System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 阵列基板及其制备方法、显示面板技术_技高网

阵列基板及其制备方法、显示面板技术

技术编号:42573458 阅读:5 留言:0更新日期:2024-08-29 00:38
本申请属于显示面板领域,提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,其中,阵列基板包括衬底基板、第一信号线、第一绝缘层、第二信号线、薄膜晶体管、第二绝缘层、第三绝缘层、第四绝缘层和像素电极,第一绝缘层覆盖第一信号线,第二信号线位于第一绝缘层,且与第一信号线通过第一过孔相连;第二绝缘层覆盖薄膜晶体管,且具有第二过孔;第三绝缘层覆盖于第二绝缘层,具有与第二过孔连通的第三过孔;第四绝缘层覆盖于第三绝缘层,且部分位于第二过孔中,具有露出第一极的第四过孔;像素电极与第一极通过第四过孔相连。本申请中制作第一过孔只需刻蚀第一绝缘层,第二过孔和第四过孔是分别制作,单次刻蚀深度小,有利于提高阵列基板的良率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及显示面板领域,特别涉及一种阵列基板及其制备方法、显示面板


技术介绍

1、薄膜晶体管液晶显示装置(thin film transistor-liquid crystal display,tft-lcd)具有画质好、体积小、重量轻、低驱动电压、低功耗、无辐射和制造成本相对较低的优点,在显示领域中占据主导地位。

2、阵列基板是薄膜晶体管液晶显示装置中的重要部分,阵列基板包括衬底基板和形成在其表面的线路。阵列基板表面的线路的结构不同,制备时的工艺过程往往也有一定的差异,良好的结构通常有利于提高阵列基板的良率。


技术实现思路

1、本申请实施例提供了一种阵列基板及其制备方法、显示面板,可以提高阵列基板的良率。

2、本申请实施例的第一方面提供一种阵列基板,所述阵列基板包括:

3、衬底基板,具有显示区和非显示区;

4、第一信号线,位于所述非显示区;

5、第一绝缘层,至少覆盖所述第一信号线,具有露出所述第一信号线的第一过孔;

6、第二信号线,位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧,且与所述第一信号线通过所述第一过孔相连;

7、薄膜晶体管,位于所述显示区,所述薄膜晶体管的栅极与所述第二信号线相连;

8、第二绝缘层,覆盖所述薄膜晶体管,且具有露出所述薄膜晶体管的第一极的第二过孔,所述第一极为源极和漏极中的一个;

9、第三绝缘层,覆盖于所述第二绝缘层远离所述衬底基板的一侧,具有与所述第二过孔连通的第三过孔;

10、第四绝缘层,覆盖于所述第三绝缘层远离所述衬底基板的一侧,且部分位于所述第二过孔中,具有露出所述第一极的第四过孔;

11、像素电极,位于所述第四绝缘层远离所述衬底基板的一侧,且与所述第一极通过所述第四过孔相连。

12、在一些示例中,所述第二绝缘层与所述第三绝缘层的材质不同。

13、在一些示例中,所述阵列基板还包括相互绝缘的公共电极和导电保护层,所述公共电极和所述导电保护层均位于所述第三绝缘层和第四绝缘层之间,所述导电保护层至少位于所述第二过孔中,并覆盖于所述第一极,所述导电保护层连接所述像素电极与所述第一极。

14、在一些示例中,所述导电保护层覆盖所述第二过孔的孔壁以及所述第三过孔的至少部分孔壁。

15、在一些示例中,所述导电保护层与所述公共电极同层布置且材质相同。

16、本申请实施例的第二方面还提供一种阵列基板的制备方法,所述制备方法包括:

17、在衬底基板形成第一信号线、第一绝缘层、第二信号线和薄膜晶体管,所述衬底基板具有显示区和非显示区,所述第一信号线位于所述非显示区,所述第一绝缘层至少覆盖所述第一信号线,且具有露出所述第一信号线的第一过孔,所述第二信号线位于所述第一绝缘层远离所述衬底基板的一侧,且与所述第一信号线通过所述第一过孔相连,所述薄膜晶体管位于所述显示区,所述薄膜晶体管的栅极与所述第二信号线相连;

18、形成第二绝缘层,所述第二绝缘层覆盖所述薄膜晶体管;

19、在所述第二绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成第三绝缘层,所述第三绝缘层具有第三过孔,所述第三过孔在所述衬底基板的正投影与所述薄膜晶体管的第一极在所述衬底基板的正投影至少部分重合,所述第一极为源极和漏极中的一个;

20、在所述第二绝缘层形成露出所述第一极的第二过孔,所述第二过孔位于所述第三过孔中;

21、在所述第三绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成第四绝缘层,所述第四绝缘层部分位于所述第二过孔中,且具有露出所述第一极的第四过孔;

22、在所述第四绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成像素电极,所述像素电极与所述第一极通过所述第四过孔相连。

23、在一些示例中,所述在所述第二绝缘层形成露出所述第一极的第二过孔,包括:

24、以所述第三绝缘层为掩膜,刻蚀所述第二绝缘层,以在所述第三过孔中形成所述第二过孔。

25、在一些示例中,在所述第三绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成第四绝缘层之前,所述制备方法还包括:

26、在所述第三绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成导电材料层;

27、对所述导电材料层进行处理,形成相互绝缘的公共电极和导电保护层,所述导电保护层至少位于所述第二过孔中,并覆盖所述第一极。

28、在一些示例中,所述在所述第三绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成第四绝缘层,包括:

29、在所述第三绝缘层远离所述衬底基板的一侧形成绝缘材料层,所述绝缘材料层覆盖所述导电保护层;

30、刻蚀所述绝缘材料层,形成露出所述导电保护层的至少部分区域的第四过孔,得到所述第四绝缘层。

31、本申请实施例的第三方面提供了一种显示面板,所述显示面板包括对盒基板和如第一方面所述的阵列基板,所述对盒基板与所述阵列基板相对布置。

32、本申请实施例的第一方面通过在第一绝缘层上设置露出第一信号线的第一过孔,直接利用第一过孔使第二信号线与第一信号线相连,结构简单,只需刻蚀第一绝缘层,刻蚀深度小,制备难度低,有利于提高阵列基板的良率;通过使得第四绝缘层部分位于第二过孔中,也即在形成第二过孔之前形成第四绝缘层,分别制作第二过孔和第四过孔,而不是在同一刻蚀工艺过程中形成第二过孔和第四过孔,避免了单次刻蚀深度过大而导致的过孔形态不佳,工艺难度大的问题,有利于提高阵列基板的良率。

33、可以理解的是,上述第二方面和第三方面的有益效果可以参见上述第一方面中的相关描述,在此不再赘述。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第二绝缘层(22)与所述第三绝缘层(23)的材质不同。

3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括相互绝缘的公共电极(42)和导电保护层(43),所述公共电极(42)和所述导电保护层(43)均位于所述第三绝缘层(23)和第四绝缘层(24)之间,所述导电保护层(43)至少位于所述第二过孔(22a)中,并覆盖于所述第一极(31),所述导电保护层(43)连接所述像素电极(41)与所述第一极(31)。

4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述导电保护层(43)覆盖所述第二过孔(22a)的孔壁以及所述第三过孔(23a)的至少部分孔壁。

5.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述导电保护层(43)与所述公共电极(42)同层布置且材质相同。

6.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,包括:

7.根据权利要求6所述的制备方法,其特征在于,所述在所述第二绝缘层(22)形成露出所述第一极(31)的第二过孔(22a),包括:

8.根据权利要求7所述的制备方法,其特征在于,在所述第三绝缘层(23)远离所述衬底基板(10)的一侧形成第四绝缘层(24)之前,所述制备方法还包括:

9.根据权利要求8所述的制备方法,其特征在于,所述在所述第三绝缘层(23)远离所述衬底基板(10)的一侧形成第四绝缘层(24),包括:

10.一种显示面板,其特征在于,包括对盒基板和如权利要求1~5任一项所述的阵列基板,所述对盒基板与所述阵列基板相对布置。

...

【技术特征摘要】

1.一种阵列基板,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述第二绝缘层(22)与所述第三绝缘层(23)的材质不同。

3.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括相互绝缘的公共电极(42)和导电保护层(43),所述公共电极(42)和所述导电保护层(43)均位于所述第三绝缘层(23)和第四绝缘层(24)之间,所述导电保护层(43)至少位于所述第二过孔(22a)中,并覆盖于所述第一极(31),所述导电保护层(43)连接所述像素电极(41)与所述第一极(31)。

4.根据权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述导电保护层(43)覆盖所述第二过孔(22a)的孔壁以及所述第三过孔(23a)的至少部分孔壁。

5.根据权利要求3所述的阵列基板,...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴川黄添钧袁海江
申请(专利权)人:惠科股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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