【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及物料供给，尤其涉及一种连续送料装置和控制方法。
技术介绍
1、进料作为生产过程中所有工序的开始，其进料质量和效率将影响着整个生产过程的质量。
2、目前市场上的化学气相沉积(chemical vapor deposition，cvd)反应炉、气相转移沉积(vapor transport deposition，vtd)蒸发工艺，蒸发材料的供给通常是通过固定坩埚料仓进行送料，容量有限，在每次物料消耗完后均需要停机进行加料。
3、由于每次加料均需对上述坩埚料仓等设备进行停机拆卸，使得设备的稼动率降低，同时由于经常拆卸容易导致设备零部件松动，影响设备使用寿命，运行和维护成本增加。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种连续送料装置和控制方法，解决了现有的送料装置在每次加料均需对上述坩埚料仓等设备进行停机拆卸，使得设备的稼动率降低，同时由于经常拆卸容易导致设备零部件松动，影响设备使用寿命，运行和维护成本增加的技术问题。
2、本专利技术提供的一种连续送料装置，包括第一储料机构、第二储料机构、真空抽取机构和储气机构；
3、所述第一储料机构与所述第二储料机构沿垂直方向连接；
4、所述真空抽取机构通过第一管道连接至所述第一储料机构的上部，所述第二储料机构的上部通过第二管道连通至所述第一管道；
5、所述储气机构通过第三管道连接至所述第二管道；
6、所述储气机构通过第四管道经由所述第二储料机构的底部输出端横向
7、在本专利技术的一个示例中，所述第一储料机构的顶端开设有粉料开口，用于注入粉料；所述粉料开口设有可嵌合的顶盖；
8、其中，所述顶盖通过密封夹具进行锁紧。
9、在本专利技术的一个示例中，所述第一储料机构与所述第二储料机构之间设有第一通断阀，用于开合控制所述第一储料机构和所述第二储料机构之间的粉料输送。
10、在本专利技术的一个示例中所述底部输出端还设有调节阀，用于调节所述第二储料机构的粉料输出速率；
11、所述调节阀与所述工艺腔体之间还设有第二通断阀，用于开合控制粉料的导入。
12、在本专利技术的一个示例中，所述第一管道上设有第三通断阀和第四通断阀；
13、所述第二管道的一端连接至所述第三通断阀和所述第四通断阀之间，另一端连接至所述第二储料机构，用于连通所述第一储料机构和第二储料机构直至满足本底真空要求；
14、所述第四通断阀与所述真空抽取机构之间还设有过滤机构。
15、在本专利技术的一个示例中，所述第三管道上还设有第一角阀，用于开合控制所述第二储料机构和所述储气机构之间的连接；
16、所述第二管道上还设有第二角阀，用于当所述第三通断阀开启时，控制所述第一储料机构和所述第二储料机构之间的连接。
17、在本专利技术的一个示例中，所述第四管道上还设有气体流量计，用于实时检测所述储气组件的吹气流量。
18、本专利技术还提供了一种连续送料装置的控制方法，其特征在于，应用于上述任一项所述的连续送料装置，所述方法包括：
19、将粉料注入至第一储料机构；
20、导通第一管道、第二管道和所述第二储料机构的底部输出端，并采用真空抽取机构进行抽真空，直至所述第一储料机构和第二储料机构达到本底真空要求，封闭所述第一管道、所述真空抽取机构和所述底部输出端；
21、导通第三管道，使得储气机构内的工艺气体输送至所述第一储料机构和所述第二储料机构并均调整至大气压，封闭所述第三管道；
22、导通所述第一储料机构和所述第二储料机构之间的连接，使得所述粉料运送至所述第二储料机构，直至所述粉料对应的粉料高度达到指定位置高度；
23、依次导通第四管道和所述底部输出端，使得所述粉料受所述储气机构的工艺气体输送至工艺腔体；
24、当所述粉料高度低于料位警戒值时，导通所述第一储料机构和所述第二储料机构之间的连接，直至所述粉料高度达到指定位置高度。
25、可选地，所述方法还包括：
26、当所述第一储料机构内无粉料时，封闭所述第二管道，并跳转执行所述将粉料注入至第一储料机构的步骤。
27、可选地，所述方法还包括：
28、当所述第一储料机构内无粉料时，封闭所述第二管道，将粉料注入至第一储料机构；
29、导通所述第一管道，以通过所述真空抽取机构对所述第一储料机构进行抽真空直至达到所述本底真空要求，封闭所述第一管道；
30、导通所述第二管道和所述第三管道，以使所述储气机构内的工艺气体输送至所述第一储料机构和所述第二储料机构并均调整至大气压，封闭所述第三管道；
31、跳转执行所述储气机构内的工艺气体输送至所述第一储料机构和所述第二储料机构并均调整至大气压，封闭所述第三管道的步骤。
32、从以上技术方案可以看出，本专利技术具有以下优点：
33、本专利技术提供了一种连续送料装置和控制方法，其装置包括第一储料机构、第二储料机构、真空抽取机构和储气机构；第一储料机构与第二储料机构沿垂直方向连接；真空抽取机构通过第一管道连接至第一储料机构的上部，第二储料机构的上部通过第二管道连通至第一管道；储气机构通过第三管道连接至第二管道；储气机构通过第四管道经由第二储料机构的底部输出端横向连接至工艺腔体。在第一储料机构中注入粉料后，通过各管道上的阀控开闭，实现真空抽取机构对第一储料机构和第二储料机构进行抽真空，通过储气机构调整气压至大气压，再通过第一储料机构将粉料输送至第二储料机构，经由第二储料机构的底部输出端将粉料运送至第四管道，最后经由储气机构提供工艺气体以将粉料吹送至工艺腔体。从而在无需拆卸设备的情况下实现连续送料，有效降低运行和维护成本。
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1.一种连续送料装置，其特征在于，包括第一储料机构、第二储料机构、真空抽取机构和储气机构；
2.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述第一储料机构的顶端开设有粉料开口，用于注入粉料；所述粉料开口设有可嵌合的顶盖；
3.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述第一储料机构与所述第二储料机构之间设有第一通断阀，用于开合控制所述第一储料机构和所述第二储料机构之间的粉料输送。
4.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述底部输出端还设有调节阀，用于调节所述第二储料机构的粉料输出速率；
5.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述第一管道上设有第三通断阀和第四通断阀；
6.根据权利要求5所述的连续送料装置，其特征在于，所述第三管道上还设有第一角阀，用于开合控制所述第二储料机构和所述储气机构之间的连接；
7.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述第四管道上还设有气体流量计，用于实时检测所述储气组件的吹气流量。
8.一种连续送料装置的控制方法，其特征在于，应
9.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述方法还包括：
10.根据权利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述方法还包括：
...【技术特征摘要】
1.一种连续送料装置，其特征在于，包括第一储料机构、第二储料机构、真空抽取机构和储气机构；
2.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述第一储料机构的顶端开设有粉料开口，用于注入粉料；所述粉料开口设有可嵌合的顶盖；
3.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述第一储料机构与所述第二储料机构之间设有第一通断阀，用于开合控制所述第一储料机构和所述第二储料机构之间的粉料输送。
4.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特征在于，所述底部输出端还设有调节阀，用于调节所述第二储料机构的粉料输出速率；
5.根据权利要求1所述的连续送料装置，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯长卫，尚文端，黄夏，
申请(专利权)人：江苏先导微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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