【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备领域，特别是涉及一种连续蒸镀装置。
技术介绍
1、在工业生产中，对于超大面积薄膜的连续制备，通常是在大型的线源蒸镀设备中实现。线源蒸镀设备既可以快速蒸镀出均匀性的薄膜，又可以在不破坏腔体本底真空的条件下，蒸镀下一片基底，实现连续生产作业。
2、但是，加热装置中的料盒所盛装的原料始终是有限的，当料盒中的原料即将使用完毕时，加热装置停止加热，经过长时间等待冷却后，才能解除腔体的高真空环境，重新对料盒进行加料，在这样的条件下大大降低生产的效率，影响产线的连续性生产。
3、现有技术中也有通过连续加料的方式解决这一问题，然而，连续加料也还是有一个将加入的原料加热的过程，还是会在一定程度上降低生产效率。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述提到的至少一个问题，提供一种连续蒸镀装置。
2、本技术申请提供的连续蒸镀装置，包括控制器、蒸镀腔、气压调节组件和至少两个蒸镀源；所述控制器分别与所述气压调节组件和所述蒸镀源通信连接；
3、所述蒸镀源均设置在所述蒸镀腔的内壁上，所述气压调节组件分别与所述蒸镀源连接，用于分别调整各个所述蒸镀源的真空度；
4、所述蒸镀源包括料仓、料盒和加热装置，所述料仓上设置有第一阀门和第二阀门，所述料仓可通过所述第一阀门与所述蒸镀腔连通，所述第二阀门设置在所述料仓和所述蒸镀腔的内壁上，所述加热装置用于加热设置在所述料仓内的所述料盒。
5、在其中一个实施例中，包括两个蒸镀源，所述气压调节
6、在其中一个实施例中，所述蒸镀源贴合在所述蒸镀腔的侧壁上，所述第二阀门为设置在所述蒸镀腔的侧壁上的真空插板阀，通过所述真空插板阀与所述料仓相通。
7、在其中一个实施例中，所述第一阀门为真空板阀，所述第一阀门设置在所述料仓的顶部。
8、在其中一个实施例中，所述蒸镀源附近的所述蒸镀腔内设置有晶振监测仪，所述晶振监测仪与所述控制器通信连接。
9、在其中一个实施例中，还包括传输机构，所述传输机构设置在所述蒸镀腔内。
10、本技术的实施例中提供的技术方案带来如下有益技术效果：
11、本技术提供的连续蒸镀装置通过在一个蒸镀腔中设置多个相互独立的蒸镀源，其中一个蒸镀源工作时，另外的蒸镀源处于准备状态，更换添加原料并不影响蒸镀腔的正常工作，能够完全实现蒸镀装置的连续加料和连续工作，良好解决蒸镀装置因添加原料而生产效率下降的技术问题。
12、本申请附加的方面和优点将在后续部分中给出，并将从后续的描述中详细得到理解，或通过对本技术的具体实施了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种连续蒸镀装置，其特征在于，包括控制器、蒸镀腔、气压调节组件和至少两个蒸镀源；所述控制器分别与所述气压调节组件和所述蒸镀源通信连接；
2.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，包括两个蒸镀源，所述气压调节组件包括真空泵、连接管和若干个阀门，所述真空泵通过连接管和阀门与两个所述料仓分别连接。
3.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源贴合在所述蒸镀腔的侧壁上，所述第二阀门为设置在所述蒸镀腔的侧壁上的真空插板阀，通过所述真空插板阀与所述料仓相通。
4.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，所述第一阀门为真空板阀，所述第一阀门设置在所述料仓的顶部。
5.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源附近的所述蒸镀腔内设置有晶振监测仪，所述晶振监测仪与所述控制器通信连接。
6.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，还包括传输机构，所述传输机构设置在所述蒸镀腔内。
【技术特征摘要】
1.一种连续蒸镀装置，其特征在于，包括控制器、蒸镀腔、气压调节组件和至少两个蒸镀源；所述控制器分别与所述气压调节组件和所述蒸镀源通信连接；
2.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，包括两个蒸镀源，所述气压调节组件包括真空泵、连接管和若干个阀门，所述真空泵通过连接管和阀门与两个所述料仓分别连接。
3.根据权利要求1所述的连续蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀源贴合在所述蒸镀腔的侧壁上，所述第二阀门为设置在所述蒸...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹林东，吴春钦，梁作，马昆松，
申请(专利权)人：深圳无限光能技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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