【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备制造领域，具体地，特别涉及一种用于在加热器上安装升降销组件的治具。
技术介绍
1、半导体沉积设备例如包括化学气相沉积设备、物理气相沉积设备等。化学气相沉积(chemical vapor deposition，简称cvd)是反应物质在气态条件下发生化学反应，生成固态物质沉积在加热的固态基体表面，进而制得固体材料层的工艺技术，其通过化学气相沉积设备得以实现。由于cvd制备材料时参与反应的气体分子或者离子需要根据不同工艺沉积在一定温度的基片上，因此，通常cvd设备都配备有加热基片的加热器，加热器上设置用于使晶圆升降的升降销组件。
2、当在加热器上设置升降销(heater lift pin)组件时，目前采用如图1所示的治具进行组装。在图1所示的实施例中，治具包括旋转台治具10和设置在旋转台治具10上方的盖体治具9，旋转台治具10与盖体治具9通过螺栓相互固定连接，一般采用六个螺栓将二者连接。在进行支架组装操作时，在固定位置旋转产品，进行组装操作。另外，为了防止在加热器上安装升降销组件时，引导件、螺栓、工具等对产品的造成损伤，在旋转台治具10上设置了盖体治具9。
3、然而，采用上述治具组装加热器的升降销组件时，由于升降销组件需要从靠近盖体治具9的下侧往上插入到升降销孔中进行组装，组装操作不方便，而且由于升降销组件包括固定销(fixing pin)、升降销等微小零件，在以佩戴乳胶手套的状态处理尺寸较小的固定销等微小零件的过程中，可能存在微小零件掉落而丢失的情况。
技术实现
1、技术问题
2、为此，本技术的一个目的在于，提供一种方便升降销组件的安装的用于在加热器上安装升降销组件的治具，该治具包括加热器支架，所述加热器支架的上部用于固定所述加热器，其能够使加热器的三个升降销孔均暴露在所述加热器的表面，方便升降销组件的安装。
3、本技术的另一个目的在于，提供一种能够防止安装所述升降销组件的过程中掉落的部件(固定销)丢失的用于在加热器上安装升降销组件的治具，该治具包括设置在所述加热器支架的底部的托盘，其能够承接安装所述升降销组件的过程中掉落的部件，防止安装所述升降销组件的过程中掉落的部件(固定销)丢失。
4、本技术的另一个目的在于，提供一种用于在加热器上安装升降销组件的治具，该治具包括带锁脚轮，其使便于移动和锁定。
5、技术方案
6、作为一个实施方式，本技术提供一种用于在加热器上安装升降销组件的治具，在所述加热器上设置有升降销孔，在所述升降销孔中安装升降销组件，其特征在于，所述治具包括：加热器支架和托盘，其中，
7、所述加热器支架的上部用于固定所述加热器，所述升降销孔暴露在所述加热器的表面；
8、在所述加热器支架的比所述加热器靠下部的位置设置有所述托盘，所述托盘用于承接安装所述升降销组件的过程中掉落的部件。根据如上所述的治具，通过在加热器支架的上部固定所述加热器，能够稳定的将加热器固定在加热器支架上，而且这种加热器支架结构能够使加热器的升降销孔均朝上暴露在所述加热器的表面，方便升降销组件的安装。通过在加热器支架的比加热器靠下部的位置设置托盘，这种设计结构承接安装所述升降销组件的过程中掉落的部件，防止安装所述升降销组件的过程中掉落的部件(固定销)丢失。
9、在一些实施方式中，所述托盘设置在加热器支架的底部。托盘设置在加热器支架底部，选择了适当高度的设置位置，从而降低了当不小心打翻托盘时因托盘在高处，其所承接的部件洒落后容易丢失的可能性，并且不妨碍组装升降销组件时操作，为组装操作预留出足够多的操作空间。而且，也降低了升降销组件的部件从加热器不慎掉落到托盘时因弹跳而飞出托盘的可能性。
10、在一些实施方式中，在加热器支架的底部可设置有托盘的载置台，在该载置台上放置托盘，并且托盘的边缘被加热器支架所围绕而止挡。由此，防止了托盘容易地从加热器支架脱离或滑落。
11、在一些实施方式中，所述托盘的水平尺寸与加热器支架的底部的水平尺寸对应。这种设计结构，消除了托盘与加热器支架在水平方向上的间隙，可以防止掉落的部件不慎落入托盘与加热器支架之间的间隙并且可以防止托盘不慎从加热器支架中滑落。
12、在一些实施方式中，所述托盘固定在加热器支架上。因此，可以防止组装作业时，托盘与加热器支架发生相对移动或从加热器支架滑落，导致无法承接掉落的部件或已承接的部件洒落等情况发生。
13、在一些实施方式中，所述托盘由缓冲材料制成或在所述托盘上设有缓冲垫。因此，能够防止升降销组件的部件从加热器不慎掉落到托盘时因弹跳而飞出托盘的可能性。另外，这也避免了划伤掉落的部件，从而保护掉落的部件不被划伤。
14、在一些实施方式中，所述托盘在水平方向的尺寸大于所述加热器的升降销孔在水平方向的间距。由于托盘的尺寸比升降销孔在水平方向上的尺寸大，因此能够可靠地承接将升降销组件安装到升降销孔时掉落的部件。
15、在一些实施方式中，所述升降销组件包括：升降销、升降销驱动器以及设置在所述升降销底部的固定销，其中，在所述升降销的底部设置有与所述固定销相适配的通孔，所述固定销通过插入到所述通孔中以固定在所述升降销上。
16、在一些实施方式中，所述升降销被配置成支撑位于所述加热器上方的晶圆上下升降；所述升降销驱动器被配置成驱动所述升降销上下运动；所述固定销被配置成止挡所述升降销脱落。
17、在一些实施方式中，所述用于在加热器上安装升降销组件的治具还包括旋转台，所述加热器支架可旋转地设置在所述旋转台上。由此，能够方便地在固定的位置旋转加热器进行组装作业。
18、在一些实施方式中，所述用于在加热器上安装升降销组件的治具还包括底座，所述底座包括载台和设置在所述载台的角部的支撑腿，其中，所述旋转台设置在所述载台。由此，在加热器上安装升降销组件时，能够稳定地支承固定于加热器支架上的加热器。
19、在一些实施方式中，在所述支撑腿的底部设置有脚轮，通过所述脚轮移动所述用于在加热器上安装升降销组件的治具。通过设置脚轮方便了治具的移动。
20、在一些实施方式中，所述脚轮为用于锁定所述用于在加热器上安装升降销组件的治具的移动的带锁脚轮。带锁脚轮使得用于在加热器上安装升降销组件的治具的移动和锁定更加方便。
21、在一些实施方式中，在所述加热器支架的上部设置有加热器固定部，通过所述加热器固定部固定所述加热器。在加热器上安装升降销组件时，由于通过加热器固定部将加热器固定在加热器支架上，因此能够更加稳定和可靠地进行组装作业。
22、有益效果
23、从上面的技术方案可知，本技术提供的用于在加热器上安装升降销组件的治具，具有以下有益效果：
24、1)通过将加热器固定在加热器支架的上部的加热器固定部，这种加热器支架结构能够使加热器的三个升降销孔均暴露所述加热器的表面，方便升降销组件的安装。...
【技术保护点】
1.一种用于在加热器上安装升降销组件的治具，在所述加热器上设置有升降销孔，在所述升降销孔中安装升降销组件，其特征在于，所述治具包括：加热器支架和托盘，其中，
2.根据权利要求1所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
5.根据权利要求1所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
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12.根据权利要求11所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
13.根据权利要求12所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
14.根据权利要求1所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种用于在加热器上安装升降销组件的治具，在所述加热器上设置有升降销孔，在所述升降销孔中安装升降销组件，其特征在于，所述治具包括：加热器支架和托盘，其中，
2.根据权利要求1所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的用于在加热器上安装升降销组件的治具，其特征在于，
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7.根据权利要求1所述的用于在加热器上安装升降...
【专利技术属性】
技术研发人员：崔煐来，罗正钦，金钟权，柳相晩，赵瑞贤，任胜赫，
申请(专利权)人：盛吉盛韩国半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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