一种裁膜用硅片固定装置制造方法及图纸

本技术涉及一种裁膜用硅片固定装置，包括固定架和尺，固定架设置有两对；每对固定架的相邻侧面上均开设有用于放置硅片的放置槽，放置槽的上侧壁上分别开设有螺孔，螺孔内分别设置有螺丝柱；每对固定架之间分别连接有第一伸缩杆，第一伸缩杆设置在放置槽的下方；两个第一伸缩杆之间连接有第二伸缩杆；两个第一伸缩杆的外侧分别转动安装有第三伸缩杆；尺的两端分别与两个第三伸缩杆的外端拆卸连接；其便于工作人员固定硅片进行覆膜裁样，操作方便，省时省力，能够提高覆膜的制样裁膜效率；能够应用于切割多种尺寸样品，实用性强；并且能够避免在覆膜表面造成划痕，避免影响测试结果，利于保证测试结果准确有效性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及实验室工具，具体涉及一种裁膜用硅片固定装置。

技术介绍

1、目前，在半导体生产领域中，采用硅片作为基板，在基板上涂胶液，胶液固化后形成胶膜，该胶膜形成硅片的覆膜；覆膜需要从基板上剥离下来并制成样条进行测试。

2、剥离覆膜之前通常在硅片上先将覆膜裁成所需的样条，然后再进行脱模后直接得到所需样条，所以往往需要对硅片上的覆膜进行制样裁膜。

3、现有技术中，在对硅片上的覆膜进行制样裁膜时，通常情况下硅片无法很好地固定，导致裁出的覆膜样条尺寸不精确，进而导致性能测试结果出现偏差。或者，如果用尺子比量着对硅片上的覆膜进行制样裁膜时，容易在膜表面造成划痕，导致影响测试结果。

技术实现思路

1、针对上述现有技术中的至少一个问题，本技术的目的是提供一种裁膜用硅片固定装置，便于工作人员固定硅片进行覆膜裁样，提高覆膜的制样裁膜效率，省时省力；并且避免在覆膜表面造成划痕，避免影响测试结果。

2、为实现上述目的，本技术采取以下技术方案：

3、一种裁膜用硅片固定装置，包括固定架和尺，所述固定架设置有两对；

4、每对所述固定架的相邻侧面上均开设有用于放置硅片的放置槽，所述放置槽的上侧壁上分别开设有螺孔，所述螺孔内分别设置有螺丝柱；

5、每对所述固定架之间分别连接有第一伸缩杆，所述第一伸缩杆设置在所述放置槽的下方；

6、两个所述第一伸缩杆之间连接有第二伸缩杆；

7、两个所述第一伸缩杆的外侧分别转动安装有第三伸缩杆；

8、所述尺的两端分别与两个所述第三伸缩杆的外端可拆卸连接。

9、优选地，所述第一伸缩杆包括第一外管和第一内杆，所述第一内杆的一端移动套设在所述第一外管的一端内。

10、优选地，所述第二伸缩杆连接在两个所述第一外管之间。

11、优选地，所述第一伸缩杆的外侧开设有安装槽，所述第三伸缩杆的内端通过转轴转动安装在所述安装槽内。

12、优选地，所述第三伸缩杆的内端的顶面和底面分别与所述安装槽的顶面和底面挤压接触。

13、优选地，所述螺丝柱的下端设置有保护层。

14、优选地，所述尺的两端均设置有卡孔，所述第三伸缩杆的外端均设置有卡柱，所述卡柱分别卡合连接在所述卡孔内。

15、优选地，所述放置槽的底面高度相同。

16、优选地，所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆的横断面均设置为矩形，所述第一伸缩杆和所述第二伸缩杆至少其中之一的顶面与所述放置槽的底面高度相同。

17、优选地，每相邻两个所述固定架的相邻侧面上均开设有所述放置槽，每个所述固定架上的所述放置槽相连接。

18、本技术由于采取以上技术方案，其具有以下优点：

19、本技术提供的裁膜用硅片固定装置，便于工作人员固定硅片进行覆膜裁样，操作方便，省时省力，能够提高覆膜的制样裁膜效率；能够应用于切割多种尺寸样品，实用性强；并且能够避免在覆膜表面造成划痕，避免影响测试结果，利于保证测试结果准确有效性。

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【技术保护点】

1.一种裁膜用硅片固定装置，其特征在于，包括固定架(1)和尺(2)，所述固定架(1)设置有两对；

2.根据权利要求1所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第一伸缩杆(120)包括第一外管(121)和第一内杆(122)，所述第一内杆(122)的一端移动套设在所述第一外管(121)的一端内。

3.根据权利要求2所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第二伸缩杆(130)连接在两个所述第一外管(121)之间。

4.根据权利要求1所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第一伸缩杆(120)的外侧开设有安装槽(123)，所述第三伸缩杆(140)的内端通过转轴(124)转动安装在所述安装槽(123)内。

5.根据权利要求4所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第三伸缩杆(140)的内端的顶面和底面分别与所述安装槽(123)的顶面和底面挤压接触。

6.根据权利要求1所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述螺丝柱(111)的下端设置有保护层。

7.根据权利要求1所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述尺(2)的两端均设置有卡孔，所述第三伸缩杆(140)的外端均设置有卡柱(141)，所述卡柱(141)分别卡合连接在所述卡孔内。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述放置槽(110)的底面高度相同。

9.根据权利要求8所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第一伸缩杆(120)和所述第二伸缩杆(130)的横断面均设置为矩形，所述第一伸缩杆(120)和所述第二伸缩杆(130)至少其中之一的顶面与所述放置槽(110)的底面高度相同。

10.根据权利要求1-7中任一项所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，每相邻两个所述固定架(1)的相邻侧面上均开设有所述放置槽(110)，每个所述固定架(1)上的所述放置槽(110)相连接。

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【技术特征摘要】

1.一种裁膜用硅片固定装置，其特征在于，包括固定架(1)和尺(2)，所述固定架(1)设置有两对；

2.根据权利要求1所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第一伸缩杆(120)包括第一外管(121)和第一内杆(122)，所述第一内杆(122)的一端移动套设在所述第一外管(121)的一端内。

3.根据权利要求2所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第二伸缩杆(130)连接在两个所述第一外管(121)之间。

4.根据权利要求1所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第一伸缩杆(120)的外侧开设有安装槽(123)，所述第三伸缩杆(140)的内端通过转轴(124)转动安装在所述安装槽(123)内。

5.根据权利要求4所述的裁膜用硅片固定装置，其特征在于，所述第三伸缩杆(140)的内端的顶面和底面分别与所述安装槽(123)的顶面和底面挤压接触。

6.根据权利要求1所述的裁...

【专利技术属性】
技术研发人员：于悦，马晓婷，贾斌，王立哲，
申请(专利权)人：明士北京新材料开发有限公司，
类型：新型
国别省市：