【技术实现步骤摘要】
本技术涉及皮带传动，尤其涉及一种皮带张紧机构及异质结cvd设备。
技术介绍
1、皮带张紧机构是用于撑紧皮带以调整皮带预紧力的结构，皮带张紧机构能够保证皮带的可靠运转。
2、现有皮带张紧机构一般在机架上加工安装孔，直接固定在机架上，例如异质结cvd设备中，传输皮带用于带动腔体内的载板进行移动，张紧机构固定在腔体的安装孔内。这种结构存在如下缺陷：第一，机架一般尺寸较大，翻转定位不易，安装孔加工不便；第二，张紧机构一般数量较多，若加工错误，修补成本高；第三，张紧机构安装完毕后，其对皮带的预紧力难以调节。
技术实现思路
1、为克服现有皮带张紧机构存在的安装结构加工不便、修补成本高以及对皮带的预紧力难以调节的技术缺陷，本技术提供了一种皮带张紧机构及异质结cvd设备。
2、本技术提供的皮带张紧机构，包括：
3、安装架，其包括固定圈和延伸臂，所述固定圈适于固定套接在皮带轮轴上且由两个半圈可拆卸拼接而成，所述延伸臂固定在其中一个半圈的外圆面上且向远离所述固定圈的方向延伸；
4、张紧轴，其连接在所述延伸臂远离所述固定圈的端部且与所述固定圈的轴线平行；
5、张紧轮，其安装在所述张紧轴上。
6、本技术提供的皮带张紧机构的工作原理如下：
7、安装时，首先拆卸两个半圈，将两个半圈分别卡接在皮带轮轴上且对拼形成整圆，根据皮带位置调节半圈的轴向位置，根据所需皮带的张紧力调节半圈的周向角度，调节至合适位置后组装两个半圈形成固定圈，
8、可选的，所述半圈的两端皆向外延伸有连接耳，两个半圈通过插装在所述连接耳内的紧固件可拆卸连接。
9、可选的，所述延伸臂沿所述固定圈的径向布置。
10、可选的，所述延伸臂与对应的半圈一体成型。
11、可选的，所述张紧轴固定连接在所述延伸臂上，所述张紧轮转动安装在所述张紧轴上。
12、可选的，所述张紧轴适于连接延伸臂的端部设有定位台阶，所述延伸臂远离所述固定圈的端部套接在所述张紧轴上且一侧抵接所述定位台阶、另一侧通过螺母锁紧。
13、可选的，所述张紧轮通过轴承转动安装在所述张紧轴上。
14、可选的，所述张紧轴上开设有两个环形卡槽，所述环形卡槽内皆设有轴用挡圈，所述轴承的内圈轴向两侧分别通过两个轴用挡圈限位。
15、可选的，所述张紧轮的内圆面一端设有环形凸圈、另一端设有环形凹槽，所述环形凹槽内设有孔用挡圈，所述轴承的外圈轴向两侧分别通过所述环形凸圈和孔用挡圈限位。
16、本技术提供的异质结cvd设备，包括：
17、腔体；
18、皮带轮组件，其设有多套，每套皮带轮组件皆包括皮带轮轴和皮带轮，所述皮带轮轴固定在所述腔体的外侧，所述皮带轮转动安装在所述皮带轮轴上，至少一套皮带轮组件的皮带轮轴上安装有前述的皮带张紧机构；
19、皮带，其绕装在所有皮带轮和张紧轮上。
20、本技术提供的技术方案与现有技术相比具有如下优点：
21、本技术提供的皮带张紧机构，设有安装架、张紧轴和张紧轮，安装架包括固定圈和延伸臂，固定圈由两个半圈可拆卸拼接而成。本皮带张紧机构通过固定圈能够安装在皮带轮轴上，不需在机架上开设安装孔，避免安装孔加工存在的不便；同时，固定圈由两个半圈可拆卸拼接而成，松开两个半圈后旋转半圈能够实现张紧轮相对皮带的位置调节，从而实现对皮带预紧力的调节；再者，本结构不需破坏皮带轮轴原有结构，实用性更强。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种皮带张紧机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述半圈（111）的两端皆向外延伸有连接耳（112），两个半圈（111）通过插装在所述连接耳（112）内的紧固件（113）可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述延伸臂（12）沿所述固定圈（11）的径向布置。
4.根据权利要求3所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述延伸臂（12）与对应的半圈（111）一体成型。
5.根据权利要求1至4任一项所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轴（2）固定连接在所述延伸臂（12）上，所述张紧轮（3）转动安装在所述张紧轴（2）上。
6.根据权利要求5所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轴（2）适于连接延伸臂（12）的端部设有定位台阶（21），所述延伸臂（12）远离所述固定圈（11）的端部套接在所述张紧轴（2）上且一侧抵接所述定位台阶（21）、另一侧通过螺母（22）锁紧。
7.根据权利要求5所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轮（3）通过轴承（4）转动安
8.根据权利要求7所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轴（2）上开设有两个环形卡槽（23），所述环形卡槽（23）内皆设有轴用挡圈，所述轴承（4）的内圈轴向两侧分别通过两个轴用挡圈限位。
9.根据权利要求8所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轮（3）的内圆面一端设有环形凸圈（31）、另一端设有环形凹槽（32），所述环形凹槽（32）内设有孔用挡圈，所述轴承（4）的外圈轴向两侧分别通过所述环形凸圈（31）和孔用挡圈限位。
10.一种异质结CVD设备，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种皮带张紧机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述半圈（111）的两端皆向外延伸有连接耳（112），两个半圈（111）通过插装在所述连接耳（112）内的紧固件（113）可拆卸连接。
3.根据权利要求1所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述延伸臂（12）沿所述固定圈（11）的径向布置。
4.根据权利要求3所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述延伸臂（12）与对应的半圈（111）一体成型。
5.根据权利要求1至4任一项所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轴（2）固定连接在所述延伸臂（12）上，所述张紧轮（3）转动安装在所述张紧轴（2）上。
6.根据权利要求5所述的皮带张紧机构，其特征在于，所述张紧轴（2）适于连接延伸臂（12）的端部设有定位台阶（21），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：卫晓冲，宋沛毅，曾晓斌，朱江江，康冬妮，王敏，史健玮，
申请(专利权)人：西北电子装备技术研究所中国电子科技集团公司第二研究所，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。