【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体，具体涉及一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮。
技术介绍
1、半导体指的是的问题；
2、经查公开(公告)号：cn203503631u公开了晶圆清洗篮，此技术中公开了“料篮和晶圆花篮，所述的晶圆花篮设置在所述的料篮内，其特征在于所述的料篮内底部一侧的边缘上设有支撑部，所述的支撑部支撑晶圆花篮底部一端，晶圆花篮相对于料篮存在15度的倾角，本技术由于花篮与料篮存在15度的倾角，大大减少晶圆和晶圆花篮贴合的几率，从而导致良率大幅提升”；
3、虽然该设计能够减少晶圆和晶圆花篮贴合的几率，从而导致良率大幅提升，但是该设计结构过于简单，难以对多种尺寸的晶圆进行有效的固定工作，这样的做法就难免会导致该设计使用范围具有局限性，不利于该花篮的广泛应用。
4、为解决上述问题，本申请中提出一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮。
技术实现思路
1、为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，通过调节组件的工作能够有效对调节板以及晶圆格栅之间的间距进行快速调节，能够使该设计使用于各种尺寸不同的晶圆的清洁工作，并且具有较高的稳定性，而通过固定组件的工作能够对调节板的位置进行固定，从而使调节板和晶圆格栅之间的间距得到固定，能够表面在清洁过程中晶圆和调节板之间发生松动的情况发生。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，包括晶圆格栅，还包括设置在晶圆格栅一侧的调节组件，所述调节组件包括花
3、作为本技术一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮优选的，所述花篮本体的表面开设有矩形状的槽。
4、作为本技术一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮优选的，所述滑杆的形状为圆柱状，且所述滑杆共设有两个，并且两个所述滑杆平行设置。
5、作为本技术一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮优选的，所述调节块的表面开设有和所述滑杆相匹配的圆形通孔。
6、作为本技术一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮优选的，还包括设置在晶圆格栅一侧的固定组件，所述固定组件包括定位片、滑条、卡条和定位块，所述定位片固定设置在所述花篮本体的一侧，且所述定位片还和所述滑条固定连接，并且所述滑条还和所述卡条的内表面滑动连接，同时所述卡条还和固定安装在所述调节块表面一侧的所述定位块卡合连接。
7、作为本技术一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮优选的，所述卡条的表面等距开设有矩形状的槽。
8、作为本技术一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮优选的，所述定位块的形状为矩形的立方体。
9、与现有技术相比，本技术的有益效果是：通过调节组件的工作能够有效对调节板以及晶圆格栅之间的间距进行快速调节，能够使该设计使用于各种尺寸不同的晶圆的清洁工作，并且具有较高的稳定性，而通过固定组件的工作能够对调节板的位置进行固定，从而使调节板和晶圆格栅之间的间距得到固定，能够表面在清洁过程中晶圆和调节板之间发生松动的情况发生。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，包括晶圆格栅(1)，其特征在于：还包括设置在晶圆格栅(1)一侧的调节组件(2)，所述调节组件(2)包括花篮本体(21)、滑杆(22)、调节块(23)、传动臂(24)、连接轴(25)和调节板(26)，所述花篮本体(21)的表面设置有和所述调节块(23)滑动连接的所述滑杆(22)，且所述调节块(23)的一侧和所述传动臂(24)的一端旋转连接，并且所述传动臂(24)的另一端旋转连接在所述连接轴(25)的表面上，同时所述连接轴(25)固定安装在所述调节板(26)靠近所述花篮本体(21)一侧的表面上，所述调节板(26)和所述晶圆格栅(1)的内表面滑动连接。
2.根据权利要求1所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述花篮本体(21)的表面开设有矩形状的槽。
3.根据权利要求1所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述滑杆(22)的形状为圆柱状，且所述滑杆(22)共设有两个，并且两个所述滑杆(22)平行设置。
4.根据权利要求1所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述调节块(23)的表面
5.根据权利要求1所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：还包括设置在晶圆格栅(1)一侧的固定组件(3)，所述固定组件(3)包括定位片(31)、滑条(32)、卡条(33)和定位块(34)，所述定位片(31)固定设置在所述花篮本体(21)的一侧，且所述定位片(31)还和所述滑条(32)固定连接，并且所述滑条(32)还和所述卡条(33)的内表面滑动连接，同时所述卡条(33)还和固定安装在所述调节块(23)表面一侧的所述定位块(34)卡合连接。
6.根据权利要求5所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述卡条(33)的表面等距开设有矩形状的槽。
7.根据权利要求5所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述定位块(34)的形状为矩形的立方体。
...【技术特征摘要】
1.一种具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，包括晶圆格栅(1)，其特征在于：还包括设置在晶圆格栅(1)一侧的调节组件(2)，所述调节组件(2)包括花篮本体(21)、滑杆(22)、调节块(23)、传动臂(24)、连接轴(25)和调节板(26)，所述花篮本体(21)的表面设置有和所述调节块(23)滑动连接的所述滑杆(22)，且所述调节块(23)的一侧和所述传动臂(24)的一端旋转连接，并且所述传动臂(24)的另一端旋转连接在所述连接轴(25)的表面上，同时所述连接轴(25)固定安装在所述调节板(26)靠近所述花篮本体(21)一侧的表面上，所述调节板(26)和所述晶圆格栅(1)的内表面滑动连接。
2.根据权利要求1所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述花篮本体(21)的表面开设有矩形状的槽。
3.根据权利要求1所述的具有高兼容性的晶圆清洗用花篮，其特征在于：所述滑杆(22)的形状为圆柱状，且所述滑杆(22)共设有两个，并且两个所述滑杆...
【专利技术属性】
技术研发人员：周云飞，周诗琼，赵要时，钟少凯，
申请(专利权)人：上海格意光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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