System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构制造技术_技高网

一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构制造技术

技术编号:42599514 阅读:30 留言:0更新日期:2024-09-03 18:11
本发明专利技术属于芯片加工技术领域,具体为一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,包括升降台,升降台的底部固定连接有升降气缸,升降台为空心结构,升降台的顶部开设有多个均布的出风孔,升降台的底部两侧均固定连通有离子风管,离子风管和升降台的内腔连通,升降台的内腔和出风孔连通,离子风管的外端和离子风机连通,升降台的顶部两侧均固定有挡板。本发明专利技术的离子风与气缸振动的双重作用,可以防止芯片因为静电吸附作用而吸附在Tray盘上,避免后续Tray盘翻转过程中芯片因为静电吸附而掉落损坏的异常发生。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片加工,具体为一种防止芯片静电吸附tray盘的升降台结构。


技术介绍

1、目前,现有的升降台结构主要为平板结构,即一块光板直接与tray盘进行接触,当芯片因为静电作用吸附在tray盘上时,光板结构的升降台很难消除这种静电吸附作用,从而导致后续tray盘在进行翻转时,芯片因为静电吸附作用吸附在tray盘上而发生掉落损坏的问题;

2、为此,提供了一种防止芯片静电吸附tray盘的升降台结构,实现了防止芯片因为静电吸附在tray盘上的功能,提高了产品品质良率。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种防止芯片静电吸附tray盘的升降台结构,旨在解决所述
技术介绍
中现有的光板升降台结构无法消除芯片静电吸附作用而产生后续芯片掉落损坏的产品良率较低的问题。

2、为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种防止芯片静电吸附tray盘的升降台结构,包括升降台,所述升降台的底部固定连接有升降气缸,所述升降台为空心结构,所述升降台的顶部开设有多个均布的出风孔,所述升降台的底部两侧均固定连通有离子风管,所述离子风管和升降台的内腔连通,所述升降台的内腔和出风孔连通,所述离子风管的外端和离子风机连通,所述升降台的顶部两侧均固定有挡板,所述升降气缸的侧壁固定有控制器。

3、通过采用上述技术方案,在实际使用时,利用升降气缸能够带动升降台垂直往上移动,当升降台接触到装有芯片的tray盘后,离子风管能够将离子风导向升降台的空腔,,随后离子风从升降台上表面的出风孔导出,离子风直接会接触到tray盘以及tray盘内的芯片,对发生静电吸附作用的芯片进行静电消散,防止芯片吸附在tray盘上,并且利用两侧的挡板能够对tray盘限位,可以确保tray盘在垂直方向上移动后,不会发生水平的偏移。

4、作为本专利技术的一种优选实施方式,所述升降气缸的缸体上表面固定有距离传感器,所述距离传感器的信号输出端和控制器的信号输入端连接,所述控制器的信号输出端和外界的离子风机连通。

5、通过采用上述技术方案,从而能够利用距离传感器对升降台升降的高度进行监测,当升降台抬升至指定位置后能够自动启动离子风机,从而使得产生离子风导入离子风管内供使用。

6、作为本专利技术的一种优选实施方式,所述挡板的内侧壁两侧均开设有圆孔,所述圆孔的内腔固定有横向气缸,所述横向气缸的外端固定连接有推板,控制器的信号输出端和横向气缸的信号输入端连接。

7、通过采用上述技术方案,从而能够利用距离传感器对升降台升降的高度进行监测,当升降台抬升至指定位置后能够自动启动横向气缸带动推板外移,利用两侧的推板轻微的往复推动tray盘,往复推动tray盘使得tray盘和芯片之间产生振动,从而可以帮助芯片消除或者减弱芯片吸附tray盘的影响,使得芯片与tray盘不会处于一个互相吸附的状态。

8、作为本专利技术的一种优选实施方式,所述推板的外壁固定胶合有适配的橡胶垫。

9、通过采用上述技术方案,橡胶垫的设置,在推动tray盘移动时能够避免对tray盘造成磨损的情况发生。

10、作为本专利技术的一种优选实施方式,所述升降气缸的两侧壁两侧均固定有安装板,所述安装板的表面开设有安装孔。

11、通过采用上述技术方案,安装板以及安装孔的设置,使得方便对装置整体进行安装固定。

12、与现有技术相比,本专利技术的有益效果如下:

13、本专利技术的离子风与气缸振动的双重作用,可以防止芯片因为静电吸附作用而吸附在tray盘上,避免后续tray盘翻转过程中芯片因为静电吸附而掉落损坏的异常发生;

14、本专利技术的伸缩气缸振动设计,可以帮助芯片消除或者减弱芯片吸附tray盘的影响,使得芯片与tray盘不会处于一个互相吸附的状态;

15、本专利技术的tray盘挡块设计,可以确保tray盘在垂直方向上移动后,不会发生水平的偏移;

16、通过距离传感器能够监测升降台抬升的高度,从而在抬升至指定高度对tray盘进行承载时,能够自动启动外接的离子风机鼓风导向离子风管内,并且通过启动横向气缸进行推动tray盘进行往复移动,自动化的操作,进一步的提升了使用效果。

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【技术保护点】

1.一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,包括升降台(1),其特征在于:所述升降台(1)的底部固定连接有升降气缸(12),所述升降台(1)为空心结构,所述升降台(1)的顶部开设有多个均布的出风孔(11),所述升降台(1)的底部两侧均固定连通有离子风管(13),所述离子风管(13)和升降台(1)的内腔连通,所述升降台(1)的内腔和出风孔(11)连通,所述离子风管(13)的外端和离子风机连通,所述升降台(1)的顶部两侧均固定有挡板(2),所述升降气缸(12)的侧壁固定有控制器(15)。

2.根据权利要求1所述的一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,其特征在于:所述升降气缸(12)的缸体上表面固定有距离传感器(14),所述距离传感器(14)的信号输出端和控制器(15)的信号输入端连接,所述控制器(15)的信号输出端和外界的离子风机连通。

3.根据权利要求1所述的一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,其特征在于:所述挡板(2)的内侧壁两侧均开设有圆孔(21),所述圆孔(21)的内腔固定有横向气缸(22),所述横向气缸(22)的外端固定连接有推板(23),控制器(15)的信号输出端和横向气缸(22)的信号输入端连接。

4.根据权利要求3所述的一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,其特征在于:所述推板(23)的外壁固定胶合有适配的橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种防止芯片静电吸附Tray盘的升降台结构,其特征在于:所述升降气缸(12)的两侧壁两侧均固定有安装板(16),所述安装板(16)的表面开设有安装孔。

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【技术特征摘要】

1.一种防止芯片静电吸附tray盘的升降台结构,包括升降台(1),其特征在于:所述升降台(1)的底部固定连接有升降气缸(12),所述升降台(1)为空心结构,所述升降台(1)的顶部开设有多个均布的出风孔(11),所述升降台(1)的底部两侧均固定连通有离子风管(13),所述离子风管(13)和升降台(1)的内腔连通,所述升降台(1)的内腔和出风孔(11)连通,所述离子风管(13)的外端和离子风机连通,所述升降台(1)的顶部两侧均固定有挡板(2),所述升降气缸(12)的侧壁固定有控制器(15)。

2.根据权利要求1所述的一种防止芯片静电吸附tray盘的升降台结构,其特征在于:所述升降气缸(12)的缸体上表面固定有距离传感器(14),所述距离传感器(14)的信号输出端和控制器(15)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:龚高鹏王思芳
申请(专利权)人:沛顿科技深圳有限公司
类型:发明
国别省市:

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