【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光束质量分析仪，具体涉及到一种光束质量分析仪内置光路对准装置。
技术介绍
1、激光的光束质量因子(m2因子)是评价激光光束质量好坏的关键评价参数。具有不同光束质量因子的激光光束，其空间传播特性以及聚焦特性会存在显著的差别。
2、光束质量分析仪的通用结构如图1所示，激光器经过一片透镜聚焦，一台安装在和光轴平行的水平导轨上的相机，沿光轴测量不同位置的光斑半径的数据，根据光斑半径随位置的变化数据通过建模来拟合出光束的传播公式，从而确定其光束质量因子的数值。
3、目前，光束质量分析仪存在如下问题：
4、光束质量分析仪在开始m2测量之前，必须先把激光光轴和光束质量分析仪透镜光轴(注：透镜光轴和水平导轨运动轴同轴)调重合。这是因为不论是激光光轴和透镜的主轴不平行(如图2)还是光轴和透镜的主轴有平移(图3)，经过透镜之后的出射光束的光轴都会和透镜主轴之间产生倾角，这个倾角会导致相机测量到的光斑在沿倾角方向会被拉长，这样测量的结果就会产生相应误差。
5、通常的调试做法是先把相机放置在导轨远端，调整光束质量分析仪系统的角度和位置，使光束打到相机靶面中心，然后把相机移动到近端，再次调整光束质量分析仪系统的角度和位置，再把光斑移动到相机中心；然后再把相机移动到远端，如此迭代反复多次。这种共线调节对操作者的光路调节经验要求比较高，同时这种渐进式调节也相当耗时费力。
6、因此，存在待改进之处，本技术提供一种光束质量分析仪内置光路对准装置。
技术实现思路>
1、针对现有技术所存在的不足，本技术目的在于提出一种光束质量分析仪内置光路对准装置，具体方案如下：
2、一种光束质量分析仪内置光路对准装置，包括激光器、角度可调反射镜组、分光片、测量透镜、相机a、水平导轨以及光束检测结构；
3、所述激光器、角度可调反射镜组、分光片、测量透镜、水平导轨依次间隔设置；
4、激光器，用于产生水平光束a；
5、角度可调反射镜组，接收激光器产生的水平光束a，并将该光束以另一道水平光束b反射出去；
6、分光片，用于接收水平光束b并从水平光束b分出一道垂直于水平光束b的光束c；
7、测量透镜呈竖直设置，相机a滑动安装于水平导轨上，相机a的靶面呈竖直设置；
8、光束检测结构设于分光片的正下方，形成有接收光束c的中心重合检测面。
9、由此，水平光束a作为待测激光，经过分光片后分成光束c、水平光束b后，水平光束b进入安装在水平导轨上的相机a中，光束c进入光束检测结构上的中心重合检测面上，如果水平光束b的光轴与测量透镜的主轴不重合，则会看到相机a的靶面、中心重合检测面上的光斑中心与靶面、中心重合检测面上的中心点或者指定点不重合，此时，使用者可以先把通过光束检测结构反馈的信息将待测激光光轴调节至和辅助透镜的主轴平行，并在保证角度不变化的前提下，通过移动水平导轨上的相机a，将待测激光光束平移至完全重合的状态。
10、进一步的，角度可调反射镜组，包括倾斜角度为45°的第一反射镜、第二反射镜，第一反射镜、第二反射镜相互平行设置，第一反射镜的中心与激光器的中心同处于一条水平线上。
11、进一步的，分光片，倾斜角度为45°，与第二反射镜呈垂直分布。
12、进一步的，所述光束检测结构包括相机b，相机b的靶面呈水平设置。
13、进一步的，所述光束检测结构还包括辅助透镜，辅助透镜水平设置于分光片与相机b之间。
14、进一步的，所述光束检测结构包括信号探测器、光束过滤板；
15、光束过滤板处于分光片的正下方，开设有强光通孔；
16、信号探测器处于光束过滤板的正下方，其中心用于识别强光。
17、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
18、本技术中，利用分光片将入射光束(水平光束a)分离，并利用光束检测结构来对入射光束主轴的方向进行监控并调整，利用相机a对入射光束的位置进行呈现，从而指导调节过程，可以使整个调试过程通过两步就能实现，相对传统的迭代式调节方法，节省了大量的时间和精力。
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1.一种光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，包括激光器(1)、角度可调反射镜组(2)、分光片(3)、测量透镜(4)、相机A(5)、水平导轨(6)以及光束检测结构；
2.根据权利要求1所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，角度可调反射镜组(2)，包括倾斜角度为45°的第一反射镜(21)、第二反射镜(22)，第一反射镜(21)、第二反射镜(22)相互平行设置，第一反射镜(21)的中心与激光器(1)的中心同处于一条水平线上。
3.根据权利要求2所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，分光片(3)，倾斜角度为45°，与第二反射镜(22)呈垂直分布。
4.根据权利要求3所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，所述光束检测结构包括相机B(7)，相机B(7)的靶面呈水平设置。
5.根据权利要求4所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，所述光束检测结构还包括辅助透镜(8)，辅助透镜(8)水平设置于分光片(3)与相机B(7)之间。
6.根据权利要求3所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其
...【技术特征摘要】
1.一种光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，包括激光器(1)、角度可调反射镜组(2)、分光片(3)、测量透镜(4)、相机a(5)、水平导轨(6)以及光束检测结构；
2.根据权利要求1所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在于，角度可调反射镜组(2)，包括倾斜角度为45°的第一反射镜(21)、第二反射镜(22)，第一反射镜(21)、第二反射镜(22)相互平行设置，第一反射镜(21)的中心与激光器(1)的中心同处于一条水平线上。
3.根据权利要求2所述的光束质量分析仪内置光路对准装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴晋龙，黄梓轩，韩浩，
申请(专利权)人：上海昊量光电设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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