半导体净化设备制造技术

技术编号:42642413 阅读:14 留言:0更新日期:2024-09-06 01:38
本技术公开了半导体净化设备,涉及半导体净化技术领域,其技术方案是:包括净化箱,净化箱内部嵌设有过滤板,过滤板与净化箱滑动连接,过滤板内部固定嵌设有过滤网,安装机构,安装机构设于净化箱外侧,安装机构安装于过滤板前后两侧,控制面板,控制面板固定嵌设在净化箱顶部,控制面板设于过滤板一侧,压力传感器,压力传感器固定嵌设在过滤板内部,压力传感器用于感知过滤网的压力,本技术的有益效果是:本技术极大地提高了对过滤网的更换效率,同时本装置采用带压差装置,让设备在达到预设压差时会自动报警,提示客户更换滤网,另外本装置采用液压杆的方式对过滤网进行更换处理,以更加便于使用者将过滤网取出。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体净化,具体涉及半导体净化设备


技术介绍

1、现有净化设备主要是用常规的改装,适配性比较弱,并且很多没办法和设备做到有效联动,从而导致设备气密性差,滤网寿命只能靠单一时间判断,滤网的更换也比较费事。

2、现有设备的适配性差,设备的联动效果差,不能够有效保障设备在合理的风压下工作,并且设备的滤网更换都是根据经验或者时间来判断,科学依据不足;特别是气态污染物的净化持续性弱,前面效果好,但是衰减快,要么提前更换要么生产良品率下降时候才更换,都会导致成本高,同时现有的装置在滤网拆卸安装方面较为麻烦,不便于进行更换处理。


技术实现思路

1、为此,本技术提供半导体净化设备,通过使用者通过控制面板可以关注到压力传感器传送的信号,使用者经过控制面板的数值可以判断是否需要更换过滤网,以解决现有设备的适配性差,设备的联动效果差,不能够有效保障设备在合理的风压下工作,并且设备的滤网更换都是根据经验或者时间来判断,科学依据不足和现有的装置在滤网拆卸安装方面较为麻烦,不便于进行更换处理的问题。

2、为了实现上述目的,本技术提供如下技术方案:半导体净化设备,包括

3、净化箱,所述净化箱内部嵌设有过滤板,所述过滤板与净化箱滑动连接,所述过滤板内部固定嵌设有过滤网;

4、安装机构,所述安装机构设于净化箱外侧,所述安装机构安装于过滤板前后两侧;

5、控制面板,所述控制面板固定嵌设在净化箱顶部,所述控制面板设于过滤板一侧;

6、压力传感器,所述压力传感器固定嵌设在过滤板内部,所述压力传感器用于感知过滤网的压力。

7、优选的,所述安装机构包括两个定位管,两个所述定位管固定连接在净化箱前后两侧,两个所述定位管内部均固定连接有液压杆,两个所述液压杆顶端均固定连接有升降块,两个所述升降块分别设于过滤板前后两侧。

8、优选的,两个所述升降块内端均固定连接有定位块,所述过滤板顶部固定连接有稳定板,所述稳定板前后两侧均开设有定位槽,两个所述定位槽分别与两个定位块相匹配。

9、优选的,两个所述升降块内部均开设有活动槽,两个所述活动槽内部均嵌设有转杆,两个所述转杆分别与两个升降块通过滚动轴承活动连接,两个所述活动槽内部均嵌设有齿轮,两个所述齿轮分别固定套设在两个转杆外侧。

10、优选的,两个所述活动槽内部均嵌设有两个齿板,两个所述齿板分别设于齿轮前后两侧,并分别与两个齿轮啮合连接。

11、优选的,多个所述齿板外端均固定连接有移动杆,多个所述移动杆内端均固定连接有卡接杆,两个所述定位块内部均开设有两个卡接槽,多个所述卡接槽分别贯穿至稳定板两侧外部,多个所述卡接杆分别与多个卡接槽相匹配。

12、优选的,所述控制面板与压力传感器通过电性连接。

13、优选的,所述稳定板底部固定连接有密封圈,所述净化箱顶部开设有密封槽,所述密封圈与密封槽相匹配。

14、优选的,多个所述齿板外端均固定连接有限位条,两个所述活动槽内壁均开设有两个限位槽,多个所述限位条分别与多个限位槽相匹配。

15、优选的,两个所述转杆顶端均固定连接有旋钮。

16、本技术的有益效果是:

17、通过使用者通过控制面板可以关注到压力传感器传送的信号,使用者经过控制面板的数值可以判断是否需要更换过滤网,以解决现有设备的适配性差,设备的联动效果差,不能够有效保障设备在合理的风压下工作,并且设备的滤网更换都是根据经验或者时间来判断,科学依据不足和现有的装置在滤网拆卸安装方面较为麻烦,不便于进行更换处理的问题,本技术极大的提高了对过滤网的更换效率,同时本装置采用带压差装置,让设备在达到预设压差时会自动报警,提示客户更换滤网,另外本装置采用液压杆的方式对过滤网进行更换处理,以更加便于使用者将过滤网取出。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.半导体净化设备,其特征在于:包括

2.根据权利要求1所述的半导体净化设备,其特征在于:所述安装机构包括两个定位管(6),两个所述定位管(6)固定连接在净化箱(1)前后两侧,两个所述定位管(6)内部均固定连接有液压杆(7),两个所述液压杆(7)顶端均固定连接有升降块(8),两个所述升降块(8)分别设于过滤板(2)前后两侧。

3.根据权利要求2所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述升降块(8)内端均固定连接有定位块(9),所述过滤板(2)顶部固定连接有稳定板(10),所述稳定板(10)前后两侧均开设有定位槽(11),两个所述定位槽(11)分别与两个定位块(9)相匹配。

4.根据权利要求3所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述升降块(8)内部均开设有活动槽,两个所述活动槽内部均嵌设有转杆(12),两个所述转杆(12)分别与两个升降块(8)通过滚动轴承活动连接,两个所述活动槽内部均嵌设有齿轮(13),两个所述齿轮(13)分别固定套设在两个转杆(12)外侧。

5.根据权利要求4所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述活动槽内部均嵌设有两个齿板(14),两个所述齿板(14)分别设于齿轮(13)前后两侧,并分别与两个齿轮(13)啮合连接。

6.根据权利要求5所述的半导体净化设备,其特征在于:多个所述齿板(14)外端均固定连接有移动杆(15),多个所述移动杆(15)内端均固定连接有卡接杆(16),两个所述定位块(9)内部均开设有两个卡接槽(17),多个所述卡接槽(17)分别贯穿至稳定板(10)两侧外部,多个所述卡接杆(16)分别与多个卡接槽(17)相匹配。

7.根据权利要求1所述的半导体净化设备,其特征在于:所述控制面板(4)与压力传感器(5)通过电性连接。

8.根据权利要求3所述的半导体净化设备,其特征在于:所述稳定板(10)底部固定连接有密封圈(18),所述净化箱(1)顶部开设有密封槽(19),所述密封圈(18)与密封槽(19)相匹配。

9.根据权利要求5所述的半导体净化设备,其特征在于:多个所述齿板(14)外端均固定连接有限位条(20),两个所述活动槽内壁均开设有两个限位槽,多个所述限位条(20)分别与多个限位槽相匹配。

10.根据权利要求4所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述转杆(12)顶端均固定连接有旋钮(21)。

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【技术特征摘要】

1.半导体净化设备,其特征在于:包括

2.根据权利要求1所述的半导体净化设备,其特征在于:所述安装机构包括两个定位管(6),两个所述定位管(6)固定连接在净化箱(1)前后两侧,两个所述定位管(6)内部均固定连接有液压杆(7),两个所述液压杆(7)顶端均固定连接有升降块(8),两个所述升降块(8)分别设于过滤板(2)前后两侧。

3.根据权利要求2所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述升降块(8)内端均固定连接有定位块(9),所述过滤板(2)顶部固定连接有稳定板(10),所述稳定板(10)前后两侧均开设有定位槽(11),两个所述定位槽(11)分别与两个定位块(9)相匹配。

4.根据权利要求3所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述升降块(8)内部均开设有活动槽,两个所述活动槽内部均嵌设有转杆(12),两个所述转杆(12)分别与两个升降块(8)通过滚动轴承活动连接,两个所述活动槽内部均嵌设有齿轮(13),两个所述齿轮(13)分别固定套设在两个转杆(12)外侧。

5.根据权利要求4所述的半导体净化设备,其特征在于:两个所述活动槽内部均嵌设有两个齿板(14),两个所述齿板(14...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙康
申请(专利权)人:苏州净享空净环保有限公司
类型:新型
国别省市:

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