MEMS谐振器制造技术

本申请公开了一种MEMS谐振器，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极和第二电极；环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有连接梁，至少一连接梁与一位于环形阵列内的锚固件固定连接，每个环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将环形阵列包围并与环形谐振子间隙设置；通过走线层的第一走线串联起各个第一电极，第二走线串联起各个第二电极，第三走线与锚固件连接，并且，第一走线被第二走线包围，减少了引线之间的相互交叉和干扰，降低了MEMS谐振器的走线难度，降低了走线的复杂性，便于MEMS谐振器的集成化设计。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及微机电系统，特别是涉及一种mems谐振器。

技术介绍

1、mems谐振器是一种微型机电系统(mems)设备，用于产生稳定的振荡信号。它通常由微型机械结构和电子电路组成，可以在很宽的频率范围内产生高精度的振荡信号。

2、在一些情形下，mems谐振器内部引线复杂，造成mems谐振器无法进行小型化，也增大了器件大规模集成的难度。

技术实现思路

1、本申请提供一种mems谐振器，旨在改善mems谐振器内部引线，降低mems谐振器的小型化难度。

2、为实现上述技术效果，本申请采用的一个技术方案是提供一种mems谐振器，其包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；

3、所述走线层包括串联起各个第一电极的第一走线、串联起各个第二电极的第二走线以及与所述锚固件连接的第三走线，其中，所述第一走线、第二走线、第三走线错位设置，并且，所述第一走线被所述第二走线包围。

4、优选地，所述走线层还包括分设于四角的驱动端子、感测端子、偏置端子以及接地端子；其中，所述第一走线和所述第二走线中的一者与所述驱动端子电信号连接，另一者与所述感测端子电信号连接，所述第三走线与所述偏置端子电信号连接，所述接地端子用于接地。

5、优选地，所述感测端子和所述驱动端子分别位于所述走线层的两个对角部位。

6、优选地，所述环形谐振子的数量为十二个，每一所述连接梁的两端分别连接一所述环形谐振子，以使十二个所述环形谐振子和对应所述连接梁围合设置呈十字型呈环形阵列排布。

7、优选地，所述第一电极和所述第二电极中的一者为驱动电极，另一者为感应电极。

8、优选地，所述环形谐振子被配置为圆环形。

9、优选地，所述连接梁被配置为弹性直梁。

10、优选地，所述锚固件呈矩形体状。

11、优选地，所述走线层呈圆角矩形状。

12、以上方案，通过走线层的第一走线串联起各个第一电极，第二走线串联起各个第二电极，第三走线与锚固件连接，并且，第一走线被第二走线包围，减少了引线之间的相互交叉和干扰，降低了mems谐振器的走线难度，实现了单端驱动，降低了走线的复杂性，便于mems谐振器的集成化设计。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；

2.如权利要求1所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述走线层还包括分设于所述走线层的四角的驱动端子、感测端子、偏置端子以及接地端子；其中，所述第一走线和所述第二走线中的一者与所述驱动端子电信号连接，另一者与所述感测端子电信号连接，所述第三走线与所述偏置端子电信号连接，所述接地端子用于接地。

3.如权利要求2所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述感测端子和所述驱动端子分别位于所述走线层的两个对角部位。

4.如权利要求1至3中的任一项所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述环形谐振子的数量为十二个，每一所述连接梁的两端分别连接一所述环形谐振子，以使十二个所述环形谐振子和对应所述连接梁围合设置呈十字型呈环形阵列排布。

5.如权利要求1至3中的任一项所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述第一电极和所述第二电极中的一者为驱动电极，另一者为感应电极。

6.如权利要求1至3中的任一项所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述环形谐振子被配置为圆环形。

7.如权利要求1至3中的任一项所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述连接梁被配置为弹性直梁。

8.如权利要求1至3中的任一项所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述锚固件呈矩形体状。

9.如权利要求1至3中的任一项所述的MEMS谐振器，其特征在于，所述走线层呈圆角矩形状。

...

【技术特征摘要】

1.一种mems谐振器，其特征在于，包括层叠设置的器件层和走线层，其中，所述器件层包括环形谐振子、连接梁、锚固件、第一电极以及第二电极；所述环形谐振子被配置为多个并呈环形阵列排布，相邻的环形谐振子之间连接有所述连接梁，至少一所述连接梁与一位于所述环形阵列内的所述锚固件固定连接，每个所述环形谐振子内均设有与其间隙设置的第一电极，多个第二电极将所述环形阵列包围并与所述环形谐振子间隙设置；

2.如权利要求1所述的mems谐振器，其特征在于，所述走线层还包括分设于所述走线层的四角的驱动端子、感测端子、偏置端子以及接地端子；其中，所述第一走线和所述第二走线中的一者与所述驱动端子电信号连接，另一者与所述感测端子电信号连接，所述第三走线与所述偏置端子电信号连接，所述接地端子用于接地。

3.如权利要求2所述的mems谐振器，其特征在于，所述感测端子和所述驱动端子分别位于所述走线层的...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱怀远，吴振云，李明，金怡，
申请(专利权)人：麦斯塔微电子深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：