【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏电池加工，较为具体的，涉及到一种用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统。
技术介绍
1、现阶段，异质结太阳能电池结合了晶体硅电池和薄膜电池的优势，为太阳能电池发展带来新的技术革命，高效异质结电池也成为未来最有可能实现大规模产业化应用的高效n型电池。异质结电池分为四道工艺，制绒清洗、非晶硅镀膜、tco镀膜和丝网印刷。在镀膜工段中镀膜设备会产生大量粉尘因此需要除尘设备进行除尘。
2、现有的除尘是采用设置整个隔间本体，在隔间本体上设有ffu抽风设备，形成大空间的抽尘，能耗较高。
3、公告号:cn219824348u，一种灰区隔间及镀膜段车间,一种灰区隔间，包括隔间本体，所述隔间本体上设置有进风区，连通隔间本体内外；隔间本体内部设置有抽风设备，所述抽风设备使隔间本体内部形成负压。一种镀膜段车间，包括真空泵和镀膜设备，还包括上述的灰区隔间，所述真空泵设置在隔间本体的内部，镀膜设备设置在隔间本体的外部，镀膜设备的尾排管道与真空泵连接。
4、因此，如何高效的进行除尘是本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，为了解决现有的半导体车间在镀膜时以大空间进行抽尘，抽尘能耗高的问题，本技术提出一种用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，包括第一抽风主管1、第二抽风主管2、第三抽风主管3、第四抽风主管4、抽风支管5、吸嘴6、集尘处理器7、真空泵组8、控制柜9，所述外部设备有多台，每一设备出尘处均设有一吸嘴6，用于吸尘，所述每一吸嘴6通过抽
2、一种用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，包括第一抽风主管1、第二抽风主管2、第三抽风主管3、第四抽风主管4、抽风支管5、吸嘴6、集尘处理器7、真空泵组8、控制柜9，其特征在于：所述外部设备有多台，每一设备出尘处均设有一吸嘴6，用于吸尘，所述每一吸嘴6通过抽风支管5与第一抽风主管1连接，第一抽风主管1与通过第二抽风主管2与集尘处理器7输入端连接，集尘处理器7用于预收集尘埃及过滤，集尘处理器7输出端通过第三抽风主管3与真空泵组8输入端连接，真空泵组8输出端与室外通过第四抽风主管4连接，所述控制柜9与真空泵组8电性连接。
3、进一步的，所述第一抽风主管1侧边靠近抽风支管5处、抽风支管5折弯的侧边均设有检修扫灰口，所述检修扫灰口内设有可拆卸固定件10，所述可拆卸固定件10通过管帽11固定连接。
4、进一步的，所述第二抽风主管2从左到右依次设有第一压力传感器21、第一蝶阀22，所述第一压力传感器21用于检测集尘处理器7输入端前管道内压力，所述第一压力传感器21与控制柜9电性连接，第一蝶阀22用于控制管道开闭。
5、进一步的，所述第三抽风主管3上从左到右依次设有第一软接31、第一止回阀32、第一气动阀33、第二蝶阀34，所述第一气动阀33与外部压缩空气供应设备12通过管道连接，第一软接31用于减少第三抽风主管3与真空泵组8之间震动，第一止回阀32用于防止管道内气体、粉尘介质回流，第一气动阀33用于调节控制管道中的气体、粉尘介质使得管道内流量均匀分配，第二蝶阀34用于控制管道开闭。
6、进一步的，所述集尘处理器7侧边还设有补风阀71，用于保护集尘处理器7，补风阀71输入端与外部压缩空气供应设备12通过管道连接，所述补风阀71与控制柜9电性连接，当第一压力传感器21检测真空度较高，高于设定值，则补风阀71开启。
7、进一步的，外部压缩空气供应设备12输出端处还设有球阀121，用于控制管道开闭。
8、进一步的，所述第四抽风主管4从左到右依次设有第三蝶阀41、第二软接42，所述第三蝶阀41用于控制管道开闭，所述第二软接42用于减少第四抽风主管4与真空泵组8之间震动。
9、进一步的，所述真空泵组8由至少2台多级离心式真空泵组81组成，保证运行时1台正常工作，1台为备用机。
10、进一步的，所述集尘处理器7过滤精度为1～2μm。
11、本技术的有益效果是：本技术提出一种用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，包括第一抽风主管1、第二抽风主管2、第三抽风主管3、第四抽风主管4、抽风支管5、吸嘴6、集尘处理器7、真空泵组8、控制柜9，所述外部设备有多台，每一设备出尘处均设有一吸嘴6，用于吸尘，所述每一吸嘴6通过抽风支管5与第一抽风主管1连接，第一抽风主管1与通过第二抽风主管2与集尘处理器7输入端连接，集尘处理器7用于预收集尘埃，集尘处理器7输出端通过第三抽风主管3与真空泵组8输入端连接，真空泵组8输出端与室外通过第四抽风主管4连接，所述控制柜9与真空泵组8电性连接，通过局部吸尘代替现有的大空间吸尘，大大降低能源浪费率，且设置集尘处理器7进行预收集及过滤，防止回流，保证吸尘效率，且设置可拆卸固定件10便于后期检修维护，提高生产效率。
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1.一种用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，包括第一抽风主管(1)、第二抽风主管(2)、第三抽风主管(3)、第四抽风主管(4)、抽风支管(5)、吸嘴(6)、集尘处理器(7)、真空泵组(8)、控制柜(9)，其特征在于：外部设备有多台，每一外部设备出尘处均设有一吸嘴(6)，用于吸尘，所述每一吸嘴(6)通过抽风支管(5)与第一抽风主管(1)连接，第一抽风主管(1)与通过第二抽风主管(2)与集尘处理器(7)输入端连接，集尘处理器(7)用于预收集尘埃及过滤，集尘处理器(7)输出端通过第三抽风主管(3)与真空泵组(8)输入端连接，真空泵组(8)输出端与室外通过第四抽风主管(4)连接，所述控制柜(9)与真空泵组(8)电性连接。
2.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第一抽风主管(1)侧边靠近抽风支管(5)处、抽风支管(5)折弯的侧边均设有检修扫灰口，所述检修扫灰口内设有可拆卸固定件(10)，所述可拆卸固定件(10)通过管帽11固定连接。
3.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第二抽风主管
4.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第三抽风主管(3)上从左到右依次设有第一软接(31)、第一止回阀(32)、第一气动阀(33)、第二蝶阀(34)，所述第一气动阀(33)与外部压缩空气供应设备(12)通过管道连接，第一软接(31)用于减少第三抽风主管(3)与真空泵组(8)之间震动，第一止回阀(32)用于防止管道内气体、粉尘介质回流，第一气动阀(33)用于调节控制管道中的气体、粉尘介质使得管道内流量均匀分配，第二蝶阀(34)用于控制管道开闭。
5.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述集尘处理器(7)侧边还设有补风阀(71)，用于保护集尘处理器(7)，补风阀(71)输入端与外部压缩空气供应设备(12)通过管道连接，所述补风阀(71)与控制柜(9)电性连接。
6.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：外部压缩空气供应设备(12)输出端处还设有球阀(121)，用于控制管道开闭。
7.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第四抽风主管(4)从左到右依次设有第三蝶阀(41)、第二软接(42)，所述第三蝶阀(41)用于控制管道开闭，所述第二软接(42)用于减少第四抽风主管(4)与真空泵组(8)之间震动。
8.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述真空泵组(8)由至少2台多级离心式真空泵组(81)组成，保证运行时1台正常工作，1台为备用机。
9.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述集尘处理器(7)过滤精度为1～2μm。
...【技术特征摘要】
1.一种用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，包括第一抽风主管(1)、第二抽风主管(2)、第三抽风主管(3)、第四抽风主管(4)、抽风支管(5)、吸嘴(6)、集尘处理器(7)、真空泵组(8)、控制柜(9)，其特征在于：外部设备有多台，每一外部设备出尘处均设有一吸嘴(6)，用于吸尘，所述每一吸嘴(6)通过抽风支管(5)与第一抽风主管(1)连接，第一抽风主管(1)与通过第二抽风主管(2)与集尘处理器(7)输入端连接，集尘处理器(7)用于预收集尘埃及过滤，集尘处理器(7)输出端通过第三抽风主管(3)与真空泵组(8)输入端连接，真空泵组(8)输出端与室外通过第四抽风主管(4)连接，所述控制柜(9)与真空泵组(8)电性连接。
2.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第一抽风主管(1)侧边靠近抽风支管(5)处、抽风支管(5)折弯的侧边均设有检修扫灰口，所述检修扫灰口内设有可拆卸固定件(10)，所述可拆卸固定件(10)通过管帽11固定连接。
3.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第二抽风主管(2)从左到右依次设有第一压力传感器(21)、第一蝶阀(22)，所述第一压力传感器(21)用于检测集尘处理器(7)输入端前管道内压力，所述第一压力传感器(21)与控制柜(9)电性连接，第一蝶阀(22)用于控制管道开闭。
4.如权利要求1所述的用于半导体异质结工业车间的真空除尘系统，其特征在于：所述第三抽风主管(3)上从左到右依次设有第一软接(31)、第一止回...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱勇华，项琼，宋吉庆，
申请(专利权)人：江苏源一工程科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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