通过直线轴承与导向穿孔穿接活动连接。
12、优选的，所述清洗框架的一侧外壁上设置有排水管，排水管的起始端上设置有阀门，排水管的末端与集水筒的内部连通设置。
13、优选的，所述清洗仓的一侧内壁上设置有出水口，出水口与排水管的内部连通设置，出水口的内部设置有滤水网。
14、优选的，所述清洗仓的底部设置有超声波换能器，超声频电源的输出端与超声波换能器的输入端电性连接。
15、优选的，所述防脱滑块的底部通过轴承和连接轴活动设置有滚轮，防脱滑块通过滚轮与限位滑槽滚动连接。
16、优选的，所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置的清洗方法，包括以下步骤：
17、步骤一：将需要进行清洗的蓝宝石衬底摆放到四个卡夹棒之间的位置上，通过卡夹棒内壁上的衬底卡槽对圆盘状的蓝宝石衬底进行卡夹处理，卡夹棒在卡夹蓝宝石衬底时通过防脱滑块与限位滑槽的活动连接，向外侧活动，使得四个卡夹棒可以卡夹不同直径大小的蓝宝石衬底，并通过内接弹簧推动卡夹棒施加对蓝宝石衬底的卡夹力；
18、步骤二：需要清洗较多蓝宝石衬底时，将延长棒通过连接螺头与螺纹顶槽的拧合连接安装到卡夹棒的上端位置上，使得延长棒上的衬底卡槽继续卡夹蓝宝石衬底，提高活动载座的蓝宝石衬底的负载量；
19、步骤三：进行清洗时，通过回流抽泵和回流水管将集水筒内的清洗水抽出并注入清洗仓的内部，此时由于集水筒内的水位下降，使得升降立杆同步下降，进而带动活动载座落入清洗仓的内部浸泡清洗；
20、步骤四：浸泡清洗的过程中，通过超声波换能器将功率超声频源的声能转换成机械振动，通过清洗仓内壁将超声波辐射到清洗仓中的清洗水中，从而剥离蓝宝石衬底表面的污渍，清洗完成后，打开阀门，使得清洗水通过滤水网的过滤后流入集水筒的内部，将浮球浮起，从而带动升降立杆升起，并带动活动载座从清洗仓的内部升起；
21、步骤五：将内接插板插接安装到底插槽的内部，然后将接电线外接电源为电热板供电，电热板接电后放热，对活动载座的上方进行加热，将蓝宝石衬底烘干。
22、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
23、1、本专利技术借助水的浮力辅助蓝宝石衬底清洗过程中的取放料，通过回流抽泵和回流水管将集水筒内的清洗水抽出并注入清洗仓的内部，此时由于集水筒内的水位下降，使得升降立杆同步下降，进而带动活动载座落入清洗仓的内部浸泡清洗，清洗完成后，打开阀门，使得清洗水通过滤水网的过滤后流入集水筒的内部，将浮球浮起，从而带动升降立杆升起，并带动活动载座从清洗仓的内部升起，整个过程无需电驱动，节约能源的同时，提高了蓝宝石衬底清洗的效率。
24、2、通过将需要进行清洗的蓝宝石衬底摆放到四个卡夹棒之间的位置上，通过卡夹棒内壁上的衬底卡槽对圆盘状的蓝宝石衬底进行卡夹处理，卡夹棒在卡夹蓝宝石衬底时通过防脱滑块与限位滑槽的活动连接，向外侧活动，使得四个卡夹棒可以卡夹不同直径大小的蓝宝石衬底，并通过内接弹簧推动卡夹棒施加对蓝宝石衬底的卡夹力，需要清洗较多蓝宝石衬底时，将延长棒通过连接螺头与螺纹顶槽的拧合连接安装到卡夹棒的上端位置上，使得延长棒上的衬底卡槽继续卡夹蓝宝石衬底，可以安装多个延长棒，用于卡夹清洗多个蓝宝石衬底，提高活动载座的蓝宝石衬底的负载量，进而提高了一次清洗蓝宝石衬底的数量。
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1.用于蓝宝石衬底表面清洗装置，包括装置架台（1），装置架台（1）的内部一体成型设置有集水筒（4），装置架台（1）的上端设置有清洗框架（2），清洗框架（2）一侧外壁上设置有超声频电源（14），清洗框架（2）的内部设置有清洗仓（3），集水筒（4）的一侧设置有回流抽泵（12）；
2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述回流抽泵（12）的进水端和出水端上均设置有回流水管（13），两个回流水管（13）分别与集水筒（4）和清洗仓（3）的内部连通设置。
3.根据权利要求2所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述卡夹棒（7）和延长棒（30）的顶部均一体成型设置有螺纹顶槽（27），延长棒（30）的底部一体成型设置有连接螺头（29），延长棒（30）通过连接螺头（29）与螺纹顶槽（27）组装固定连接。
4.根据权利要求3所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述限位滑槽（24）的内部设置有内接弹簧（25），内接弹簧（25）的两端通过免钉胶分别与防脱滑块（26）和限位滑槽（24）的一端内壁固定连接。
5.根据
6.根据权利要求5所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述清洗框架（2）的一侧外壁上设置有排水管（10），排水管（10）的起始端上设置有阀门（11），排水管（10）的末端与集水筒（4）的内部连通设置。
7.根据权利要求6所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述清洗仓（3）的一侧内壁上设置有出水口（33），出水口（33）与排水管（10）的内部连通设置，出水口（33）的内部设置有滤水网（34）。
8.根据权利要求7所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述清洗仓（3）的底部设置有超声波换能器（32），超声频电源（14）的输出端与超声波换能器（32）的输入端电性连接。
9.根据权利要求8所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述防脱滑块（26）的底部通过轴承和连接轴活动设置有滚轮（28），防脱滑块（26）通过滚轮（28）与限位滑槽（24）滚动连接。
10.根据权利要求9所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置的清洗方法，其特征在于：包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.用于蓝宝石衬底表面清洗装置，包括装置架台（1），装置架台（1）的内部一体成型设置有集水筒（4），装置架台（1）的上端设置有清洗框架（2），清洗框架（2）一侧外壁上设置有超声频电源（14），清洗框架（2）的内部设置有清洗仓（3），集水筒（4）的一侧设置有回流抽泵（12）；
2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述回流抽泵（12）的进水端和出水端上均设置有回流水管（13），两个回流水管（13）分别与集水筒（4）和清洗仓（3）的内部连通设置。
3.根据权利要求2所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述卡夹棒（7）和延长棒（30）的顶部均一体成型设置有螺纹顶槽（27），延长棒（30）的底部一体成型设置有连接螺头（29），延长棒（30）通过连接螺头（29）与螺纹顶槽（27）组装固定连接。
4.根据权利要求3所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述限位滑槽（24）的内部设置有内接弹簧（25），内接弹簧（25）的两端通过免钉胶分别与防脱滑块（26）和限位滑槽（24）的一端内壁固定连接。
5.根据权利要求4所述的用于蓝宝石衬底表面清洗装置，其特征在于：所述导向穿孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：肖燕青，肖迪，郑东，吕可慧，李亚平，张秀芳，
申请(专利权)人：青岛华芯晶电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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