【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及冲洗，具体为一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置。
技术介绍
1、直喷循环冲洗装置是一种用于在半导体制造和相关工艺中处理晶圆表面的设备，主要用于剥离或清洗晶圆表面的金属薄膜。
2、专利公告号为cn220514864u的专利涉及一种用于剥离金属薄膜的直喷循环冲洗装置，包括箱体、直喷喷嘴、药液循环泵；所述箱体用于承载直喷喷嘴并且与直喷喷嘴相对的位置放置待剥离金属薄膜的晶圆；所述直喷喷嘴活动设置在箱体的一侧的安装孔内，用于放置在箱体相对位置的待剥离金属薄膜的晶圆进行直喷冲洗；所述药液循环泵设置在箱体的外部，并且输入侧与箱体下部的一侧连接，输出侧与直喷喷嘴连接，用于循环药液。该专利通过药液循环泵抽取位于箱体内底部的药液输送至直喷喷嘴，所述直喷喷嘴手动转动角度对待剥离金属薄膜的晶圆进行全方位的直喷冲洗，直至金属薄膜完全剥离，之后拆除剥离后的晶圆重新替换新的待剥离金属薄膜的晶圆，提高剥离金属薄膜效率。
3、上述专利中，通过药液循环泵抽取位于箱体内底部的药液输送至直喷喷嘴，所述直喷喷嘴手动转动角度对待剥离金属薄膜的晶圆进行全方位的直喷冲洗，直至金属薄膜完全剥离，之后拆除剥离后的晶圆重新替换新的待剥离金属薄膜的晶圆，提高剥离金属薄膜效率，但金属薄膜直接冲洗难以完全去除，容易导致少量金属薄膜残留在晶圆上，影响后续加工处理。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，包括：机箱，所述机箱内壁转动安装有转门，所述机箱表面固定安装有控制器，所述机箱表面转动安装有观测窗，所述机箱内壁设置有过滤隔板；预处理装置，所述预处理装置设置在机箱内部，所述预处理装置包括冲洗喷头、水循环装置、驱动装置、空心箱、放置架、转杆、转板、梯形块、毛刷、滑动杆和密封板，通过滑动杆向靠近放置架的方向移动会接触到梯形块，梯形块会挤压滑动杆向上移动，滑动杆向上移动会带动密封板向上移动，密封板向上移动会使出液口打开，所述冲洗喷头固定安装在机箱内壁，所述机箱内壁底部固定安装有水循环装置，所述冲洗喷头与水循环装置之间通过水管连通，所述驱动装置固定安装在过滤隔板顶部，所述空心箱固定安装在驱动装置输出端，所述放置架固定安装在过滤隔板顶部，所述转杆转动安装在过滤隔板顶部，所述转板固定安装在转杆顶部，所述毛刷固定安装在空心箱底部，所述滑动杆滑动贯穿空心箱底部，所述密封板固定安装在滑动杆顶部，所述空心箱底部开设有出液孔，空心箱向靠近放置架的方向移动会带动毛刷向靠近放置架的方向移动。
3、根据上述技术方案，所述密封板设置在出液孔上方，所述转杆与过滤隔板之间设置有一号扭簧，通过一号扭簧带动转杆复位，所述梯形块设置在滑动杆下方，所述转板顶部设置有防滑橡胶，防止被夹持装置夹持时无法转动。
4、根据上述技术方案，还包括夹持装置和旋转装置，所述夹持装置包括l形杆、转轮、滑板、弹性伸缩板、弧形板和滚轮，通过空心箱向靠近放置架的方向移动带动l形杆向靠近放置架的方向移动，l形杆向靠近放置架的方向移动会带动转轮向靠近放置架的方向移动，所述l形杆固定安装在空心箱表面，所述转轮转动安装在l形杆底部，所述滑板滑动安装在放置架顶部，所述弹性伸缩板固定安装在滑板表面，所述弧形板固定安装在弹性伸缩板自由端，所述滚轮转动安装在弧形板内壁。
5、根据上述技术方案，所述l形杆表面固定安装有固定板，所述滑板顶部固定安装有凸块，l形杆向靠近放置架的方向移动会带动固定板向靠近放置架的方向移动，固定板向靠近放置架的方向移动会接触到凸块。
6、根据上述技术方案，所述滑板靠近驱动装置的一端设置有斜面，所述固定板设置在凸块上方，所述滑板与放置架之间设置有一号弹簧，通过一号弹簧带动滑板复位。
7、根据上述技术方案，所述旋转装置包括连接板和l形板，通过滑板向靠近转板的方向移动带动连接板向靠近转板的方向移动，连接板向靠近转板的方向移动会带动l形板向靠近转板的方向移动，所述连接板固定安装在滑板底部，所述l形板固定安装在连接板底部，所述l形板表面开设有齿槽，所述转杆表面设置有齿块，所述齿槽和齿块表面啮合。
8、根据上述技术方案，所述l形板底部固定安装有短板，所述短板底部转动安装有转动板，所述短板表面固定安装有限位块，所述过滤隔板内壁转动安装有转轴，所述转轴顶部固定安装有l形长板，短板向靠近转杆的方向移动会带动转动板向靠近转杆的方向移动，转动板向靠近转杆的方向移动会接触到l形长板，l形长板向下转动会对过滤隔板进行疏通。
9、根据上述技术方案，所述短板与转动板之间设置有二号扭簧，通过二号扭簧带动转动板复位，所述限位块与转动板表面接触，所述过滤隔板与转轴之间设置有三号扭簧，通过三号扭簧带动转轴复位。
10、本专利技术提供了一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置。具备以下有益效果：
11、（1）该专利技术，通过冲洗喷头对晶圆表面的金属薄膜进行冲洗，将金属薄膜清除干净，防止影响后续覆膜，同时空心箱内部的蚀刻液滴落到金属薄膜的表面，从而使其变得松动，方便冲洗，同时空心箱向靠近放置架的方向移动会带动毛刷向靠近放置架的方向移动，毛刷会将滴在金属薄膜上的蚀刻液抹平，使蚀刻液分布的更加均匀，提高剥离金属薄膜的效果。
12、（2）该专利技术，通过弹性伸缩板向靠近转板的方向移动会带动弧形板向靠近转板的方向移动，弧形板向靠近转板的方向移动会带动滚轮向靠近转板的方向移动，通过滚轮对晶圆进行夹持，防止冲洗或毛刷抹平时，推动晶圆移动，导致晶圆远离冲洗喷头的冲洗范围和剥离金属薄膜效率降低，同时通过固定板与凸块接触产生细微振动，可以一定程度上削弱金属薄膜与晶圆的结合，提高剥离金属薄膜的效果。
13、（3）该专利技术，通过l形板向靠近转板的方向移动会带动转杆转动，转杆转动会带动转板转动，通过转板转动调整被夹持的位置，防止夹持的部分有部分金属薄膜沾附，导致冲洗喷头无法冲洗到，影响剥离效果，同时l形长板向下转动会对过滤隔板进行疏通，防止金属薄膜卡在过滤隔板之间，影响排水效果。
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1.一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于，包括：机箱（1），所述机箱（1）内壁转动安装有转门（2），所述机箱（1）表面固定安装有控制器（3），所述机箱（1）表面转动安装有观测窗（4），所述机箱（1）内壁设置有过滤隔板；
2.根据权利要求1所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述密封板（15）设置在出液孔上方，所述转杆（10）与过滤隔板之间设置有一号扭簧，所述梯形块（12）设置在滑动杆（14）下方，所述转板（11）顶部设置有防滑橡胶。
3.根据权利要求2所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述夹持装置包括L形杆（161）、转轮（162）、滑板（163）、弹性伸缩板（164）、弧形板（165）和滚轮（166），所述L形杆（161）固定安装在空心箱（8）表面，所述转轮（162）转动安装在L形杆（161）底部，所述滑板（163）滑动安装在放置架（9）顶部，所述弹性伸缩板（164）固定安装在滑板（163）表面，所述弧形板（165）固定安装在弹性伸缩板（164）自由端，所述滚轮（166）
4.根据权利要求3所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述L形杆（161）表面固定安装有固定板（167），所述滑板（163）顶部固定安装有凸块（168）。
5.根据权利要求4所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述滑板（163）靠近驱动装置（7）的一端设置有斜面，所述固定板（167）设置在凸块（168）上方，所述滑板（163）与放置架（9）之间设置有一号弹簧。
6.根据权利要求5所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述旋转装置包括连接板（171）和L形板（172），所述连接板（171）固定安装在滑板（163）底部，所述L形板（172）固定安装在连接板（171）底部，所述L形板（172）表面开设有齿槽，所述转杆（10）表面设置有齿块，所述齿槽和齿块表面啮合。
7.根据权利要求6所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述L形板（172）底部固定安装有短板（173），所述短板（173）底部转动安装有转动板（174），所述短板（173）表面固定安装有限位块（175），所述过滤隔板内壁转动安装有转轴（176），所述转轴（176）顶部固定安装有L形长板（177）。
8.根据权利要求7所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述短板（173）与转动板（174）之间设置有二号扭簧，所述限位块（175）与转动板（174）表面接触，所述过滤隔板与转轴（176）之间设置有三号扭簧。
...【技术特征摘要】
1.一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于，包括：机箱（1），所述机箱（1）内壁转动安装有转门（2），所述机箱（1）表面固定安装有控制器（3），所述机箱（1）表面转动安装有观测窗（4），所述机箱（1）内壁设置有过滤隔板；
2.根据权利要求1所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述密封板（15）设置在出液孔上方，所述转杆（10）与过滤隔板之间设置有一号扭簧，所述梯形块（12）设置在滑动杆（14）下方，所述转板（11）顶部设置有防滑橡胶。
3.根据权利要求2所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述夹持装置包括l形杆（161）、转轮（162）、滑板（163）、弹性伸缩板（164）、弧形板（165）和滚轮（166），所述l形杆（161）固定安装在空心箱（8）表面，所述转轮（162）转动安装在l形杆（161）底部，所述滑板（163）滑动安装在放置架（9）顶部，所述弹性伸缩板（164）固定安装在滑板（163）表面，所述弧形板（165）固定安装在弹性伸缩板（164）自由端，所述滚轮（166）转动安装在弧形板（165）内壁。
4.根据权利要求3所述的一种用于剥离晶圆表面金属薄膜的直喷循环冲洗装置，其特征在于：所述l形杆（161）表面固定安装有固定板（167），所述滑板（163）顶部固定安装...
【专利技术属性】
技术研发人员：张堂，肖钰，牟宏山，高一枫，张新宇，
申请(专利权)人：无锡兴华衡辉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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