【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空镀膜，尤其是涉及一种parylene镀覆系统、方法及控制模块。
技术介绍
1、镀膜技术是一种能够提升材料表面性能的有效手段，其通过采用在待镀膜工件表面形成膜层的方式来增强待镀膜工件表面的强度、防刮、耐磨性、散热性、防水性、耐腐蚀性或者是低摩擦性等性能。
2、聚对二甲苯（parylene）是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲结构的聚合物薄膜的统称，具有极其优良的电性能、化学稳定性和生物相容性，在微电子机械系统、电子元器件、医疗器材等领域有着广泛的应用。
3、现有的parylene镀覆系统，当面对大批量不同型号且种类繁多的产品镀膜时，人员劳动强度大、成本高，镀膜效率低、镀膜质量不一。由于产品种类繁多，不同人员多是依赖其经验进行镀覆工艺的设计，不同产品由于不同人员的操作可能存在着工艺路线不统一，进而导致镀膜效率的降低和镀膜质量的不一致，难以满足客户对镀覆良品率的要求。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种parylene镀覆系统、方法及控制模块，以解决现有parylene镀覆系统针对不同型号产品镀膜时镀膜效率低、且确保镀膜质量不一致的问题。
2、本申请实施例提供了一种parylene镀覆系统，包括：控制模块以及与控制模块电性连接的物料确认模块、清洗模块、掩膜模块、活化模块、烘干模块以及镀覆模块，所述控制系统用于控制所述物料确认模块确认待镀覆物料的相应特性参数，所述清洗模块、掩膜模块、活化模块、烘干模块和镀覆模块用于根据所述物料确认模
3、所述物料确认模块用于确定待镀覆物料的特性参数并将所述特性参数传输至所述控制模块；其中，所述特性参数包括物料材质、物料形态以及物料性能要求，所述物料材质包括复合材质、有机材质或者无机材质，所述物料形态包括多孔、易锈、精密、表面平整、微小或者低表面能，所述物料性能要求包括防护、润滑、耐温或者绝缘；
4、所述清洗模块的进料口与所述物料确认模块的出料口对应，用于根据所述控制模块获取的所述特性参数选择匹配的清洗工艺，所述清洗模块执行的清洗工艺和所述物料确认模块中确认的待镀覆物料的物料材质和物料形态相关；其中，物料材质的优先级高于物料形态的优先级；
5、当所述物料材质为复合材质时，采用有机溶剂进行清洗；当所述物料材质为有机材质时，采用ipa或者有机溶剂进行清洗；当所述物料材质为无机材质时，易锈产品采用有机溶剂易挥发清洗剂进行清洗，其余产品采用无机清洗剂进行清洗；当所述物料材质为有机材质，且物料形态为低表面能时，采用有机清洗剂清洗后加强表面活化以及促进剂浸泡；
6、所述掩膜模块用于根据所述控制模块获取的所述物料形态匹配对应的掩膜单元，所述掩膜模块执行的工艺和所述物料确认模块中确认的物料形态相关；
7、当所述物料形态为多孔和精密，细小通道的部位采用可剥离的胶水进行掩膜；
8、当所述物料形态为表面平整，则采用掩膜胶带进行掩膜；
9、所述活化模块用于根据所述控制模块获取的所述物料形态选择匹配的活化工艺，所述活化模块执行的活化工艺和所述物料确认模块中确认的待镀覆物料的物料形态相关；
10、当物料形态为低表面能、表面平整或者易锈，则采用等离子表面活化和偶联剂活化加强；当物料形态为非低表面能，则在掩膜之前采用直接浸泡，并通过促进剂或者偶联剂进行活化加强；其中，掩膜工艺和活化工艺根据实际情况调整先后顺序和组合关系；
11、所述烘干模块用于根据所述控制模块获取的所述物料形态选择匹配的干燥工艺，所述烘干模块执行的干燥工艺和所述物料确认模块中确认的待镀覆物料的物料形态相关；当所述物料形态为多孔、易锈时，采用的烘干工艺的时间相对延长；当所述物料形态为精密、微小或者低表面时，采用的烘干工艺的时间相对缩短；
12、所述镀覆模块用于根据所述控制模块获取的所述物料性能和物料形态选择匹配的镀覆设备，所述镀覆模块执行的镀覆工艺以及采用的镀覆设备与所述物料确认模块中确认的待镀覆物料的物料性能和物料形态相关。其中，镀覆工艺优先考虑物料性能，然后再考虑物料形态；
13、当物料性能为防护时，采用c料进行镀覆；
14、当物料性能为润滑时，采用n料进行镀覆；
15、当物料性能为耐温时，采用f料（200~300摄氏度）或者ht料（301~400摄氏度）进行镀覆；
16、当物料性能为防护和绝缘时，采用c料进行镀覆；
17、当物料性能为绝缘时，采用n料进行镀覆；
18、当物料形态为微小时，采用卧式镀覆设备；
19、当物料形态为精密时，采用立式镀覆设备。
20、在一个可能的实现方式中，所述物料确认模块包括：物料检测单元、参数输入单元和物料计数单元；所述控制模块分别与所述物料检测单元、所述参数输入单元和所述物料计数单元电性连接；
21、所述物料检测单元用于直接获取所述物料材质和所述物料形态，并将所述物料材质和所述物料形态对应的数据传输至所述控制模块；所述参数输入单元用于获取输入的物料材质、物料形态以及物料性能，并将所述物料材质、物料形态以及物料性能对应的数据传输至所述控制模块，所述物料计数单元用于获取待镀覆物料的物料计数；其中，所述物料材质包括复合材质、有机材质或者无机材质，所述物料形态包括多孔、易锈、精密、表面平整、微小或者低表面能，所述物料性能要求包括防护、润滑、耐温或者绝缘。
22、在一个可能的实现方式中，所述清洗模块包括：清洗单元、检测单元和物料收取单元；
23、所述控制模块分别与所述清洗单元电性连接，用于根据所述物料材质和物料形态控制所述清洗单元匹配对应的清洗剂和清洗工艺；
24、所述控制模块与所述检测单元电性连接，用于控制所述检测单元对所述清洗剂的浓度以及所述物料的洁净度进行检测并获取对应的检测数据；
25、所述控制模块与所述物料收取单元电性连接，用于控制所述物料收取单元对清洗后的不同物料进行收取并进行计数统计，以及根据统计结果与所述物料计数单元确定的所述物料计数进行比较，以判断是否有物料遗漏。
26、在一个可能的实现方式中，所述检测单元包括：清洗剂浓度检测模块和物料洁净度检测模块；所述控制模块分别与所述清洗剂浓度检测模块和所述物料洁净度检测模块电性连接；
27、所述清洗剂浓度检测模块，用于对清洗槽内的清洗剂浓度进行检测，并将所述清洗剂浓度检测结果反馈至所述控制模块，以使得所述控制模块根据所述清洗剂浓度检测结果判断是否需要添加清洗剂或更换清洗槽；
28、所述物料洁净度检测模块，用于检测所述物料表面的洁净度，并将所述洁净度检测结果反馈至所述控制模块，以使得所述控制模块根据所述洁净度检测结果确认是否需要再次清洗。
29、在一个可能的实现方式中，所述掩膜模块包括：掩膜选择单元和胶材质选择单元；本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种Parylene镀覆系统，其特征在于，包括：控制模块以及与控制模块电性连接的物料确认模块、清洗模块、掩膜模块、活化模块、烘干模块以及镀覆模块；
2.根据权利要求1所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，所述物料确认模块包括：物料检测单元、参数输入单元和物料计数单元；所述控制模块分别与所述物料检测单元、所述参数输入单元和所述物料参数输入单元电性连接；
3.根据权利要求2所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，所述清洗模块包括：清洗单元、检测单元和物料收取单元；
4.根据权利要求3所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，所述检测单元包括：清洗剂浓度检测模块和物料洁净度检测模块；所述控制模块分别与所述清洗剂浓度检测模块和所述物料洁净度检测模块电性连接；
5.根据权利要求2所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，所述掩膜模块包括：掩膜选择单元和胶材质选择单元；
6.根据权利要求2所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，所述镀覆模块包括：镀覆原料选择单元和镀覆选择单元；
7.根据权利要求1至
8.根据权利要求5所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，还包括：去掩膜模块；所述控制模块与所述去掩膜模块电性连接，用于根据所述物料形态控制所述去掩膜模块采用对应的掩膜去除工艺。
9.一种Parylene镀覆方法，其特征在于，利用如权利要求1至8中任一项所述的Parylene镀覆系统，包括以下步骤：
10.一种Parylene镀覆系统的控制模块，所述Parylene镀覆系统为基于权利要求1至8中任一项所述的Parylene镀覆系统，其特征在于，所述控制模块包括：
...【技术特征摘要】
1.一种parylene镀覆系统，其特征在于，包括：控制模块以及与控制模块电性连接的物料确认模块、清洗模块、掩膜模块、活化模块、烘干模块以及镀覆模块；
2.根据权利要求1所述的parylene镀覆系统，其特征在于，所述物料确认模块包括：物料检测单元、参数输入单元和物料计数单元；所述控制模块分别与所述物料检测单元、所述参数输入单元和所述物料参数输入单元电性连接；
3.根据权利要求2所述的parylene镀覆系统，其特征在于，所述清洗模块包括：清洗单元、检测单元和物料收取单元；
4.根据权利要求3所述的parylene镀覆系统，其特征在于，所述检测单元包括：清洗剂浓度检测模块和物料洁净度检测模块；所述控制模块分别与所述清洗剂浓度检测模块和所述物料洁净度检测模块电性连接；
5.根据权利要求2所述的parylene镀覆系统，其特征在于，所述掩膜模块包...
【专利技术属性】
技术研发人员：张岳，李冬梅，杨玉衡，张金刚，
申请(专利权)人：上海派拉纶生物技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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