System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 固态拍摄装置及固态拍摄装置的制造方法制造方法及图纸_技高网

固态拍摄装置及固态拍摄装置的制造方法制造方法及图纸

技术编号:42647124 阅读:6 留言:0更新日期:2024-09-06 01:41
实施方式提供能够正确地进行检查的固态拍摄装置。本实施方式的固态拍摄装置具备:半导体基板,具有沿着第1方向配置有多个第1光电二极管的第1区域和沿着所述第1方向配置有多个第2光电二极管的第2区域;以及以覆盖所述第1区域及所述第2区域的方式配置在所述半导体基板上的绝缘膜,在所述绝缘膜,至少在所述多个第1光电二极管中的最靠近所述第2区域的第1端光电二极管与所述多个第2光电二极管中的最靠近所述第1区域的第2端光电二极管之间的中间区域中,设置有将入射到所述第1区域上的所述绝缘膜并去往所述第2区域的光的光路变更的光路变更部。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施方式涉及固态拍摄装置及固态拍摄装置的制造方法


技术介绍

1、在扫描仪等设备中,使用了在预定方向上配置排列有像素的线性图像传感器等固态拍摄装置。在固态拍摄装置中,在构成像素的光电二极管上配置有反射防止膜等绝缘膜。由于该绝缘膜的影响,在光电二极管的光谱(optical spectrum)中有时出现纹波(ripple)。为了抑制这样的纹波,已知在光电二极管上的绝缘膜形成了凹陷的构造。

2、固态拍摄装置通过在半导体晶片(以下简称为“晶片”)形成多个固态拍摄装置(芯片)之后,利用划片进行单片化而制造。相对于此,有时不对形成有多个固态拍摄装置的晶片进行单片化,而保持原样地出厂。在该情况下,在出厂前的品质检查等中,有时入射到一个芯片(chip)的光由于光电二极管上的绝缘膜的上述凹陷而被变更光路,由此向相邻的芯片传播而受光。结果,存在该相邻的芯片的特定的像素的受光灵敏度被评价为比本来的受光灵敏度大的可能性,无法正确地进行品质检查。


技术实现思路

1、专利技术要解决的课题在于,提供能够正确地进行检查的固态拍摄装置及固态拍摄装置的制造方法。

2、本实施方式的固态拍摄装置具备:半导体基板,其具有沿着第1方向配置有多个第1光电二极管的第1区域和沿着所述第1方向配置有多个第2光电二极管的第2区域;以及绝缘膜,其以覆盖所述第1区域及所述第2区域的方式配置在所述半导体基板上,在所述绝缘膜,至少在所述多个第1光电二极管中的最靠近所述第2区域的第1端光电二极管与所述多个第2光电二极管中的最靠近所述第1区域的第2端光电二极管之间的中间区域中,设置有光路变更部,所述光路变更部对入射到所述第1区域上的所述绝缘膜并去往所述第2区域的光的光路进行变更。

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【技术保护点】

1.一种固态拍摄装置,具备:

2.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,

3.根据权利要求2所述的固态拍摄装置,

4.根据权利要求2所述的固态拍摄装置,

5.根据权利要求4所述的固态拍摄装置,

6.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,

7.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,

8.根据权利要求7所述的固态拍摄装置,

9.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,

10.根据权利要求1~9中任一项所述的固态拍摄装置,

11.一种固态拍摄装置的制造方法,包括:

12.根据权利要求11所述的固态拍摄装置的制造方法,

【技术特征摘要】

1.一种固态拍摄装置,具备:

2.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,

3.根据权利要求2所述的固态拍摄装置,

4.根据权利要求2所述的固态拍摄装置,

5.根据权利要求4所述的固态拍摄装置,

6.根据权利要求1所述的固态拍摄装置,

7.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:高桥昌男
申请(专利权)人:株式会社东芝
类型:发明
国别省市:

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