一种ALD设备的载具结构制造技术

本技术公开了一种ALD设备的载具结构，其包括舟体与喷淋结构，喷淋结构包括安装在舟体前侧的喷淋板，喷淋板上具有密集分布的喷气口；喷淋结构还包括安装在舟体的旁板上的气道，以及安装在舟体的尾部的对接进气口；气道上阵列排布有多个补气喷头。本技术中，第一方面，喷淋板的位置安装相比于安装在炉门上更为合理且方便维护；第二方面，将对接进气口设置在舟尾，可以便于接入反应气体，实际使用时，在镀膜炉的尾部设置对接口，对接口连接供气装置，如此，载具结构完全进入镀膜炉内后，对接进气口即与对接口对接；第三方面，通过在气道上设置补气喷头，可以实现对舟体的中部以及尾部进行补气，使得供气更为均匀，可以保证镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及ald设备配件，特别是涉及一种ald设备的载具结构。

技术介绍

1、晶硅电池的制备过程中需要在硅片等衬底上沉积各种薄膜材料，这种过程需要用到ald设备，ald设备内具有镀膜腔室，作业时，将硅片放入镀膜腔室，向镀膜腔室内导入反应气体，反应气体在硅片表面沉积即可形成镀膜层。现有技术中，一般将供气系统设置在ald设备的炉门上，如cn 215288961 u所示，这类炉门进气的方案的缺点在于，喷淋系统的维护不方便，且进气位置过于集中在腔室的前端，进气不均匀，当镀膜腔室的深度较深需要进行较大批量的镀膜作业时，由于进气的不均匀性，会影响镀膜作业的质量。

技术实现思路

1、专利技术目的：为了克服现有技术中存在的不足，本技术提供一种喷淋结构设计合理，供气均匀的ald设备的载具结构。

2、技术方案：为实现上述目的，本技术的ald设备的载具结构，其包括舟体与喷淋结构，所述喷淋结构包括安装在所述舟体前侧的喷淋板，所述喷淋板上具有密集分布的喷气口；所述喷淋结构还包括安装在所述舟体的旁板上的气道，以及安装在所述舟体的尾部的对接进气口；所述气道上阵列排布有多个补气喷头。

3、进一步地，所述舟体的前侧具有前侧板，所述前侧板上具有镂空孔，所述喷淋板固定在所述前侧板的前端，且所述喷气口朝向后侧。如此，可以防止装载硅片载板的过程中碰到喷淋板，可以防止喷淋板意外损坏，且通过设置具有大面积镂空结构的前侧板，可以保证喷淋板喷出的反应气体不受遮挡影响，保证供气均匀。

4、进一步地，在第一种方案中，所述气道固定在所述旁板的外侧，且所述旁板上对应于所述补气喷头的位置形成有让位孔，所述补气喷头伸入所述让位孔内。

5、进一步地，在第二种方案中，所述气道形成在所述旁板之内，且所述补气喷头安装在所述旁板的内壁上。

6、进一步地，所述舟体的内部设置有载板固定机构，所述载板固定机构包括成对设置的齿板，所述齿板的端面上设置有供硅片载板的边缘嵌入的齿槽，每个所述齿板上均形成有多个直线阵列排布的齿槽。装有硅片的硅片载板的两侧边缘分别嵌入齿槽中，可以实现硅片载板的层叠摆放，且相邻硅片载板之间具有间隙，如此，可以一次批量地对较多的硅片进行镀膜作业。

7、进一步地，所述旁板上形成有镂空孔。如此，可以避免旁板对反应气体的流动产生影响，保证镀膜质量。

8、有益效果：本技术的第一方面，将喷淋板安装在舟体的前侧，喷淋板的位置安装相比于安装在炉门上更为合理且方便维护；第二方面，将对接进气口设置在舟尾，可以便于接入反应气体，实际使用时，在镀膜炉的尾部设置与对接进气口对接的对接口，且对接口连接供应反应气体的供气装置，如此，载具结构完全进入镀膜炉内后，对接进气口即与对接口对接，供气装置供应的反应气体可以从喷淋板溢出，进入镀膜炉内；第三方面，通过在气道上设置补气喷头，可以实现对舟体的中部以及尾部进行补气，使得供气更为均匀，可以保证镀膜质量。

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【技术保护点】

1.一种ALD设备的载具结构，其特征在于，其包括舟体(1)与喷淋结构(2)，所述喷淋结构(2)包括安装在所述舟体(1)前侧的喷淋板(21)，所述喷淋板(21)上具有密集分布的喷气口(22)；所述喷淋结构(2)还包括安装在所述舟体(1)的旁板(11)上的气道(25)，以及安装在所述舟体(1)的尾部的对接进气口(23)；所述气道(25)上阵列排布有多个补气喷头(24)。

2.根据权利要求1所述的ALD设备的载具结构，其特征在于，所述舟体(1)的前侧具有前侧板(12)，所述前侧板(12)上具有镂空孔，所述喷淋板(21)固定在所述前侧板(12)的前端，且所述喷气口(22)朝向后侧。

3.根据权利要求1所述的ALD设备的载具结构，其特征在于，所述气道(25)固定在所述旁板(11)的外侧，且所述旁板(11)上对应于所述补气喷头(24)的位置形成有让位孔，所述补气喷头(24)伸入所述让位孔内。

4.根据权利要求1所述的ALD设备的载具结构，其特征在于，所述气道(25)形成在所述旁板(11)之内，且所述补气喷头(24)安装在所述旁板(11)的内壁上。

<p>5.根据权利要求1所述的ALD设备的载具结构，其特征在于，所述舟体(1)的内部设置有载板固定机构(3)，所述载板固定机构(3)包括成对设置的齿板(31)，所述齿板(31)的端面上设置有供硅片载板的边缘嵌入的齿槽，每个所述齿板(31)上均形成有多个直线阵列排布的齿槽。

6.根据权利要求1所述的ALD设备的载具结构，其特征在于，所述旁板(11)上形成有镂空孔。

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【技术特征摘要】

1.一种ald设备的载具结构，其特征在于，其包括舟体(1)与喷淋结构(2)，所述喷淋结构(2)包括安装在所述舟体(1)前侧的喷淋板(21)，所述喷淋板(21)上具有密集分布的喷气口(22)；所述喷淋结构(2)还包括安装在所述舟体(1)的旁板(11)上的气道(25)，以及安装在所述舟体(1)的尾部的对接进气口(23)；所述气道(25)上阵列排布有多个补气喷头(24)。

2.根据权利要求1所述的ald设备的载具结构，其特征在于，所述舟体(1)的前侧具有前侧板(12)，所述前侧板(12)上具有镂空孔，所述喷淋板(21)固定在所述前侧板(12)的前端，且所述喷气口(22)朝向后侧。

3.根据权利要求1所述的ald设备的载具结构，其特征在于，所述气道(25)固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张良，陈颖敏，
申请(专利权)人：苏州金沐智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：