一种IBS真空镀膜均匀性修正装置制造方法及图纸

本技术公开一种IBS真空镀膜均匀性修正装置，修正装置包括修正板基座和两个以上的修正板，两个以上的修正板在修正板基座上称环形均匀分布，修正板安装端端头固定安装在修正板基座上，修正板的修正端头伸出至修正板基座外侧。采用本技术可以在镀膜过程中控制薄膜的均匀性，镀膜的合格范围更宽，良率更高。

【技术实现步骤摘要】

本技术公开一种镀膜修正装置，特别是一种ibs真空镀膜均匀性修正装置，可应用于通过可调mask组利用ibs真空镀膜实现薄膜均匀性。

技术介绍

1、mask修正板是目前控制离子束溅射镀膜均匀性的重要方法之一，通常一种镀膜材料对应一块mask修正板，行业内已使用此类技术多年。一种镀膜材料对应三块mask修正板是一种全新的均匀性控制方法，如：高折射率镀膜材料对应“h-”、“h”、“h+”三块mask，由于一种镀膜材料对应一块mask修正板的均匀性修正技术不能在镀膜过程中调节均匀性，而市场上对镀膜产品的均匀性要求越来越严格，原来的均匀性修正方法已经明显落后。目前的ibs真空镀膜技术在镀膜过程中不能调节薄膜的均匀性，导致镀一炉产品出来后的合格范围较窄，间接导致生产成本增高。

技术实现思路

1、针对上述提到的现有技术中的ibs真空镀膜过程中不能调节薄膜的均匀性，导致产品合格范围较窄的缺点，本技术提供一种ibs真空镀膜均匀性修正装置，其在镀膜过程中通过调节mask修正板以达到控制薄膜的均匀性的目的，使镀膜产品的均匀性更好，良率产出更高。

2、本技术解决其技术问题采用的技术方案是：一种ibs真空镀膜均匀性修正装置，修正装置包括修正板基座和两个以上的修正板，两个以上的修正板在修正板基座上称环形均匀分布，修正板安装端端头固定安装在修正板基座上，修正板的修正端头伸出至修正板基座外侧。

3、本技术解决其技术问题采用的技术方案进一步还包括：

4、所述的修正板基座呈圆形。p>

5、所述的修正板基座顶部开设有安装槽，安装槽内开设有腰形孔，腰形孔处通过第一安装螺钉将相应的修正板安装在修正板基座上。

6、所述的修正板基座安装在mask电机上，修正板基座通过电机螺钉与mask电机的电机轴固定安装。

7、所述的修正板包括修正主板、角度片和支杆，修正主板固定安装在支杆上，角度片安装在修正主板上。

8、所述的支杆一端开设有第一安装螺钉孔，第一安装螺钉插装在第一安装螺钉孔内。

9、所述的支杆上开设有第二安装螺钉孔和定位柱安装孔，定位柱插装在定位柱安装孔内，第二安装螺钉插装在第二安装螺钉孔内。

10、所述的角度片通过固定螺钉与修正主板固定安装在一起。

11、所述的角度片上开设有台阶，台阶抵住修正主板边沿。

12、所述的修正板设有六个或八个。

13、本技术的有益效果是：采用本技术可以在镀膜过程中控制薄膜的均匀性，镀膜的合格范围更宽，良率更高。

14、下面将结合附图和具体实施方式对本技术做进一步说明。

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【技术保护点】

1.一种IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正装置包括修正板基座（1）和两个以上的修正板（2），两个以上的修正板（2）在修正板基座（1）上称环形均匀分布，修正板（2）安装端端头固定安装在修正板基座（1）上，修正板（2）的修正端头伸出至修正板基座（1）外侧。

2.根据权利要求1所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板基座（1）呈圆形。

3.根据权利要求1所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板基座（1）顶部开设有安装槽（3），安装槽（3）内开设有腰形孔（4），腰形孔（4）处通过第一安装螺钉（5）将相应的修正板（2）安装在修正板基座（1）上。

4.根据权利要求1所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板基座（1）安装在Mask电机上，修正板基座（1）通过电机螺钉（16）与Mask电机的电机轴固定安装。

5.根据权利要求3所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板（2）包括修正主板（6）、角度片（7）和支杆（11），修正主板（6）固定安装在支杆（11）上，角度片（7）安装在修正主板（6）上。

6.根据权利要求5所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的支杆（11）一端开设有第一安装螺钉孔（14），第一安装螺钉（5）插装在第一安装螺钉孔（14）内。

7.根据权利要求5所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的支杆（11）上开设有第二安装螺钉孔（10）和定位柱安装孔（12），定位柱（8）插装在定位柱安装孔（12）内，第二安装螺钉（9）插装在第二安装螺钉孔（10）内。

8.根据权利要求5所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的角度片（7）通过固定螺钉（13）与修正主板（6）固定安装在一起。

9.根据权利要求5所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的角度片（7）上开设有台阶（15），台阶（15）抵住修正主板（6）边沿。

10.根据权利要求1所述的IBS真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板（2）设有六个或八个。

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【技术特征摘要】

1.一种ibs真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正装置包括修正板基座（1）和两个以上的修正板（2），两个以上的修正板（2）在修正板基座（1）上称环形均匀分布，修正板（2）安装端端头固定安装在修正板基座（1）上，修正板（2）的修正端头伸出至修正板基座（1）外侧。

2.根据权利要求1所述的ibs真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板基座（1）呈圆形。

3.根据权利要求1所述的ibs真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板基座（1）顶部开设有安装槽（3），安装槽（3）内开设有腰形孔（4），腰形孔（4）处通过第一安装螺钉（5）将相应的修正板（2）安装在修正板基座（1）上。

4.根据权利要求1所述的ibs真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板基座（1）安装在mask电机上，修正板基座（1）通过电机螺钉（16）与mask电机的电机轴固定安装。

5.根据权利要求3所述的ibs真空镀膜均匀性修正装置，其特征是：所述的修正板（2）包括修正主板（6）、角度片（7...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱虹云，陆文，
申请(专利权)人：北极光电深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：