玻璃数据设计系统、方法以及程序技术方案

本发明专利技术的目的在于实现玻璃数据设计系统，将以携带电话面板为代表的小玻璃面板经由大分划板在大玻璃基板上曝光时，能够同时设计分划板数据和玻璃数据，从而为成本计算提供最佳解。本发明专利技术的平板显示器用玻璃数据设计系统的特征在于，输入面板单元数据、对准标记数据的形状及包含玻璃单元尺寸和各数据的配置信息的参数信息，并包括：分划板数据生成机构，其具有输出面板分划板单元数据的面板分划板数据输出功能和生成并输出对准分划板单元数据的对准分划板数据输出功能；和玻璃单元数据生成机构，其具有生成并输出玻璃单元数据的玻璃单元数据输出功能和生成并输出用于生成玻璃单元数据的工艺信息的工艺信息输出功能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于制造平板显示器的玻璃数据设计系统、玻璃数据 设计方法以及程序。
技术介绍
以往，在生成用于制造平板显示器的玻璃数据时，首先由面板单 元数据生成分划板数据，使该分划板数据在玻璃上以阵列式配置而生 成玻璃数据。即，该分划板数据的生成和玻璃上的阵列式配置数据的 生成独立进行。但是，在将以携带电话为代表的小型平板显示器在大规模玻璃基 板上通过分划板数据曝光的情况下，需要事先预测通过几次曝光照射 来制造几个平板显示器。即，这是因为制造个数根据是使面板单元旋 转时增加制造个数、还是长方形的分划板或圆形的分划板的情况下增 加制造个数等各种条件而不同。可以说这是一种最佳条件的选择或预测的问题。迄今为止，尚没 有提出通过以参数控制面板单元、分划板数据和玻璃数据的关系来实 现制造成本优化的方案的例子。例如，在专利文献1中公开了一种分划板生成方法，其通过改变 曝光束的条件，优化曝光装置本身的曝光条件，但这并不能实现本发 明所要解决的数据数的优化，不能进行估算。专利文献1:日本特开2006-332703号公报7本专利技术要解决的课题在于构筑一种设计系统，在确定面板单元和 玻璃尺寸时，估算经由分划板以什么条件生成曝光数据能够得到最佳 解，并且同时生成分划板数据和玻璃数据的制造数据。说起优化问题，著名的是线性规划法，在本专利技术的领域中，由于 随着分划板的尺寸和玻璃的尺寸变大，制造个数增加，曝光次数减少， 因而具有线性规划法所要求的互反事件不明确的特征。因此，如果根 据设定的条件判明了制造个数和曝光次数，则可以充分地进行估算预并且，不仅要求估算预测，还要同时生成制造数据。此外，在本 专利技术中，要求在图形显示器中进行确认。S卩，这是因为在变更各种参 数时，需要通过图形确认作为其结果的分划板上的配置数据、玻璃上 的阵列式配置数据。并且，由于无论如何都生成或估算由曝光装置曝光的数据，因而 需要生成或估算可制造的数据。艮P，还需要将曝光装置中的始终可曝光的范围(还称作行程)规 定为曝光照射单位，并验证是否进入了该范围内。并且，由于生成可 制造的数据，因而成为作为曝光装置的输入的数据文件。即，成为描 述通常称作工艺信息的部位的曝光装置的动作的数据文件。
技术实现思路
本专利技术的目的在于实现玻璃数据设计系统，并提供该系统中使用 的玻璃数据设计方法及其程序，利用该玻璃数据设计系统，在将以携 带电话的面板为代表的小玻璃面板经由大分划板在大玻璃基板上曝光 的情况下，能同时得到分划板数据和玻璃数据，并且提供其制造个数 和曝光次数、即估算成本计算的最佳解。为了解决上述课题，本专利技术的平板显示器用玻璃数据设计系统具 有运算处理部、存储部以及输入输出机构，所述运算处理部输入面板 单元数据的形状、配置在上述面板单元数据周边的对准标记数据的形 状以及包含各数据的配置信息的参数信息；并包括分划板数据生成 机构，其具有输出作为配置有上述面板单元数据的照明用光掩模的数据的面板分划板单元数据的面板分划板数据输出功能和输出并生成作 为配置有上述对准标记数据的照明用光掩模的数据的对准分划板单元 数据的对准分划板数据输出功能；和玻璃单元数据生成机构，其具有 生成并输出配置有上述面板单元数据及上述对准标记数据的玻璃单元 数据的玻璃单元数据输出功能和生成并输出用于生成玻璃单元数据的 工艺信息的工艺信息输出功能。并且，为了解决上述课题，本专利技术的平板显示器用玻璃数据设计 方法的特征在于，平板显示器用玻璃数据设计方法，其特征在于，包 括数据输入工序，输入面板单元数据、对准标记数据以及包含参数 信息的数据，所述参数信息具有玻璃单元尺寸、各数据的配置信息； 分划板单元A数据生成工序，根据所述面板单元数据和所述参数信息生成作为面板单元的最大曝光单位集合的分划板单元A的数据；曝光照射区域识别工序，识别在所述玻璃单元尺寸上利用所述分划板单元A 的一部分或全部进行曝光的多个曝光照射区域的配置；曝光照射区域 选择工序，从所述多个曝光照射区域中以曝光区域从大到小的顺序自 所述分划板单元A选择特定的所述曝光照射区域；曝光照射配置工序， 将所选择的所述曝光照射区域配置在玻璃单元上作为曝光照射；可曝 光范围检査工序，判断所配置的所述曝光照射区域是否能在制造中曝 光；玻璃单元曝光结束判断工序，根据在所述曝光照射配置工序中配 置并在所述可曝光范围检査工序中判断为能曝光的所述曝光照射区 域，判断所述玻璃单元的面板单元的可曝光范围是否被全部填满；曝 光照射区域选择重复工序，在所述玻璃单元曝光结束判断工序中判断 为所述玻璃单元曝光区域未被填满的情况下，再次返回所述曝光照射 区域选择工序，重复相同的处理；对准标记配置工序，根据所述对准9标记数据和所述参数信息生成作为对准标记的曝光照射数据的照射B 的数据，在所述玻璃单元尺寸上以阵列式配置；分划板单元B数据生 成工序，在分划板上生成所述照射B的数据，并生成分划板单元B数 据；对准标记可曝光范围检査工序，判断由所述分划板单元B数据生 成的对准标记是否能在制造中曝光；边缘检査工序，检查通过所述各 工序在玻璃单元上形成的各曝光照射的整体是否收敛于由所述参数信 息指定的玻璃单元的边缘；和设计结果输出工序，输出最后生成的数 据和用于生成玻璃单元的工艺信息。并且，为了解决上述课题，作为具有运算处理部、存储部和输入 输出机构的平板显示器用玻璃数据设计系统的玻璃数据设计用程序， 其特征在于，使计算机执行下述程序数据输入工序，输入面板单元 数据、对准标记数据以及包含参数信息的数据，所述参数信息具有玻 璃单元尺寸、各数据的配置信息；分划板单元A数据生成工序，根据 所述面板单元数据和所述参数信息生成作为面板单元的最大曝光单位 集合的分划板单元A的数据；曝光照射区域识别工序，识别在所述玻璃单元尺寸上利用所述分划板单元A的一部分或全部进行曝光的多个曝光照射区域的配置；曝光照射区域选择工序，从所述多个曝光照射区域中以曝光区域由大到小的顺序自所述分划板单元A选择特定的所述曝光照射区域；曝光照射配置工序，将所选择的所述曝光照射区域作为曝光照射配置在玻璃单元上；可曝光范围检查工序，判断所配置的所述曝光照射区域是否能在制造中曝光；玻璃单元曝光结束判断工序，根据在所述曝光照射配置工序中配置并在所述可曝光范围检査工序中判断为能曝光的所述曝光照射区域，判断所述玻璃单元的面板单元的可曝光范围是否被全部填满；曝光照射区域选择重复工序，在所 述玻璃单元曝光结束判断工序中判断为所述玻璃单元曝光区域未被填满的情况下，再次返回所述曝光照射区域选择工序，重复相同的处理； 对准标记配置工序，根据所述对准标记数据和所述参数信息生成作为 对准标记的曝光照射数据的照射B的数据，在所述玻璃单元尺寸上以 阵列式配置；分划板单元B数据生成工序，在分划板上生成所述照射B的数据，并生成分划板单元B数据；对准标记可曝光范围检査工序， 判断由所述分划板单元B数据生成的对准标记是否能在制造中曝光； 边缘检査工序，检査通过所述各工序在玻璃单元上形成的各曝光照射 的整体是否收敛于由所述参数信息指定的玻璃单元的边缘；和设计结 果输出工序，输出最后生成的数据和用于生成玻璃单元的工艺信息。由此，在利用大分划板将以携带电话面板为代表的小面板在大玻本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设计平板显示器用的玻璃数据的平板显示器用玻璃数据设计系统，其特征在于，　所述平板显示器用玻璃数据设计系统输入面板单元数据的形状、配置在所述面板单元数据周边的对准标记数据的形状以及包含玻璃单元尺寸和所述各数据的配置信息的参数信息；　 　并包括：分划板数据生成机构，其具有：输出作为配置有所述面板单元数据的照明用光掩模的数据的面板分划板单元数据的面板分划板数据输出功能；和生成并输出作为配置有所述对准标记数据的照明用光掩模的数据的对准分划板单元数据的对准分划板数据输出功能 ；以及　玻璃单元数据生成机构，其具有：生成并输出配置有所述面板单元数据和所述对准标记数据的玻璃单元数据的玻璃单元数据输出功能；和生成并输出用于生成玻璃单元数据的工艺信息的工艺信息输出功能。

【技术特征摘要】
JP 2008-4-10 2008-1026671.一种设计平板显示器用的玻璃数据的平板显示器用玻璃数据设计系统，其特征在于，所述平板显示器用玻璃数据设计系统输入面板单元数据的形状、配置在所述面板单元数据周边的对准标记数据的形状以及包含玻璃单元尺寸和所述各数据的配置信息的参数信息；并包括分划板数据生成机构，其具有输出作为配置有所述面板单元数据的照明用光掩模的数据的面板分划板单元数据的面板分划板数据输出功能；和生成并输出作为配置有所述对准标记数据的照明用光掩模的数据的对准分划板单元数据的对准分划板数据输出功能；以及玻璃单元数据生成机构，其具有生成并输出配置有所述面板单元数据和所述对准标记数据的玻璃单元数据的玻璃单元数据输出功能；和生成并输出用于生成玻璃单元数据的工艺信息的工艺信息输出功能。2. 如权利要求l所述的平板显示器用玻璃数据设计系统，其特征在于，所述玻璃单元数据生成机构输入所述面板单元数据的形状和配置有多个该面板单元数据的玻璃单元的尺寸；并具有利用计算公式计算出能够在所述玻璃单元上取得的所述面板单元数据的个数的个数计算功能，所述计算公式至少包含用设在所 述玻璃单元上并将配置有所述面板单元数据的集合的面板单元的尺寸 的数值除以面板单元数据形状的数值的计算项。3. 如权利要求1或2所述的平板显示器用玻璃数据设计系统，其 特征在于，所述玻璃单元数据生成机构除了输入所述面板单元数据形 状和所述玻璃单元的尺寸以外，还从所述分划板生成机构输入所述面 板分划板单元数据的尺寸；所述玻璃单元数据生成机构具有根据配置有所述面板单元数据形状的所述面板分划板单元数据计算出曝光照射次数的曝光次数计算功4. 如权利要求1至3中任一项所述的平板显示器用玻璃数据设计 系统，其特征在于，指定分划板的尺寸、所述玻璃单元的尺寸以及可 曝光范围作为所述参数信息。5. 如权利要求1至4中任一项所述的平板显示器用玻璃数据设计 系统，其特征在于，所述玻璃单元数据生成机构具有曝光照射数据生成功能，利用配置有由所述分划板数据生成机构生成的所述面板单元数据的所述面板 分划板单元数据的一部分及全部生成包含所述面板分划板单元数据上的至少2个面板单元数据的曝光照射数据。6. 如权利要求1至5中任一项所述的平板显示器用玻璃数据设计 系统，其特征在于，所述玻璃单元数据生成机构具有余数计算功能， 用相当于所述玻璃单元尺寸的区域除以与一次曝光照射区域对应的大 小，求出玻璃单元上的相当于余数的区域。7. 如权利要求1至6中任一项所述的平板显示器用玻璃数据设计 系统，其特征在于，所述工艺信息中记载有所述曝光照射数据的XY坐 标。8. 如权利要求1至7中任一项所述的平板显示器用玻璃数据设计 系统，其特征在于，在图形装置中具备输入输出控制机构，所述输入 输出控制机构具有显示所述面板单元数据、所述面板分划板单元数据 和所述玻璃单元数据的数据显示功能。9. 如权利要求1至8中任一项所述的平板显示器用玻璃数据设计 系统，其特征在于，所述存储机构中存储的内容包含通过所述运算处理部执行的程序组；由输入到所述运算处理部的所述面板单元数据 形状、所述对准数据形状及所述参数信息构成的输入数据；和由所述 分划板数据、所述玻璃单元数据及所述工艺信息构成的输出数据。10. —种平板显示器用玻璃数据设计方法，其特征在于，包括数据输入工序，输入面板单元数据、对准标记数据以及包...

【专利技术属性】
技术研发人员：千田英树，
申请(专利权)人：株式会社绩达特，
类型：发明
国别省市：JP[日本]