【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体技术、芯片测试技术和设备检测技术，尤其是一种设备自检方法、系统、设备、介质、产品。
技术介绍
1、芯片测试是通过芯片测试设备对芯片或晶圆的参数、功能和性能进行检测。为保障芯片测试设备的正常运行，以保证对芯片检测结果的准确性，需要在芯片测试设备进行芯片测试前，对芯片测试设备进行自检，以发现芯片测试设备的潜在故障并处理。
2、在实现本申请的过程中，通过研究发现，在相关技术中，芯片测试设备需要在完全上电(即对芯片测试设备中所有器件上电)后才能进行自检，然则可能由于芯片测试设备中某些器件故障无法上电或上电后无法正常工作，从而导致芯片测试设备无法进行自检，进而使得芯片测试设备后续无法正常工作，或者导致芯片测试设备中的其他器件损坏。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，本公开实施例提供了一种设备自检方法、系统、设备、介质、产品。
2、本公开实施例的一个方面，提供了一种设备自检方法，应用于芯片测试设备，所述芯片测试设备包括电气柜组件和测试头，所述方法包括：控制第一器件组上电后进行自检，以及控制对所述电气柜组件的上电环境和所述测试头的上电环境进行检测，所述第一器件组包括：所述电气柜组件中的器件，以及所述测试头中符合预设第一上电条件的器件；响应于所述第一器件组通过自检，且所述电气柜组件的上电环境和所述测试头的上电环境均通过检测，控制第二器件组上电后进行自检，得到所述第二器件组是否通过自检的结果，所述第二器件组包括：所述测试头中符合预设第二上电条件的器件。<...
【技术保护点】
1.一种设备自检方法，其特征在于，应用于芯片测试设备，所述芯片测试设备包括电气柜组件和测试头，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一器件组包括：所述电气柜组件中的冷却机、风扇、整机管理控制板卡和测试头供电板卡，以及所述测试头中的冷却机、风扇、整机管理控制板卡和用户接口控制单元；
4.根据权利要求1-3任一所述的方法，其特征在于，所述控制第一器件组上电后进行自检，以及控制对所述电气柜组件的上电环境和所述测试头的上电环境进行检测之后，还包括：
5.根据权利要求1-4任一所述的方法，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1-5任一所述的方法，其特征在于，所述芯片测试设备还包括诊断平台，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：
8.根据权利要求6或7所述的方法，其特征在于，还包括：
9.一种设备自检系统，其特征在于，应用于芯片测试设备，所述芯片测试设备包括：电气柜组件和测试头，所述设
10.一种芯片测试设备，包括电气柜组件和测试头，所述芯片测试设备中包括权利要求9中所述的设备自检系统。
11.根据权利要求10所述的设备，其特征在于，所述芯片测试设备中还包括：诊断平台，所述诊断平台包括：
12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述诊断平台还包括：
13.一种电子设备，其特征在于，包括：
14.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时，实现上述权利要求1-8任一所述的方法。
15.一种计算机程序产品，包括计算机程序指令，其特征在于，该计算机程序指令被处理器执行时实现上述权利要求1-8任一所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种设备自检方法，其特征在于，应用于芯片测试设备，所述芯片测试设备包括电气柜组件和测试头，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：
3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述第一器件组包括：所述电气柜组件中的冷却机、风扇、整机管理控制板卡和测试头供电板卡，以及所述测试头中的冷却机、风扇、整机管理控制板卡和用户接口控制单元；
4.根据权利要求1-3任一所述的方法，其特征在于，所述控制第一器件组上电后进行自检，以及控制对所述电气柜组件的上电环境和所述测试头的上电环境进行检测之后，还包括：
5.根据权利要求1-4任一所述的方法，其特征在于，还包括：
6.根据权利要求1-5任一所述的方法，其特征在于，所述芯片测试设备还包括诊断平台，所述方法还包括：
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：
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【专利技术属性】
技术研发人员：乔灵康，艾林，沈晨烨，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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