【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空离子镀，较为具体的，涉及到一种偏压电源电流监控系统及其控制电路。
技术介绍
1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。
2、蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
3、偏压电源(bias power supply)是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件，在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压。
4、传统的偏压电源在面对电网波动、过载等情况时，难以保证稳定输出，易受损坏。现有的偏压电源电流监控系统只具备监控设备，但监控到异常后不会作出动作，并不能及时停止程序的运转。
5、因此本专利技术提供一种偏压电源电流监控系统及其控制电路。
技术实现思路
1、有鉴于此，为了解决上述问题，本专利技术提出一种偏压电源电流监控系统及其控制电路，通过信号控制，反馈回路调整，以及温度保护功能，使得监控到电源电流异常后及时报警。
2、一种偏压电源电流监控系统，包括输
3、进一步的，所述输入电源模块包括通讯模块和保护模块，所述保护模块的输出端与所述通讯模块的输入端连接，所述保护模块包括过流保护模块和温度保护模块，过流保护模块采用电流传感器和电流保护器来监测输出电流，并在电流超过设定时切断电源，所述温度保护模块采用温度传感器来监测电路温度，防止过热损坏。
4、进一步的，所述pwm控制模块包括pwm信号生成和调节电路，所述调节电路通过调整频率，实现对电压的调节，频率越高输出电压越稳定。
5、进一步的，所述反馈回路模块，用于检测电路中的故障并反馈，从而提供相应的警报或保护措施，实现输出电压的闭环控制。
6、一种偏压电源电流监控系统的控制电路，所述控制电路包括pwm信号生成、偏置切换电路、报警输出电路、反馈电路，所述pwm信号生成通过偏置切换电路选择切换一条工作电路与报警输出电路的输入端连接，所述报警输出电路用于监测电路异常并输出，所述反馈电路连接报警输出电路的输出端，用于反馈报警输出电路是否正常输出。
7、进一步的，所述pwm信号生成包括供电电源、温度保护器、接触器组件、通讯接口，所述温度保护器设于供电电源与接触器组件之间，所述接触器组件的输出端与通讯接口的输入端连接，所述通讯接口的输出端与所述偏置切换电路的输入端连接，所述温度保护器正常工作时,触点处于闭合状态,当温度达到动作温度时打开触点,切断电路从而起到控温作用，当电器冷却到复位温度时，触点自动闭合，恢复正常工作状态。
8、进一步的，所述接触器组件包括两组接触器开关，其中一组接触器开关为常开状态，另一组接触器开关为常闭状态，设置双重接触器开关用于防止误操作时，常闭的接触器开关打开，保障安全。
9、进一步的，所述报警输出电路通过模块rmio的q0.6的输出控制使用供电电源。
10、进一步的，所述反馈电路通过模块rmio的i1.4确认报警输出电路接通供电电源。
11、进一步的，所述报警输出电路与反馈电路并联，所述报警输出电路设有报警开关和反馈装置，所述反馈电路设有反馈开关，所述反馈装置与反馈开关电性连接。
12、本专利技术的有益效果：本专利技术提出一种偏压电源电流监控系统及其控制电路，包括输入电源模块、pwm控制模块、变频输出模块、反馈回路模块，其特征在于：所述输入电源模块用于接收并处理外部电源供电，所述输入电源模块的输入端连接到电源输出端子，所述输入电源模块的输出端与所述pwm控制模块的输入端连接，所述pwm控制模块利用pwm信号控制输出电压的稳定，所述pwm控制模块的输出端与所述变频输出模块的输入端连接，所述变频输出模块的输出端与所述反馈回路模块的输入端连接，能够有效提高电源的稳定性和可靠性，防止电路过载和过热，延长电源使用寿命。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种偏压电源电流监控系统及其控制电路，包括输入电源模块、PWM控制模块、变频输出模块、反馈回路模块，其特征在于：所述输入电源模块用于接收并处理外部电源供电，所述输入电源模块的输入端连接到电源输出端子，所述输入电源模块的输出端与所述PWM控制模块的输入端连接，所述PWM控制模块利用PWM信号控制输出电压的稳定，所述PWM控制模块的输出端与所述变频输出模块的输入端连接，所述变频输出模块的输出端与所述反馈回路模块的输入端连接。
2.如权利要求1所述的偏压电源电流监控系统，其特征在于：所述输入电源模块包括通讯模块和保护模块，所述保护模块的输出端与所述通讯模块的输入端连接，所述保护模块包括过流保护模块和温度保护模块，过流保护模块采用电流传感器和电流保护器来监测输出电流，并在电流超过设定时切断电源，所述温度保护模块采用温度传感器来监测电路温度，防止过热损坏。
3.如权利要求1所述的偏压电源电流监控系统，其特征在于：所述PWM控制模块包括PWM信号生成和调节电路，所述调节电路通过调整频率，实现对电压的调节，频率越高输出电压越稳定。
4.如权利要求1所述的
5.一种偏压电源电流监控系统的控制电路，所述控制电路包括PWM信号生成、偏置切换电路、报警输出电路、反馈电路，所述PWM信号生成通过偏置切换电路选择切换一条工作电路与报警输出电路的输入端连接，所述报警输出电路用于监测电路异常并输出，所述反馈电路连接报警输出电路的输出端，用于反馈报警输出电路是否正常输出。
6.如权利要求5所述的偏压电源电流监控系统的控制电路，其特征在于：所述PWM信号生成包括供电电源、温度保护器、接触器组件、通讯接口，所述温度保护器设于供电电源与接触器组件之间，所述接触器组件的输出端与通讯接口的输入端连接，所述通讯接口的输出端与所述偏置切换电路的输入端连接，所述温度保护器正常工作时,触点处于闭合状态,当温度达到动作温度时打开触点,切断电路从而起到控温作用，当电器冷却到复位温度时，触点自动闭合，恢复正常工作状态。
7.如权利要求5所述的偏压电源电流监控系统的控制电路，其特征在于：所述接触器组件包括两组接触器开关，其中一组接触器开关为常开状态，另一组接触器开关为常闭状态，设置双重接触器开关用于防止误操作时，常闭的接触器开关打开，保障安全。
8.如权利要求5所述的偏压电源电流监控系统的控制电路，其特征在于：所述报警输出电路通过模块RMIO的Q0.6的输出控制使用供电电源。
9.如权利要求5所述的偏压电源电流监控系统的控制电路，其特征在于：所述反馈电路通过模块RMIO的I1.4确认报警输出电路接通供电电源。
10.如权利要求5所述的偏压电源电流监控系统的控制电路，其特征在于：所述报警输出电路与反馈电路并联，所述报警输出电路设有报警开关和反馈装置，所述反馈电路设有反馈开关，所述反馈装置与反馈开关电性连接。
...【技术特征摘要】
1.一种偏压电源电流监控系统及其控制电路，包括输入电源模块、pwm控制模块、变频输出模块、反馈回路模块，其特征在于：所述输入电源模块用于接收并处理外部电源供电，所述输入电源模块的输入端连接到电源输出端子，所述输入电源模块的输出端与所述pwm控制模块的输入端连接，所述pwm控制模块利用pwm信号控制输出电压的稳定，所述pwm控制模块的输出端与所述变频输出模块的输入端连接，所述变频输出模块的输出端与所述反馈回路模块的输入端连接。
2.如权利要求1所述的偏压电源电流监控系统，其特征在于：所述输入电源模块包括通讯模块和保护模块，所述保护模块的输出端与所述通讯模块的输入端连接，所述保护模块包括过流保护模块和温度保护模块，过流保护模块采用电流传感器和电流保护器来监测输出电流，并在电流超过设定时切断电源，所述温度保护模块采用温度传感器来监测电路温度，防止过热损坏。
3.如权利要求1所述的偏压电源电流监控系统，其特征在于：所述pwm控制模块包括pwm信号生成和调节电路，所述调节电路通过调整频率，实现对电压的调节，频率越高输出电压越稳定。
4.如权利要求1所述的偏压电源电流监控系统，其特征在于：所述反馈回路模块，用于检测电路中的故障并反馈，从而提供相应的警报或保护措施，实现输出电压的闭环控制。
5.一种偏压电源电流监控系统的控制电路，所述控制电路包括pwm信号生成、偏置切换电路、报警输出电路、反馈电路，所述pwm信号生成通过偏置切换电路选择切换一条工作电路与报警输出电...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟亮，邓永琪，梁海洋，邓永宏，吴俊磊，
申请(专利权)人：苏州星蓝纳米技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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