【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的一种晶圆夹持单元，特别是涉及应用于晶圆夹具相关的一种低损伤率的晶圆夹持单元。
技术介绍
1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
2、现有的晶圆夹持夹具一般是两点夹持定位，这种方式下，当夹持力度较小时，易出现稳定性不足而掉落，当夹持力度较大时，受力点处易因局部受力过大而损伤，导致晶圆夹持转运时整体的损伤率较高。
技术实现思路
1、针对上述现有技术，本专利技术要解决的技术问题是晶圆夹持转运时整体的损伤率较高。
2、为解决上述问题，本专利技术提供了一种低损伤率的晶圆夹持单元，包括夹持板，夹持板上端开凿有安装槽，安装槽内底部四角均开凿有安装孔，夹持板上开凿有多个贯穿的负压孔，负压孔内安装有真空吸附头，真空吸附头的吸附端朝向下方，夹持板下端安装有电动滑轨，电动滑轨滑动连接有动夹持柱，夹持板下端远离动夹持柱的一侧通过电动转轴连接有两个变点夹持柱，夹持板下端还固定连接有限位弧板，限位弧板位于变点夹持柱远离动夹持柱的一侧，变点夹持柱包括与夹持板转动连接的定夹持柱、与定夹持柱固定连接的连杆以及固定连接在连杆远离定夹持柱一端的变向夹持柱，变点夹持柱外侧设有两个磁定位片，磁定位片与连杆的底部之间存在相互吸附力。
3、在上述低损伤率的晶圆夹持单元中，改变现有技术中两点夹持定位的方式，而是采用对晶圆边缘三点夹持
4、作为本申请的进一步改进，两个定夹持柱的中心处与动夹持柱中心处之间的距离相同，动夹持柱中线与夹持板边缘垂直，且夹持板的圆心位于动夹持柱中线上。
5、作为本申请的进一步改进，靠近夹持板中心处的负压孔位于夹持板中心点以及变点夹持柱之间，且夹持板边缘与负压孔中轴线之间的最小距离不大于夹持板直径的1/3。
6、作为本申请的进一步改进，定夹持柱、变向夹持柱以及动夹持柱均包括柱体以及包裹在柱体外端的外包层，柱体外端开凿有环形槽，外包层的两端分别延伸至环形槽上下边缘的相互远离的一侧，外包层与环形槽围成的空间内饱和填充有惰性气体，且外包层为弹性密封的绝缘材料制成。
7、作为本申请的进一步改进，环形槽截面为直角梯形，且直角梯形的斜边朝向夹持板一侧，柱体上端嵌入夹持板内，且斜边与朝向柱体内侧的直角边的连接点与夹持板表面平齐，限位弧板的下端位于直角梯形下直角边与柱体下端之间。
8、作为本申请的进一步改进，环形槽的内底部安装有压力传感器，且压力传感器靠近环形槽朝向外的边缘处。
9、作为本申请的又一种改进，环形槽远离外包层的内壁固定套设有多个均匀分布的纵变监测片，多个纵变监测片位于环形槽横向中线下方，柱体下端还电连接有警示器。
10、作为本申请的又一种改进的补充，警示器包括中心杆、位于中心杆外侧的外罩壳以及多个固定连接在中心杆和外罩壳之间的隔板，隔板将警示器内部空间分隔成多个相同大小的警示腔，警示腔内电连接有灯珠，多个灯珠所在电路引出两个相互串联的导线，两个导线分别贴附在相邻两个纵变监测片相互靠近的表面。
11、作为本申请的又一种改进的补充，纵变监测片上表面涂覆有导电涂层，纵变监测片下端边缘处固定连接有导电环，两个导线分别与导电涂层以及导电环接触，纵变监测片为弹性绝缘材料制成，且同一个纵变监测片上的导电环与导电涂层不接触。
12、作为本申请的又一种改进的补充，外罩壳为透明材料制成，隔板为不透光材料制成，相邻两个纵变监测片之间的距离不大于纵变监测片横向截面宽度的一半。
13、综上，在上述低损伤率的晶圆夹持单元中，改变现有技术中两点夹持定位的方式，而是采用对晶圆边缘三点夹持的方式，一方面三点夹持稳定性更高，另一方面在夹持时局部受力相对较小，相较于现有技术，既能有效避免晶圆掉落，同时也能降低夹持时局部受力过大而损坏的情况发生，大幅度降低晶圆损伤率；同时配合多个纵变监测片的设置，可实时监控晶圆在夹持过程中的位置，当其出现明显的位移后，能及时进行预警提醒，进而有效避免在异常情况下仍然持续进行晶圆夹持，从而有效保护晶圆，进一步降低晶圆夹持时的损伤率。
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1.一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：包括夹持板（1），所述夹持板（1）上端开凿有安装槽（101），所述安装槽（101）内底部四角均开凿有安装孔（102），所述夹持板（1）上开凿有多个贯穿的负压孔（21），所述负压孔（21）内安装有真空吸附头（22），所述真空吸附头（22）的吸附端朝向下方，所述夹持板（1）下端安装有电动滑轨（301），所述电动滑轨（301）滑动连接有动夹持柱（3），所述夹持板（1）下端远离动夹持柱（3）的一侧通过电动转轴连接有两个变点夹持柱（4），所述夹持板（1）下端还固定连接有限位弧板（5），所述限位弧板（5）位于变点夹持柱（4）远离动夹持柱（3）的一侧，所述变点夹持柱（4）包括与夹持板（1）转动连接的定夹持柱（41）、与定夹持柱（41）固定连接的连杆（43）以及固定连接在连杆（43）远离定夹持柱（41）一端的变向夹持柱（42），所述变点夹持柱（4）外侧设有两个磁定位片（401），所述磁定位片（401）与连杆（43）的底部之间存在相互吸附力。
2.根据权利要求1所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：两个所述定夹持柱（41）的中心处与动
3.根据权利要求2所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：靠近夹持板（1）中心处的负压孔（21）位于夹持板（1）中心点以及变点夹持柱（4）之间，且夹持板（1）边缘与负压孔（21）中轴线之间的最小距离不大于夹持板（1）直径的1/3。
4.根据权利要求1所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述定夹持柱（41）、变向夹持柱（42）以及动夹持柱（3）均包括柱体（411）以及包裹在柱体（411）外端的外包层（412），所述柱体（411）外端开凿有环形槽（601），所述外包层（412）的两端分别延伸至环形槽（601）上下边缘的相互远离的一侧，所述外包层（412）与环形槽（601）围成的空间内饱和填充有惰性气体，且外包层（412）为弹性密封的绝缘材料制成。
5.根据权利要求4所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述环形槽（601）截面为直角梯形，且直角梯形的斜边朝向夹持板（1）一侧，所述柱体（411）上端嵌入夹持板（1）内，且斜边与朝向柱体（411）内侧的直角边的连接点与夹持板（1）表面平齐，所述限位弧板（5）的下端位于直角梯形下直角边与柱体（411）下端之间。
6.根据权利要求5所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述环形槽（601）的内底部安装有压力传感器，且压力传感器靠近环形槽（601）朝向外的边缘处。
7.根据权利要求5所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述环形槽（601）远离外包层（412）的内壁固定套设有多个均匀分布的纵变监测片（6），多个所述纵变监测片（6）位于环形槽（601）横向中线下方，所述柱体（411）下端还电连接有警示器（7）。
8.根据权利要求7所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述警示器（7）包括中心杆（71）、位于中心杆（71）外侧的外罩壳（72）以及多个固定连接在中心杆（71）和外罩壳（72）之间的隔板（73），所述隔板（73）将警示器（7）内部空间分隔成多个相同大小的警示腔，所述警示腔内电连接有灯珠（701），多个所述灯珠（701）所在电路引出两个相互串联的导线（61），两个所述导线（61）分别贴附在相邻两个纵变监测片（6）相互靠近的表面。
9.根据权利要求8所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述纵变监测片（6）上表面涂覆有导电涂层（62），所述纵变监测片（6）下端边缘处固定连接有导电环（63），两个所述导线（61）分别与导电涂层（62）以及导电环（63）接触，所述纵变监测片（6）为弹性绝缘材料制成，且同一个纵变监测片（6）上的导电环（63）与导电涂层（62）不接触。
10.根据权利要求9所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述外罩壳（72）为透明材料制成，所述隔板（73）为不透光材料制成，相邻两个纵变监测片（6）之间的距离不大于纵变监测片（6）横向截面宽度的一半。
...【技术特征摘要】
1.一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：包括夹持板（1），所述夹持板（1）上端开凿有安装槽（101），所述安装槽（101）内底部四角均开凿有安装孔（102），所述夹持板（1）上开凿有多个贯穿的负压孔（21），所述负压孔（21）内安装有真空吸附头（22），所述真空吸附头（22）的吸附端朝向下方，所述夹持板（1）下端安装有电动滑轨（301），所述电动滑轨（301）滑动连接有动夹持柱（3），所述夹持板（1）下端远离动夹持柱（3）的一侧通过电动转轴连接有两个变点夹持柱（4），所述夹持板（1）下端还固定连接有限位弧板（5），所述限位弧板（5）位于变点夹持柱（4）远离动夹持柱（3）的一侧，所述变点夹持柱（4）包括与夹持板（1）转动连接的定夹持柱（41）、与定夹持柱（41）固定连接的连杆（43）以及固定连接在连杆（43）远离定夹持柱（41）一端的变向夹持柱（42），所述变点夹持柱（4）外侧设有两个磁定位片（401），所述磁定位片（401）与连杆（43）的底部之间存在相互吸附力。
2.根据权利要求1所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：两个所述定夹持柱（41）的中心处与动夹持柱（3）中心处之间的距离相同，所述动夹持柱（3）中线与夹持板（1）边缘垂直，且夹持板（1）的圆心位于动夹持柱（3）中线上。
3.根据权利要求2所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：靠近夹持板（1）中心处的负压孔（21）位于夹持板（1）中心点以及变点夹持柱（4）之间，且夹持板（1）边缘与负压孔（21）中轴线之间的最小距离不大于夹持板（1）直径的1/3。
4.根据权利要求1所述的一种低损伤率的晶圆夹持单元，其特征在于：所述定夹持柱（41）、变向夹持柱（42）以及动夹持柱（3）均包括柱体（411）以及包裹在柱体（411）外端的外包层（412），所述柱体（411）外端开凿有环形槽（601），所述外包层（412）的两端分别延伸至环形槽（601）上下边缘的相互远离的一侧，所述外包层（412）与环形槽（601）围成的空间内饱和填充有惰性气体，且外包层（412）为弹性密封的绝缘材料制成。...
【专利技术属性】
技术研发人员：季中伟，
申请(专利权)人：无锡展硕科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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