一种可自由调节安装角度的高效输胶泵制造技术

本技术涉及半导体制造技术领域，尤其为一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，包括承托板和滑轮，所述承托板底部固定连接滑轮，所述承托板底部通过伸缩杆固定连接吸盘，所述承托板顶部固定连接电动伸缩臂，所述电动伸缩臂顶部固定连接第一承重件，所述承托板顶部后侧固定连接第一支撑柱，所述第一支撑柱转动连接第一连接轴，所述承托板顶部前侧固定连接第二支撑柱，本技术中，通过设置的第一承重件、第二支撑柱和第二承重件，可以通过调整电动伸缩臂以调节输胶泵高度，通过转动把手带动螺纹杆运动使卡齿板在第二支撑柱内上下滑动，即可带动第二连接轴转动以调节第二承重件的倾斜角度，即可方便的调节输胶泵角度。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造，具体为一种可自由调节安装角度的高效输胶泵。

技术介绍

1、输胶泵是在半导体光刻工艺中，将光刻胶输入到光刻机中由光刻机对晶圆进行涂层的设备，一般采用气动式或液压式动力进行输胶。

2、现有部分输胶泵多使用螺栓进行固定安装，拆装较为麻烦且不便于调节角度和高度，导致输胶泵不能满足特定场合的送料任务，降低了半导体光刻产线的产出效率，因此，针对上述问题提出一种可自由调节安装角度的高效输胶泵。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，以解决使用螺栓进行固定安装，拆装较为麻烦且不便于调节角度和高度，导致输胶泵不能满足特定场合的送料任务的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：

3、一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，包括承托板和滑轮，所述承托板底部固定连接滑轮，所述承托板底部通过伸缩杆固定连接吸盘，所述承托板顶部固定连接电动伸缩臂，所述电动伸缩臂顶部固定连接第一承重件，所述承托板顶部后侧固定连接第一支撑柱，所述第一支撑柱转动连接第一连接轴，所述承托板顶部前侧固定连接第二支撑柱，所述第二支撑柱右侧滑槽的前后两侧面设有滑轨，所述滑轨通过限位块固定连接卡齿板，所述第二支撑柱螺旋连接螺纹杆，所述螺纹杆顶部固定连接把手，所述卡齿板和第二连接轴卡合，所述第二连接轴后端固定连接第二承重件，所述第二承重件外侧固定连接橡胶板，所述第二承重件顶部固定连接连接件，所述连接件顶部固定连接输胶泵。

4、优选的，所述滑轮、吸盘和带动伸缩臂均有四个，所述滑轮、吸盘和带动伸缩臂均对称放置。

5、优选的，所述第一承重件有两个，所述第一承重件为设有横向圆形贯通槽的材料，所述第一连接轴前端固定连接第二承重件。

6、优选的，所述第二支撑柱右侧设有竖向滑槽，所述滑轨有两条，所述滑轨呈前后对称放置，所述限位块有两个，所述卡齿板前后两侧固定连接限位块。

7、优选的，所述第二支撑柱内部上半部分设有螺纹槽，所述螺纹杆底部转动连接卡齿板，所述第二承重件为横向放置的半圆柱型材料，所述连接件有三个。

8、与现有技术相比，本技术的有益效果是：

9、本技术中，通过设置的第一承重件、第二支撑柱和第二承重件，可以通过调整电动伸缩臂以调节输胶泵高度，通过转动把手带动螺纹杆运动使卡齿板在第二支撑柱内上下滑动，即可带动第二连接轴转动以调节第二承重件的倾斜角度，即可方便的调节输胶泵角度，使输胶泵满足特定场合的送料任务，提高了半导体光刻产线的产出效率。

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【技术保护点】

1.一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，包括承托板(1)和滑轮(2)，其特征在于：所述承托板(1)底部固定连接滑轮(2)，所述承托板(1)底部通过伸缩杆固定连接吸盘(3)，所述承托板(1)顶部固定连接电动伸缩臂(4)，所述电动伸缩臂(4)顶部固定连接第一承重件(5)，所述承托板(1)顶部后侧固定连接第一支撑柱(6)，所述第一支撑柱(6)转动连接第一连接轴(7)，所述承托板(1)顶部前侧固定连接第二支撑柱(8)，所述第二支撑柱(8)右侧滑槽的前后两侧面设有滑轨(9)，所述滑轨(9)通过限位块(10)固定连接卡齿板(11)，所述第二支撑柱(8)螺旋连接螺纹杆(12)，所述螺纹杆(12)顶部固定连接把手(13)，所述卡齿板(11)和第二连接轴(14)卡合，所述第二连接轴(14)后端固定连接第二承重件(15)，所述第二承重件(15)外侧固定连接橡胶板(16)，所述第二承重件(15)顶部固定连接连接件(17)，所述连接件(17)顶部固定连接输胶泵(18)。

2.根据权利要求1所述的一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，其特征在于：所述滑轮(2)、吸盘(3)和带动伸缩臂(4)均有四个，所述滑轮(2)、吸盘(3)和带动伸缩臂(4)均对称放置。

3.根据权利要求1所述的一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，其特征在于：所述第一承重件(5)有两个，所述第一承重件(5)为设有横向圆形贯通槽的材料，所述第一连接轴(7)前端固定连接第二承重件(15)。

4.根据权利要求1所述的一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，其特征在于：所述第二支撑柱(8)右侧设有竖向滑槽，所述滑轨(9)有两条，所述滑轨(9)呈前后对称放置，所述限位块(10)有两个，所述卡齿板(11)前后两侧固定连接限位块(10)。

5.根据权利要求1所述的一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，其特征在于：所述第二支撑柱(8)内部上半部分设有螺纹槽，所述螺纹杆(12)底部转动连接卡齿板(11)，所述第二承重件(15)为横向放置的半圆柱型材料，所述连接件(17)有三个。

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【技术特征摘要】

1.一种可自由调节安装角度的高效输胶泵，包括承托板(1)和滑轮(2)，其特征在于：所述承托板(1)底部固定连接滑轮(2)，所述承托板(1)底部通过伸缩杆固定连接吸盘(3)，所述承托板(1)顶部固定连接电动伸缩臂(4)，所述电动伸缩臂(4)顶部固定连接第一承重件(5)，所述承托板(1)顶部后侧固定连接第一支撑柱(6)，所述第一支撑柱(6)转动连接第一连接轴(7)，所述承托板(1)顶部前侧固定连接第二支撑柱(8)，所述第二支撑柱(8)右侧滑槽的前后两侧面设有滑轨(9)，所述滑轨(9)通过限位块(10)固定连接卡齿板(11)，所述第二支撑柱(8)螺旋连接螺纹杆(12)，所述螺纹杆(12)顶部固定连接把手(13)，所述卡齿板(11)和第二连接轴(14)卡合，所述第二连接轴(14)后端固定连接第二承重件(15)，所述第二承重件(15)外侧固定连接橡胶板(16)，所述第二承重件(15)顶部固定连接连接件(17)，所述连接件(17)顶部固定连接输胶泵(18)。

2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨温皓，亓信中，秦正健，
申请(专利权)人：江苏联芯半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：