一种氮化钛膜层的退除液及该膜层的退除方法技术

本发明专利技术提供了一种氮化钛膜层的退除液，所述退除液为含有过氧化氢、氢氧化物和稳定剂的水溶液，所述稳定剂为水溶性柠檬酸盐、水溶性焦磷酸盐和水溶性乙二胺四乙酸盐中的一种或几种。还提供了该氮化钛膜层的退除方法。本发明专利技术提供的氮化钛膜层的退除液以及该膜层的退除方法，使退除氮化钛膜层后的基材表面没有腐蚀，不损伤基材表面，而且可以稳定、均匀、彻底地除去氮化钛膜层。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氮化钛膜层的退除液，其特征在于，所述退除液为含有过氧化氢、氢氧化物和稳定剂的水溶液，所述稳定剂为水溶性柠檬酸盐、水溶性焦磷酸盐和水溶性乙二胺四乙酸盐中的一种或几种。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：薛文砚，陈云，
申请(专利权)人：比亚迪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：94[中国|深圳]