【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体的封装设备清洁装置，特别涉及一种打标盘清洁装置。
技术介绍
1、半导体封装是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。目前，半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成；塑封之后，还要进行一系列操作，如后固化(post mold cure)、切筋和成型(trim&form)、电镀(plating)以及打印等工艺；典型的封装工艺流程为：划片、装片、键合、塑封、去飞边、电镀、打印、切筋和成型、外观检查、成品测试、包装出货。
2、当下，在半导体封装工艺流程中，产品到测试前塑封体表面会残留细小的灰尘以及残渣，塑封体表面灰尘会影响测试影响良率，这样就需要进行二次重测，而二次重测则会导致生产效率低下，增加产品报废率，进而造成更多原材料的报废，增加生产成本，基于当下封装过程中存在的问题，需要对封装设备的打标盘(mark table)进行清洁。
技术实现思路
1、为解决上述问题，本技术提供了一种打标盘清洁装置，具体技术方案如下：
2、装置包括支撑架、驱动电机、清扫机构以及吸尘机构；
3、所述驱动电机固定在所述支撑架上，所述清扫机构与所述驱动电机的驱动轴连接，所述清扫机构能够通过所述驱动轴进行自转；
4、所述吸尘机构包括吸尘器和真空气管，所述真空气管的一端与所述吸尘器连接，另一端连通所述清扫机构。
5、进一步的，所述支撑架顶部设有弧形结构的第一固定件，所述第一固定件与所述支撑架固
6、进一步的，所述第一固定件和所述第二固定件，在与所述驱动电机接触的一侧设有缓冲减震层。
7、进一步的，所述支撑架包括支撑体和底座，所述支撑体和所述底座插接式连接。
8、进一步的，所述底座的底部设有防滑垫。
9、进一步的，所述清扫机构包括主体和若干毛刷，所述毛刷固定设置在所述主体外侧，且所述毛刷位于与所述驱动电机的驱动轴垂直的同一平面。
10、进一步的，所述毛刷设有三个，在所述主体外侧均匀分布。
11、进一步的，所述毛刷连接所述主体的一端设有外螺纹，所述主体上设有与所述外螺纹适配的内螺纹孔。
12、进一步的，所述主体包括内管和外管，所述内管与所述驱动轴固定连接，所述内管与所述驱动轴同步转动；所述外管套设在所述内管外侧，所述内管与所述外管之间设有吸尘通道；
13、所述外管包括靠近所述驱动电机的第一部分和远离所述驱动电机的第二部分，所述第一部分与所述第二部分之间转动连接，所述第一部分与所述真空气管连通；所述第二部分与所述内管固定连接。
14、进一步的，所述主体包括中空管和毛刷连接件构成，所述毛刷连接件与所述驱动轴固定连接，所述毛刷连接件与所述驱动轴同步转动，所述毛刷连接件在中空管和所述驱动轴之间的部分设有通孔，与所述中空管构成吸尘通道，所述毛刷固定设在所述毛刷连接件上；
15、所述中空管包括长管和短管，所述毛刷连接件设置在所述长管和所述短管之间，所述毛刷连接件分别与所述长管和所述短管转动连接，所述长管与所述真空气管连通。
16、本技术的有益效果如下：
17、清扫机构的主体上设有毛刷，主体与驱动电机连接，通过电机的驱动使得毛刷围绕电机驱动轴转动，实现对打标盘上灰尘和碎屑的清洁，同时主体内部设有吸尘通道，经真空气管与吸尘器连接，能够吸出清扫下来的灰尘碎屑，通过该清洁装置对封装设备的清洁，避免了封装时塑封体表面产生灰尘，影响测试良率，同时也避免了二次重测，进而提升了生产效率，降低了生产成本。
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1.一种打标盘清洁装置，其特征在于，包括支撑架、驱动电机、清扫机构以及吸尘机构；
2.根据权利要求1所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述支撑架顶部设有弧形结构的第一固定件，所述第一固定件与所述支撑架固定连接，所述第一固定件上通过螺栓可拆卸连接有结构相同的第二固定件，所述驱动电机通过所述第一固定件和所述第二固定件固定在所述支撑架上。
3.根据权利要求2所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件，在与所述驱动电机接触的一侧设有缓冲减震层。
4.根据权利要求1所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述支撑架包括支撑体和底座，所述支撑体和所述底座插接式连接。
5.根据权利要求4所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述底座的底部设有防滑垫。
6.根据权利要求1所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述清扫机构包括主体和若干毛刷，所述毛刷固定设置在所述主体外侧，且所述毛刷位于与所述驱动电机的驱动轴垂直的同一平面。
7.根据权利要求6所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述毛刷设有三个，在所述主体外侧均匀分布。
8.根据权利要求7所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述毛刷连接所述主体的一端设有外螺纹，所述主体上设有与所述外螺纹适配的内螺纹孔。
9.根据权利要求6-8任一所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述主体包括内管和外管，所述内管与所述驱动轴固定连接，所述内管与所述驱动轴同步转动；所述外管套设在所述内管外侧，所述内管与所述外管之间设有吸尘通道；
10.根据权利要求6-8任一所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述主体包括中空管和毛刷连接件构成，所述毛刷连接件与所述驱动轴固定连接，所述毛刷连接件与所述驱动轴同步转动，所述毛刷连接件在中空管和所述驱动轴之间的部分设有通孔，与所述中空管构成吸尘通道，所述毛刷固定设在所述毛刷连接件上；
...【技术特征摘要】
1.一种打标盘清洁装置，其特征在于，包括支撑架、驱动电机、清扫机构以及吸尘机构；
2.根据权利要求1所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述支撑架顶部设有弧形结构的第一固定件，所述第一固定件与所述支撑架固定连接，所述第一固定件上通过螺栓可拆卸连接有结构相同的第二固定件，所述驱动电机通过所述第一固定件和所述第二固定件固定在所述支撑架上。
3.根据权利要求2所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述第一固定件和所述第二固定件，在与所述驱动电机接触的一侧设有缓冲减震层。
4.根据权利要求1所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述支撑架包括支撑体和底座，所述支撑体和所述底座插接式连接。
5.根据权利要求4所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述底座的底部设有防滑垫。
6.根据权利要求1所述的打标盘清洁装置，其特征在于，所述清扫机构包括主体和若干毛刷，所述毛刷固定设置在所述主体外...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘东，黄加国，
申请(专利权)人：四川蕊源集成电路科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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