【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体或光伏材料加工领域，具体涉及一种炉门调节机构、炉门机构以及加工设备。
技术介绍
1、目前，半导体材料或光伏材料通常送入反应炉进行加工，在运输半导体或光伏材料时，通常由桨结构承载待加工材料，通过控制桨结构运动，将待加工材料送入或送出反应炉。桨结构上设置有反应炉的炉门，在将待加工材料送入反应炉后，需要使炉门密封反应炉的炉口。由于反应炉的密封性对产品加工质量具有较大的影响，炉门是否能与炉口稳定紧密地贴合十分重要。
2、相关技术只能调节炉门的俯仰角，无法调节炉门的左右摆动的角度，即，在炉门竖直放置的情况下，相关技术只能调节炉门绕水平轴线转动的角度，无法调节炉门绕竖直轴线转动的角度，使得炉门难以精准贴合炉口，从而使反应炉密封性较差，降低了工艺质量。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题，提出了本申请。本申请实施例提供了一种炉门调节机构、炉门机构以及加工设备。
2、第一方面，本申请一实施例提供了一种炉门调节机构，连接炉门和炉门承载机构，被配置为调节炉门的位置；其中，炉门调节机构包括：支撑架组件，与炉门承载机构连接；至少两根调节杆，至少两根调节杆在与竖直平面交叉的平面上间隔设置，每一调节杆能够沿调节杆的长度方向，靠近或远离支撑架组件，调节杆远离支撑架组件的端部与炉门可转动连接；锁紧组件，与支撑架组件和调节杆可拆卸连接，锁紧组件用于锁紧支撑架组件与调节杆，以固定支撑架组件与调节杆之间的相对位置。
3、在一些实施例中，支撑架组件包括：支撑轴，沿竖
4、在一些实施例中，横杆还具有沿水平方向延伸的至少两个第二通孔，至少两个第二通孔设置于第一通孔的两侧，至少两根调节杆分别穿过至少两个第二通孔；其中，锁紧组件包括：多个子锁紧结构，每一调节杆上套设有至少两个子锁紧结构，其中，一个子锁紧结构位于横杆的靠近炉门的一侧，另一子锁紧结构位于横杆的远离炉门的一侧，并与横杆的远离炉门的一侧抵接；炉门调节机构还包括：至少两个弹性件，分别套装在至少两根调节杆上，弹性件的第一端与一个子锁紧结构抵接，弹性件的第二端与横杆的靠近炉门的一侧抵接。
5、在一些实施例中，子锁紧结构包括：锁紧环，套装于调节杆上，锁紧环具有开口，以使锁紧环形成开环结构，锁紧环还具有第一螺纹部和第二螺纹部，第一螺纹部和第二螺纹部分别位于开口的两侧；锁紧螺栓，与第一螺纹部和第二螺纹部螺接。
6、在一些实施例中，炉门调节机构还包括：至少两个万向节，万向节包括球座和球体，球座包括容纳腔；其中，球座与炉门连接，调节杆远离支撑架组件的端部与球体连接，球体设置于容纳腔中。
7、第二方面，本申请一实施例提供了一种炉门机构，包括：如上述第一方面中任一的炉门调节机构；炉门，与炉门调节机构可转动连接。
8、在一些实施例中，炉门包括：弧形板，与调节杆的远离支撑架组件的端部可转动连接；平面板，与弧形板连接，且弧形板与平面板之间形成腔室，平面板具有透气孔。
9、第三方面，本申请一实施例提供了一种加工设备，包括：反应炉，具有工艺腔室和与工艺腔室连通的炉口，被配置为对片状材料进行加工；如上述第二方面中任一的炉门调节机构；炉门，与炉门调节机构可转动连接，被配置为封闭炉口；炉门承载机构，与炉门调节机构连接，被配置为承载炉门调节机构和炉门。
10、在一些实施例中，加工设备还包括：桨结构，包括相互连接的桨柄和桨叶，桨叶被配置为承载舟托或舟结构；承载件，具有承载框，桨柄穿入承载框，以使承载件承载桨结构；桨套，套设于桨柄和承载件外，与炉门承载机构连接，其中，桨套具有第三螺纹部；螺钉，与第三螺纹部螺接，并与承载件抵接。
11、在一些实施例中，炉门具有第三通孔，桨柄穿过第三通孔；加工设备还包括：波纹管组件，套装于桨柄上，波纹管组件的一端与桨套连接，波纹管组件的另一端与炉门连接，波纹管组件被配置为密封第三通孔；通道挡板，与桨柄连接，设置于炉门的远离桨套的一侧，被配置为阻挡工艺腔室发出的热辐射。
12、本申请实施例提供的炉门调节机构、炉门机构以及加工设备，通过沿调节杆的长度方向，调节一个或多个调节杆靠近或远离支撑架组件，在炉门竖直放置的情况下，可以调节炉门绕竖直轴线转动的角度，从而可以灵活调节炉门的姿态，使炉门与反应炉的炉口能够紧密贴合，提升了反应炉的密封性，从而可以提升工艺质量。
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1.一种炉门调节机构，其特征在于，连接炉门和炉门承载机构，被配置为调节所述炉门的位置；
2.根据权利要求1所述的炉门调节机构，其特征在于，所述支撑架组件包括：
3.根据权利要求2所述的炉门调节机构，其特征在于，所述横杆还具有沿水平方向延伸的至少两个第二通孔，至少两个所述第二通孔设置于所述第一通孔的两侧，至少两根所述调节杆分别穿过至少两个所述第二通孔；
4.根据权利要求3所述的炉门调节机构，其特征在于，所述子锁紧结构包括：
5.根据权利要求1至4任一项所述的炉门调节机构，其特征在于，所述炉门调节机构还包括：
6.一种炉门机构，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的炉门机构，其特征在于，所述炉门包括：
8.一种加工设备，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的加工设备，其特征在于，还包括：
10.根据权利要求9所述的加工设备，其特征在于，所述炉门具有第三通孔，所述桨柄穿过所述第三通孔；
【技术特征摘要】
1.一种炉门调节机构，其特征在于，连接炉门和炉门承载机构，被配置为调节所述炉门的位置；
2.根据权利要求1所述的炉门调节机构，其特征在于，所述支撑架组件包括：
3.根据权利要求2所述的炉门调节机构，其特征在于，所述横杆还具有沿水平方向延伸的至少两个第二通孔，至少两个所述第二通孔设置于所述第一通孔的两侧，至少两根所述调节杆分别穿过至少两个所述第二通孔；
4.根据权利要求3所述的炉门调节机构，其特征在于，所述子锁紧结构包...
【专利技术属性】
技术研发人员：万林，朱太荣，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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