【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学，特别是涉及一种诱导透射滤光片及其制备方法、紫外探测系统。
技术介绍
1、太阳光是包含多个波长的复色光，当它穿过大气层进入地球时，其中日盲紫外波段(200 nm ~280 nm)的光线会被臭氧层吸收，因此在来自太阳的日盲紫外光几乎无法到达地球表面。由于没有太阳这个最大的日盲紫外源的干扰，日盲紫外探测具有低背景噪声的优势。输电线路及电力设备产生异常时会由于电晕放电会产生大量的紫外线，尤其是位于日盲区波段的紫外线，利用这一特性可以捕获此类异常，因此日盲紫外成像技术被应用于电晕放电检测中。
2、日盲紫外滤光片是紫外探测系统的重要组件，需要最大限度截止其他波段、保留日盲紫外波段，优异的日盲紫外滤光片能够显著提高日盲紫外探测系统的采集性能。常见的滤光片分有两类：吸收型滤光片以及干涉型滤光片。吸收型滤光片对目标波长的光区域透明，但对其他特定波段具有吸收作用，通过材料的吸收作用实现对背景光的高抑制，单纯的吸收型滤光片只在透射峰中心位置处有高透过率，偏离中心后透过率逐渐下降；干涉型滤光片通过多层薄膜的干涉反射，对某些波段形成具有一定宽度的禁带，而在另外一些波长范围形成透射区域。在这两种滤光片技术的基础上又衍生出了混合型滤光片和诱导透射滤光片。诱导透射滤光片的工作原理是，通过选择适当的基片侧匹配膜堆的导纳，可以使整个膜系的势透射率变得最大。如果同时在入射侧设计适当减反射膜堆，可以使整个膜系的反射减小至接近于零从而诱发金属膜的最大透射率。
3、传统的滤光片采用的多种光学介质结构可用于制备对于日盲波段的通带以及日
技术实现思路
1、基于此，为了保证在200 nm ~280 nm波段内的高通带透过率的同时提高通带两侧阻带的截止度，有必要提供一种诱导透射滤光片及其制备方法、紫外探测系统。
2、本申请提供一种诱导透射滤光片，包括在基底上依次层叠的第一介质层、第一金属层、第二介质层、第二金属层、第三介质层、第三金属层以及第四介质层；
3、所述第一金属层的材料、所述第二金属层的材料以及所述第三金属层的材料各自独立地包括金属铝；
4、所述第一介质层的材料、所述第二介质层的材料、所述第三介质层的材料以及所述第四介质层的材料各自独立地包括二氧化硅、三氧化二铝、二氧化铪以及氟化镁中的一种或多种；
5、所述第一介质层的厚度、所述第二介质层的厚度、所述第三介质层的厚度以及所述第四介质层的厚度各自独立地为10nm~100nm；
6、所述第一金属层的厚度、所述第二金属层的厚度以及所述第三金属层的厚度各自独立地为10nm~40nm。
7、在其中一个实施例中，所述第一介质层的厚度以及所述第四介质层的厚度各自独立地为80nm~100nm。
8、在其中一个实施例中，所述第二介质层的厚度以及所述第三介质层的厚度各自独立地为30nm~60nm。
9、在其中一个实施例中，所述第一金属层的厚度以及所述第三金属层的厚度各自独立地为10nm~30nm。
10、在其中一个实施例中，所述第二金属层的厚度为20nm~40nm。
11、在其中一个实施例中，所述基底包括石英基底。
12、进一步地，本申请还提供一种制备如上述的诱导透射滤光片的制备方法，包括以下步骤：
13、提供所述基底；
14、在所述基底依次制备所述第一介质层、所述第一金属层、所述第二介质层、所述第二金属层、所述第三介质层、所述第三金属层以及所述第四介质层。
15、在其中一个实施例中，满足以下一个或两个条件：
16、（1）制备所述第一介质层、所述第二介质层、所述第三介质层以及所述第四介质层的方法各自独立地包括物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或两种；
17、（2）制备所述第一介质层、所述第二介质层、所述第三介质层以及所述第四介质层的条件各自独立地包括：制备温度为20℃~50℃，真空度不高于1×10-3pa；
18、（3）制备所述第一金属层、所述第二金属层以及所述第三金属层各自独立地包括物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或两种；
19、（4）制备所述第一金属层、所述第二金属层以及所述第三金属层的条件各自独立地包括：制备温度为20℃~50℃，真空度不高于6×10-4pa。
20、更进一步地，本申请还提供一种紫外探测系统，包括如上述的诱导透射滤光片。
21、在其中一个实施例中，所述紫外探测为日盲紫外探测系统。
22、本申请提供的诱导透射滤光片包括层叠的介质层和金属层，通过对诱导透射滤光片的结构设计，合理选择各层介质层与各层金属层的材料选择以及厚度参数限定，实现入射介质、膜堆系统以及出射介质的导纳匹配设计，从而获得在200 nm ~280 nm波段内的高通带透过率的同时提高通带两侧的截止度。
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1.一种诱导透射滤光片，其特征在于，包括在基底上依次层叠的第一介质层、第一金属层、第二介质层、第二金属层、第三介质层、第三金属层以及第四介质层；
2.如权利要求1所述的诱导透射滤光片，其特征在于，所述基底包括石英基底。
3.一种制备如权利要求1~2任一项所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
4.如权利要求3所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，制备所述第一介质层、所述第二介质层、所述第三介质层以及所述第四介质层的方法各自独立地包括物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或两种。
5.如权利要求3所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，制备所述第一介质层、所述第二介质层、所述第三介质层以及所述第四介质层的条件各自独立地包括：制备温度为20℃~50℃，真空度不高于1×10-3Pa。
6.如权利要求3所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，制备所述第一金属层、所述第二金属层以及所述第三金属层各自独立地包括物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或两种。
7.如权利要求3所述的诱导透射滤光
8.一种紫外探测系统，其特征在于，包括如权利要求1~2任一项所述的诱导透射滤光片。
9.如权利要求8所述的紫外探测系统，其特征在于，所述紫外探测为日盲紫外探测系统。
...【技术特征摘要】
1.一种诱导透射滤光片，其特征在于，包括在基底上依次层叠的第一介质层、第一金属层、第二介质层、第二金属层、第三介质层、第三金属层以及第四介质层；
2.如权利要求1所述的诱导透射滤光片，其特征在于，所述基底包括石英基底。
3.一种制备如权利要求1~2任一项所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
4.如权利要求3所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，制备所述第一介质层、所述第二介质层、所述第三介质层以及所述第四介质层的方法各自独立地包括物理气相沉积以及化学气相沉积中的一种或两种。
5.如权利要求3所述的诱导透射滤光片的制备方法，其特征在于，制备所述第一介质层、所述第二介质层、所述第三介质层以及...
【专利技术属性】
技术研发人员：景茂恒，李纯，黄家杰，邵震，侯明春，钟枚汕，祝世登，赵继光，王志明，赵亮，杨跃光，冯强强，王敩青，
申请(专利权)人：中国南方电网有限责任公司超高压输电公司电力科研院，
类型：发明
国别省市：
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